Семинары

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара 12 мая 2026 г. в 15-00

  1. Статья ” Формирование одноэлектронных структур окислением легированного бором кремния” авторы С. А. Панкратов, Д. Д. Кусакина, В. В. Шорохов, А. В. Мяконьких, А. Е. Рогожин, В. А. Крупенин, Д. Е. Преснов для опубликования в журнале «Вестник Московского Университета. Серия 3. Физика. Астрономия» издательства «Издательство Московского университета». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  2. Статья «Mechanisms determining uniformity across the wafer in low-energy plasma etching for microelectronic applications: ion energy distribution function and edge effects» авторы R. R. Khalilullin, V. O. Kuzmenko, A.V. Miakonkikh (перевод «Механизмы, определяющие однородность пластине при низкоэнергетическом плазменном травлении для микроэлектронных применений: функция распределения энергии ионов и краевые эффекты» Авторы: Р. Р. Халилуллин, В. О. Кузьменко, А. В. Мяконьких) для опубликования в журнале «Physics of Plasmas» издательства «AIP Publishing». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  3. Статья «Low-temperature etching of porous organosilicate dielectric in dibromotetrafluoroethane plasma» авторов A.A. Rezvanov, A.V. Miakonkikh, A.S. Vishnevskiy, V.O. Kuzmenko, R.A. Gaidukasov, A.A. Reznik, K.V. Rudenko, K.A. Vorotilov, M.R. Baklanov (перевод «Низкотемпературное травление пористого органосиликатного диэлектрика в плазме дибромтетрафторэтана» авторы А.А. Резванов, А.В. Мяконьких, А.С. Вишневский, В.О. Кузьменко, Р.А. Гайдукасов, А.А. Резник, К.В. Руденко, К.А. Воротилов, М.Р. Бакланов) для опубликования в журнале «Plasma chemistry and plasma processing» издательства «Springer Nature». Работа выполнена в рамках гранта РНФ №23-79-30016. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Квантовые компьютеры, Семинары

30 апреля в 13:00 состоится семинар

Элементы линейно-оптических квантовых вычислений на основе интегрально-оптических чипов

Докладчик: Николай Скрябин, научный сотрудник.
Кафедра квантовой электроники, Физический факультет и Центр квантовых технологий МГУ имени М.В. Ломоносова

по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Специальность: 1.3.19. Лазерная физика

 

Аннотация:
Диссертационное исследование посвящено разработке и характеризации элементов линейно-оптических квантовых вычислений на основе интегрально-оптических чипов, созданных с помощью технологии фемтосекундной лазерной записи. Актуальность темы обусловлена необходимостью перехода фотонных квантовых вычислений с объемной оптики на твердотельную интегрально-оптическую платформу. В ходе работ были разработаны двухкубитные чипы на основе кварцевого стекла и продемонстрированы эксперименты на их основе в квантовом режиме с одиночными фотонами, а также разработаны различные светоделители в кристалле. Дополнительно была предложена архитектура интерферометра на основе решетки волноводов и теоретически проанализированы её возможности. Полученные результаты могут быть использованы для разработки малокубитных линейно-оптических квантовых вычислителей.

Автореферат и диссертацию можно скачать по ссылке: https://dissovet.msu.ru/dissertation/3868

Ссылка на онлайн форму для оформления пропуска: https://forms.gle/5uLAmUZJfm3V7iZM7

Ссылка на видеовстречу: https://telemost.yandex.ru/j/19424031726165

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Во вторник 02 июня в 15-00 состоится очно-заочный семинар. Очная часть пройдет в к. 602. 
 
Докладчик: Гусев Михаил Рубенович (НИЦ “Курчатовский институт” – НИИСИ)
 
“Исследование и разработка программных методов создания компактных моделей элементов СБИС с учетом статистических отклонений технологического процесса”
 
по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств.

 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 21 апреля 2026 г.

  1. Тезисы доклада “Формирование дефектов в пленках оксида гафния для мемристорных кроссбар-массивов высокой плотности” авторы Исаев А. Г., Мяконьких А. В., Рогожин А. Е.,для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах 8-й Школы молодых учёных «Микроэлектроника 2026», г Сочи, Россия, 21 – 29 сентября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Исаев Александр Геннадьевич, ОФТИ, Москва.
  2. Статья “Параметры плазмы и концентрации атомов фтора в смеси SF6 + He + O2: влияние соотношения компонентов, давления и вкладываемой мощности” авторы  Мяконьких  А. В., Кузьменко  В. О., Ефремов А. М., Руденко К. В.   для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства   МАИК НАУКА. Работа выполнена за счет гранта Российского научного фонда №24-69-00039, https://rscf.ru/project/24-69-00039/.   Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  3. Тезисы доклада “Энергоэффективность элементной базы для реализации систем искусственного интеллекта” авторы Руденко К.В., Мяконьких А.В., Попов В.П. для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах 36-ой Международной конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» КрыМиКо’2026,06-12 сентября 2026 г. Севастополь, Россия.  Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.  Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 07 апреля 2026 г. в 14-00 (время изменено)

12. Статья «Обзор методов атомно-слоевого травления для создания устройств микроэлектроники» авторы Кузьменко В. О., Халилуллин Р. Р. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ, Москва.

