Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 07 апреля 2026 г. в 14-00 (время изменено)

12. Статья «Обзор методов атомно-слоевого травления для создания устройств микроэлектроники» авторы Кузьменко В. О., Халилуллин Р. Р. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ, Москва.

23. Статья «Обратимость резистивных переключений в мемристорах филаментарного типа в отсутствии фазового перехода» авторы А.В. Фадеев, К.В. Руденко для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Фадеев Алексей Владимирович, ОФТИ, Москва.

24. Статья «Тонкие пленки NbNx для сверхпроводниковых микроволновых устройств» авторы Ломов А.А., Щербачев К.Д., Татаринцев А.А., Чекушкин А.М., Ломоносов А.А., Тарасов М.А. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Ломов Андрей Александрович, ОФТИ, Москва.

25. Статья «Сверхпроводящие пленки NbNx для резонаторов и параметрических усилителей» авторов А. А. Ломоносов, Д. С. Жогов, М. В. Стрелков, Н. Н. Котова, Р. К. Козулин, А. А. Гунбина, К. Д. Щербачев, А. М. Чекушкин, А. А. Татаринцев, А. Л. Васильев, А. А. Ломов, М. А. Тарасов для опубликования в открытой печати в виде статьи в «Журнале Технической Физики (ЖТФ)» издательства ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Ломов Андрей Александрович, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 24  марта 2026 г. в 15-00

  1. Статья «Нестандартные формы кривых намагничивания антиферромагнитных наноматериалов» авторы Лобачев А.В., Чуев М.А. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Чуев Михаил Александрович, ОФТИ, Москва.
  2. Тезисы доклада «Нетривиальные формы петель гистерезиса в кривых намагничивания антиферромагнитных наноматериалов» авторы Лобачев А.В., Чуев М.А для опубликования в трудах научного мероприятия Конференция «Перспективные материалы и технологии» («ПМТ – 2026»), 06-12 апреля 2026 г., г. Москва, Россия. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Чуев Михаил Александрович, ОФТИ, Москва.
  3. Статья «Зарядовый кубит на асимметричной двойной квантовой точке с экситонным управлением» автор А.В. Цуканов для опубликования в журнале “Квантовая электроника” издательства «ФИАН». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Цуканов Александр Викторович, ОФТИ, Москва.
  4. Статья «Контроль туннельной динамики электрона в двойной квантовой точке полем непрямого экситона» автор А.В. Цуканов для опубликования в журнале “Квантовая электроника” издательства «ФИАН». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Цуканов Александр Викторович, ОФТИ, Москва.
  5. Тезисы доклада «Математическая модель и аппарат пятен для Искусственного интеллекта» автора Симонов Н.А. международной конференции «Математические идеи академика П.Л. Чебышёва, их приложения в естественных науках и технологиях искусственного интеллекта» 14-16 мая 2026 г. Калужская область, г. Обнинск, Россия. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Симонов Николай Анатольевич, ОФТИ, Москва.
  6. Статья «Оптимизация беспроводной передачи данных в трехмерных интегральных схемах с использованием нанофотонных устройств: проблемы и решения» авторов Серов Д. А., Хорин И. А. для опубликования в журнале “Russian Microelectronics” издательства «Pleiades Publishing, Ltd». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.  Хорин Иван Анатольевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Во вторник 17 марта в 13-00 состоится очно-заочный семинар. Очная часть пройдет в к. 602. 
 
Доклачик: Грушевский Егор Алексеевич 
“Наноструктурированные пленочные системы с перпендикулярной магнитной анизотропией”
по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук.
Специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств.
 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 03 марта 2026 г. (в 15-00)

12. Статья «Обзор методов атомно-слоевого травления для создания устройств микроэлектроники» авторы Кузьменко В. О., Халилуллин Р. Р. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.

13. Статья «Экспериментальное исследование однородности процессов травления и распыления по пластине в установке плазмохимического травления» авторы А. В. Мяконьких, В. О. Кузьменко, Р. Р. Халилуллин для опубликования в журнале “Химия высоких энергий” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.

14. Статья «КНИ структуры с ультратонкими слоями для радиофотонных интегральных схем» авторы В.П. Попов, В.А. Антонов, В.Е. Жилицкий, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко для опубликования в журнале «Физика и техника полупроводников» издательства ФТИ им. А.Ф.Иоффе. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.

15. Тезисы доклада «Энергоэффективные элементы ИС – сегнетоэлектрики в кремнии» авторы В.П. Попов, М.С. Тарков, Ф.В. Тихоненко, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко для опубликования в материалах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, с 13 по 17 июля 2026 года (Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.

