admin-ftian

5 апреля 2022 в 15-00 Механизмы формирования наклона кристаллографических осей в эпитаксиальных гетероструктурах Докладчик  – П.Б. Можаев  (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН) Подробнее

Транзисторные Fin и NW-структуры на подложках SOI.  Основа нового поколения наноразмерных транзисторов с затвором GAA

Авторы: Руденко К.В., Вьюрков В.В., Рогожин А.Е., Мяконьких А.В., Татаринцев А.А. Разработана технология наноразмерных кремниевых Fin-структур и нанопроводов с критическим размером менее 10 нм. ТехнологияПодробнее

Сравнительное исследование ICP плазмы газов CF4, CBrF3, C2Br2F4

Авторы из ФТИАН им. К.А. Валиева РАН: В. О. Кузьменко, А. В. Мяконьких, К. В. Руденко Результат получен совместно с Ивановским Государственным Химико-Технологическим Университетом (А.Подробнее

15:00   А. А. Дедкова (МИЭТ) Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур (по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата техническихПодробнее

Разработка технологии изготовления чувствительного элемента микрогироскопа для систем навигации

Совместно с Раменским приборостроительным КБ и ОАО «Инерциальные Технологии «Технокомплекса» проведены обширные исследования по разработке конструкции, технологии изготовления микрогироскопа на основе МЭМС технологии для современныхПодробнее

Развитие технологий плазменных процессов формирования трехмерных микро-и наноструктур

Выполнены исследования в области разработки конструкции, математического моделирования и технологии изготовления изделий микросистемной техники. Разработаны маршруты изготовления на основе технологии формирования микроструктур с использованием плазмохимическогоПодробнее

Плазмохимические процессы травления высокоаспектных структур в кремнии

Проведены исследования глубокого анизотропного травления Si в циклическом, двухстадийном процессе в плазме SF6/C4F8 ВЧИ разряда (Bosch-процесс) для получения высокоаспектных микроструктур. Создан программный комплекс моделирования формированияПодробнее

15:00  Н. А. Симонов (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН) Развитие математического аппарата модели пятен для представления и обработки неточной, качественной и смысловой информацииПодробнее