23. Статья «Обратимость резистивных переключений в мемристорах филаментарного типа в отсутствии фазового перехода» авторы А.В. Фадеев, К.В. Руденко для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Фадеев Алексей Владимирович, ОФТИ, Москва.

24. Статья «Тонкие пленки NbNx для сверхпроводниковых микроволновых устройств» авторы Ломов А.А., Щербачев К.Д., Татаринцев А.А., Чекушкин А.М., Ломоносов А.А., Тарасов М.А. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Ломов Андрей Александрович, ОФТИ, Москва.

25. Статья «Сверхпроводящие пленки NbNx для резонаторов и параметрических усилителей» авторов А. А. Ломоносов, Д. С. Жогов, М. В. Стрелков, Н. Н. Котова, Р. К. Козулин, А. А. Гунбина, К. Д. Щербачев, А. М. Чекушкин, А. А. Татаринцев, А. Л. Васильев, А. А. Ломов, М. А. Тарасов для опубликования в открытой печати в виде статьи в «Журнале Технической Физики (ЖТФ)» издательства ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Ломов Андрей Александрович, ОФТИ, Москва.

26. Тезисы доклада «Криогенное плазменное травление кремния для создания элементов рентгеновской оптики» авторов МяконькихА.В., Юнкин В.А., Руденко К.В. для опубликования в виде тезисов в в материалах научного мероприятия Балтийский воркшоп «Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс: 30 лет спустя, перспективы развития», 19-22 мая 2026 года, Калининград, Россия. Работа выполнена за счет гранта Российского научного фонда №24-69-00039, https://rscf.ru/project/24-69-00039/. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 24  марта 2026 г. в 15-00

  1. Статья «Нестандартные формы кривых намагничивания антиферромагнитных наноматериалов» авторы Лобачев А.В., Чуев М.А. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Чуев Михаил Александрович, ОФТИ, Москва.
  2. Тезисы доклада «Нетривиальные формы петель гистерезиса в кривых намагничивания антиферромагнитных наноматериалов» авторы Лобачев А.В., Чуев М.А для опубликования в трудах научного мероприятия Конференция «Перспективные материалы и технологии» («ПМТ – 2026»), 06-12 апреля 2026 г., г. Москва, Россия. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Чуев Михаил Александрович, ОФТИ, Москва.
  3. Статья «Зарядовый кубит на асимметричной двойной квантовой точке с экситонным управлением» автор А.В. Цуканов для опубликования в журнале “Квантовая электроника” издательства «ФИАН». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Цуканов Александр Викторович, ОФТИ, Москва.
  4. Статья «Контроль туннельной динамики электрона в двойной квантовой точке полем непрямого экситона» автор А.В. Цуканов для опубликования в журнале “Квантовая электроника” издательства «ФИАН». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Цуканов Александр Викторович, ОФТИ, Москва.
  5. Тезисы доклада «Математическая модель и аппарат пятен для Искусственного интеллекта» автора Симонов Н.А. международной конференции «Математические идеи академика П.Л. Чебышёва, их приложения в естественных науках и технологиях искусственного интеллекта» 14-16 мая 2026 г. Калужская область, г. Обнинск, Россия. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Симонов Николай Анатольевич, ОФТИ, Москва.
  6. Статья «Оптимизация беспроводной передачи данных в трехмерных интегральных схемах с использованием нанофотонных устройств: проблемы и решения» авторов Серов Д. А., Хорин И. А. для опубликования в журнале “Russian Microelectronics” издательства «Pleiades Publishing, Ltd». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.  Хорин Иван Анатольевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Во вторник 17 марта в 13-00 состоится очно-заочный семинар. Очная часть пройдет в к. 602. 
 
Доклачик: Грушевский Егор Алексеевич 
“Наноструктурированные пленочные системы с перпендикулярной магнитной анизотропией”
по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук.
Специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств.
 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 03 марта 2026 г. (в 15-00)

12. Статья «Обзор методов атомно-слоевого травления для создания устройств микроэлектроники» авторы Кузьменко В. О., Халилуллин Р. Р. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.

13. Статья «Экспериментальное исследование однородности процессов травления и распыления по пластине в установке плазмохимического травления» авторы А. В. Мяконьких, В. О. Кузьменко, Р. Р. Халилуллин для опубликования в журнале “Химия высоких энергий” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.