16. Тезисы доклада «Окисление легированного бором слоя кремния как способ изготовления одноэлектронных устройств» авторы C. Панкратов, Д. Кусакина, А. Мяконьких, А. Рогожин, В. Крупенин, В. Шорохов, Д. Преснов для опубликования в трудах научного мероприятия «Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов», Москва, 10-25 апреля 2026 года, (Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 17 февраля 2026 г. (в 15-00)

8. К.В. Руденко, А.В. Мяконьких, В.Ф. Лукичев “Криогенные плазменные технологии в кремниевой микроэлектронике: 3D интегральные схемы или как продлить жизнь закона Мура”, для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, 13 по 17 июля 2026 года. Работа поддержана грантом РНФ № 24-69-00039,https://rscf.ru/project/24-69-00039/. Докладчик – Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва
9. Фетисенкова К. А., Татаринцев А. А., Рогожин А. Е., Иешкин А. Е., Буруто М. Д., “Влияние диэлектрического слоя SiO2 на формирование структуры кросбара мемристоров в процессе электронно-лучевой литографии”, для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах конференции 68-я Всероссийская научная конференция МФТИ в честь 130-летия со дня рождения Н.Н. Семёнова, Долгопрудный, 30 марта – 4 апреля, 2026. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик – Фетисенкова Ксения Алексеевна, ОФТИ, Москва
10. А.В. Лобачев, М.А. Чуев, “Нетривиальные формы петель гистерезиса в кривых намагничивания низкоразмерных антиферромагнетиков”, для опубликования в открытой печати в виде статьи в журнале «Письма в ЖЭТФ» издательства «МАИК-НАУКА». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Докладчик – Лобачев Андрей Викторович, ОФТИ, Москва
11. Е. В. Стекольщиков, М. А. Лях, В. В. Наумов, О. В. Морозов, И. В. Уваров, “Калориметрический МЭМС-датчик скорости потока газов”. Представлена для опубликования в открытой печати в виде: статьи в журнале “Микроэлектроника” издательства   МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик – Стекольщиков Егор Владимирович, ОФТИ, Ярославль

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 03 февраля 2026 г. (в 15-00)

  1. И.С. Фаттахов, О.С. Трушин, А.А. Попов, Л.А. Мазалецкий. «Влияние подложки на формирование массивов наноструктур при наклонном напылении». Тезисы в трудах 55-ой Международной Тулиновской конференции по Физике Взаимодействия Заряженных частиц с Кристаллами, Москва, МГУ им. М.В. Ломоносова, 26-29 мая 2026. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик Фаттахов Илья Сергеевич, ОФТИ, Ярославль
  2. А.А.Максимкин, И.С. Фаттахов, О.С. Трушин, Л.А. Мазалецкий «Исследование процесса литирования-делитирования кремниевых тонкопленочных электродов». Тезисы в трудах XX Конференции молодых ученых, аспирантов и студентов ИФХЭ РАН «ФИЗИКОХИМИЯ – 2026», Москва, ИФХЭ РАН, 16 – 20 февраля 2026. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик Фаттахов Илья Сергеевич, ОФТИ, Ярославль.
  3. А.В. Цуканов и И.Ю. Катеев. «Корректирование спектральной асимметрии зарядового кубита, вызванной неоднородностью химического состава, полями затвора и кантилевера». Представлена для опубликования в открытой печати в виде: статьи в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.2. Докладчик Катеев Игорь Юльевич, ОФТИ, Москва.
  4. В.П. Попов, В.А. Антонов, Е.В. Жилицкий, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко, «UTBB SOI структуры с локальными TR-HR слоями после имплантации молекулярных ионов СО». Для опубликованияв виде тезисов в трудах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, 13 по 17 июля 2026 года. Работа поддержана грантом РНФ №25-19-20049 и правительства Новосибирской области Грант № 30-2025-000924 при создании и исследовании КНИ структур, а также госзаданием НИЦ «Курчатовский институт» в части синтеза, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники


11 февраля в 15-00 в смешанном очно-заочном режиме состоится семинар ПЕРСПЕКТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И УСТРОЙСТВА МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ (руководитель семинара член-корр. РАН В.Ф. Лукичев)

В программе семинара:
Шлепаков Павел Сергеевич (НИЦ “Курчатовский институт” Обособленное подразделение “Отдел микротехнологий” – Ярославль)
«Разработка микрофлюидного насоса на основе электрохимического актюатора» по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Защита диссертации запланирована в этом году в Диссертационном совете 02.1.003.09.
(НИЦ “Курчатовский институт”, Председатель совета – В.Ф. Лукичев).

