Патент на изобретение RU 2796239 C9
Патент на изобретение RU 2796239 C9 «Способ анизотропного плазменного травления кремниевых микроструктур в циклическом процессе нитридизация-травление» Аверкин С.Н., Кузьменко В.О., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., РуденкоПодробнее