14. Статья «КНИ структуры с ультратонкими слоями для радиофотонных интегральных схем» авторы В.П. Попов, В.А. Антонов, В.Е. Жилицкий, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко для опубликования в журнале «Физика и техника полупроводников» издательства ФТИ им. А.Ф.Иоффе. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.

15. Тезисы доклада «Энергоэффективные элементы ИС – сегнетоэлектрики в кремнии» авторы В.П. Попов, М.С. Тарков, Ф.В. Тихоненко, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко для опубликования в материалах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, с 13 по 17 июля 2026 года (Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.

16. Тезисы доклада «Окисление легированного бором слоя кремния как способ изготовления одноэлектронных устройств» авторы C. Панкратов, Д. Кусакина, А. Мяконьких, А. Рогожин, В. Крупенин, В. Шорохов, Д. Преснов для опубликования в трудах научного мероприятия «Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов», Москва, 10-25 апреля 2026 года, (Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 17 февраля 2026 г. (в 15-00)

8. К.В. Руденко, А.В. Мяконьких, В.Ф. Лукичев “Криогенные плазменные технологии в кремниевой микроэлектронике: 3D интегральные схемы или как продлить жизнь закона Мура”, для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, 13 по 17 июля 2026 года. Работа поддержана грантом РНФ № 24-69-00039,https://rscf.ru/project/24-69-00039/. Докладчик – Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва
9. Фетисенкова К. А., Татаринцев А. А., Рогожин А. Е., Иешкин А. Е., Буруто М. Д., “Влияние диэлектрического слоя SiO2 на формирование структуры кросбара мемристоров в процессе электронно-лучевой литографии”, для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах конференции 68-я Всероссийская научная конференция МФТИ в честь 130-летия со дня рождения Н.Н. Семёнова, Долгопрудный, 30 марта – 4 апреля, 2026. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик – Фетисенкова Ксения Алексеевна, ОФТИ, Москва
10. А.В. Лобачев, М.А. Чуев, “Нетривиальные формы петель гистерезиса в кривых намагничивания низкоразмерных антиферромагнетиков”, для опубликования в открытой печати в виде статьи в журнале «Письма в ЖЭТФ» издательства «МАИК-НАУКА». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Докладчик – Лобачев Андрей Викторович, ОФТИ, Москва
11. Е. В. Стекольщиков, М. А. Лях, В. В. Наумов, О. В. Морозов, И. В. Уваров, “Калориметрический МЭМС-датчик скорости потока газов”. Представлена для опубликования в открытой печати в виде: статьи в журнале “Микроэлектроника” издательства   МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик – Стекольщиков Егор Владимирович, ОФТИ, Ярославль

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 03 февраля 2026 г. (в 15-00)

  1. И.С. Фаттахов, О.С. Трушин, А.А. Попов, Л.А. Мазалецкий. «Влияние подложки на формирование массивов наноструктур при наклонном напылении». Тезисы в трудах 55-ой Международной Тулиновской конференции по Физике Взаимодействия Заряженных частиц с Кристаллами, Москва, МГУ им. М.В. Ломоносова, 26-29 мая 2026. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик Фаттахов Илья Сергеевич, ОФТИ, Ярославль
  2. А.А.Максимкин, И.С. Фаттахов, О.С. Трушин, Л.А. Мазалецкий «Исследование процесса литирования-делитирования кремниевых тонкопленочных электродов». Тезисы в трудах XX Конференции молодых ученых, аспирантов и студентов ИФХЭ РАН «ФИЗИКОХИМИЯ – 2026», Москва, ИФХЭ РАН, 16 – 20 февраля 2026. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.3. Докладчик Фаттахов Илья Сергеевич, ОФТИ, Ярославль.
  3. А.В. Цуканов и И.Ю. Катеев. «Корректирование спектральной асимметрии зарядового кубита, вызванной неоднородностью химического состава, полями затвора и кантилевера». Представлена для опубликования в открытой печати в виде: статьи в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках плановой темы Отделения ФТИАН им. К.А. Валиева НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.2. Докладчик Катеев Игорь Юльевич, ОФТИ, Москва.
  4. В.П. Попов, В.А. Антонов, Е.В. Жилицкий, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко, «UTBB SOI структуры с локальными TR-HR слоями после имплантации молекулярных ионов СО». Для опубликованияв виде тезисов в трудах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, 13 по 17 июля 2026 года. Работа поддержана грантом РНФ №25-19-20049 и правительства Новосибирской области Грант № 30-2025-000924 при создании и исследовании КНИ структур, а также госзаданием НИЦ «Курчатовский институт» в части синтеза, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.