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Uncategorized

Программа семинара 20 января 2026 г. (в 15-00)

  1. Доклад снят с рассмотрения
  2. Miakonkikh A.V., Khalilullin R.R., Kuzmenko V.O. «Possibilities of atomic-layer etching in inductively coupled plasma for the creation of nanoelectronic devices». (Перевод: Мяконьких А.В., Халилуллин Р.Р., Кузьменко В.О. «Возможности атомно-слоевого травления в индуктивно связанной плазме для создания наноэлектронных устройств».) Тезисы доклада на 22-ое Международное совещание 6-10 апреля 2026 «Сложные системы заряженных частиц и их взаимодействие с электромагнитным излучением CSCPIER-2026». Москва, 6-10 апреля 2026 г. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  3. Khalilullin R.R., Kuzmenko V.O, Miakonkikh A.V., «Numerical investigation of clamp effect on space charge layer formation and impact on etch uniformity». (Перевод Халилуллин Р.Р., Кузьменко В.О., Мяконьких А.В. «Численное исследование влияния эффекта прижима на формирование слоя пространственного заряда и его воздействие на равномерность травления»). Тезисы доклада на 22-ое Международное совещание 6-10 апреля 2026 «Сложные системы заряженных частиц и их взаимодействие с электромагнитным излучением CSCPIER-2026». Москва, 6-10 апреля 2026 г. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

09 декабря (вторник) 2025 года в 15-00 состоится семинар

  1. А. А. Ломоносов, Д.С. Жогов, М.В. Стрелков, Н.Н. Котова, К. Д. Щербачев, А. М. Чекушкин, А. А. Татаринцев, А.Л. Васильев, А.А. Ломов, М. А. Тарасов, «Сверхпроводящие тонкие пленки NbN, Nb3N 4 для резонаторов и параметрических усилителей: влияние азота на структурные, резонансные и транспортные характеристики», представлена для опубликования в виде тезисов в материалах конференции «XXX Симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», который будет проводиться с 9 по 13 марта 2026 года в Нижнем Новгороде. Работа выполнена при финансовой поддержке гранта РНФ № 23-79-00022. Докладчик Ломов Андрей Александрович, ОФТИ, Москва.
  2. А.В. Цуканов и И.Ю. Катеев, «Настройка частот электронных переходов в двойной квантовой точке иглой кантилевера». Тезисы доклада на конференцию «XII Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии – ЛаПлаз-2026», Москва, НИЯУ МИФИ, 02 – 06 февраля 2026 г. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.2. Докладчик Цуканов Александр Викторович,ОФТИ, Москва.
 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

11 ноября (вторник) 2025 года в 15-00 состоится семинар.

  1. Уваров И. В., Белозеров И. А., Морозов М. О. «Микромеханический СВЧ-переключатель с контактом металл-металл». Статья в журнал «Наноиндустрия» издательства «Техносфера». Работа выполнена при финансовой поддержке  гранта РНФ № 25-19-20107 и государственного задания НИЦ «Курчатовский институт» , тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик Уваров Илья Владимирович, ОФТИ, Ярославль. (форум Микроэлектроника)
  2. КузьменкоВ. О., Халилуллин Р. Р., Мяконьких А. В. «Экспериментальное исследование однородности процессов травления и распыления по пластине в установке плазмохимического травления». VIмеждународная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» Татарстан, Казань, 25 – 27 ноября 2025. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.
  3. Халилуллин Р.Р., Кузьменко В.О., Мяконьких А.В. «Моделирование эффектов, влияющих на однородность процесса распыления в индуктивно связанной плазме». VIмеждународная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» Татарстан, Казань, 25 – 27 ноября 2025.
    Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ, Москва.
  4. Рыжова Д.И., Павлов И.В., Михайлова А.В. «Исследование влияния состава газовой смеси при плазмохимическом травлении на формирование металлических межсоединений», статья в журнал «Радиоэлектроника. Наносистемы. Информационные технологии» издательства Отделение проблем радиоэлектроники, нанофизики и информационных технологий РАЕН. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ИППМ.1. ДокладчикРыжоваДарья Игоревна, ОППМ.
  5. V.P. Kudrya «Some Properties of Argon as an Actinometric Atom. III. Parameters of the Reduced Global Model» (В.П. Кудря«Свойствааргона как актинометрического атома. III. Параметры упрощенной глобальной (нульмерной) модели»). Статья для журнала «Russian Microelectronics» издательства «Pleiades Publishing, Ltd». Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Кудря Владимир Петрович, ОФТИ, Москва. (ICMNE)
  6. А.В. Лобачев, М.А. Чуев, Гистерезис в кривых намагничивания «идеальных» антиферромагнитных наночастиц. Статья в журнале «Физика твердого тела», издается ФТИ им. А.Ф.Иоффе.Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Лобачев Андрей Викторович, ОФТИ, Москва.