Совместно с Раменским приборостроительным КБ и ОАО «Инерциальные Технологии «Технокомплекса» проведены обширные исследования по разработке конструкции, технологии изготовления микрогироскопа на основе МЭМС технологии для современныхПодробнее
Выполнены исследования в области разработки конструкции, математического моделирования и технологии изготовления изделий микросистемной техники. Разработаны маршруты изготовления на основе технологии формирования микроструктур с использованием плазмохимическогоПодробнее
Проведены исследования глубокого анизотропного травления Si в циклическом, двухстадийном процессе в плазме SF6/C4F8 ВЧИ разряда (Bosch-процесс) для получения высокоаспектных микроструктур. Создан программный комплекс моделирования формированияПодробнее
Важнейший прикладной научно-технический результат, раскрывающий инновационный потенциал Института, получен Лабораторией технологии микро- и наносистем ФТИАН РАН под руководством чл.-корр. В.Ф. Лукичева и Ярославским филиалом ФТИАНПодробнее
В Лаборатории физики квантовых компьютеров, организованной во ФТИАН РАН академиком К. А. Валиевым, и являющейся первой в России по тематике квантовых технологий, коллективом Лаборатории подПодробнее
Впервые в России Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов ФТИАН им. К.А. Валиева РАН под руководством зам. директора института, д.ф.-м.н. К.В. Руденко исследовала процессы и разработалаПодробнее