Laboratories » Laboratory of ion-beam technologies

Основные направления исследований

Основные научные результаты

Основные результаты прикладных исследований

Патенты

Текущие проекты и гранты

Публикации за 2020—2021 гг.

 

Руководитель лаборатории  – к.ф.-м.н. Кудря Владимир Петрович

+7 (499) 129-76-33

kvp@ftian.ru

Основные направления исследований

Применение ионно-лучевых методов для создания тонких пленок и микроструктур.

Диагностика пучков быстрых нейтральных частиц.

Исследование механизмов возбуждения эмиссионных линий в низкотемпературной технологической плазме низкого давления

Основные научные результаты          

  1. Создана математическая модель функционирования канала нейтрализации источника пучков быстрых нейтральных частиц, использующая метод Монте-Карло.
  2. Выполнен анализ физических принципов диагностики пучков быстрых нейтральных частиц.
  3. Создана полная модель функционирования калориметров адиабатического типа, предназначенных для измерения энергии пучков различной природы, получены выражения для чувствительности калориметра такого типа и времени отклика.
  4. Выполнен анализ одномерной теплофизической модели функционирования калориметра проточного типа, путем последовательного введения упрощающих предположений получены простые выражения для чувствительности калориметра и времени отклика.
  5. Исследованы некоторые процессы ионизации электронным ударом в BF3-плазме.
  6. Исследованы механизмы возбуждения эмиссионной линии 345 нм иона B+ в борсодержащих плазмах.
  7. Выполнена идентификация эмиссионных линий и полос борсодержащих компонент плазмы BF3/Ar.

Основные результаты прикладных исследований

Разработка и реализация технологии осаждения пленки алмазоподобного углерода на рабочие поверхности имплантируемого насоса крови.

Патенты

  1. Патент на изобретение №2395133

“Источник быстрых нейтральных частиц”. Авторы: Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Терентьев Ю.П., Кудря В.П. Патентообладатель: Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН. Приоритет изобретения 10 марта 2009 г. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений РФ 20 июля 2010 г. Срок действия патента истекает 10 марта 2029 г.

  1. Патент на изобретение RU №2433081 С1

“Способ ионно-лучевой обработки”. Авторы Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Терентьев Ю.П. Патентообладатель: Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН. Приоритет изобретения 8 июля 2010 г. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений РФ 10 ноября 2011 г.

  1. Патент на изобретение RU №2468465 C2

“Источник быстрых нейтральных частиц”. Авторы: Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Терентьев Ю.П., Кудря В.П. Патентообладатель: ФГБУН Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН РАН). Приоритет изобретения 27 декабря 2010 г. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений РФ 27 ноября 2012 г. Срок действия патента истекает 27 декабря 2030 г.

Текущие проекты и гранты

Госзадание FFNN-2022-0019 «Фундаментальные и поисковые исследования в области создания перспективной элементной базы наноэлектроники и ее ключевых технологий».

Публикации за 2018—2022 гг.

  1. Kudrya V.P. “Beam power absolute measurements using the calorimetric method”. Proceedings of SPIE, 2022 (January 31), Vol. 12157 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021”, 12157-1P [DOI: 10.1117/12.2624099]
  2. Кудря В.П. “Математическая модель работы адиабатических калориметрических измерителей потоков энергии пучков частиц в динамическом режиме”. Микроэлектроника, 2022, т. 51, № 2, с. 140‑147. [https://doi.org/10.31857/S0544126922010070]
  3. Кудря В.П. “Исследование квазиодномерной модели проточного калориметра, предназначенного для измерения мощности пучков”. Труды ФТИАН, 2021, т. 30 “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование”. М.: Наука, 2021, 111 с. (с. 102‑110) ISBN 978-5-02-040925-5
  4. Кудря В.П., Маишев Ю.П. “Измерение мощности потоков быстрых нейтральных частиц с помощью адиабатических калориметров”. Труды ФТИАН, 2020, т. 29 “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование”. М.: Наука, 2020, 103 с. (с. 91‑102) ISSN 0868-7129
  5. Кудря В.П. “Идентификация и механизмы возбуждения линий и полос борсодержащих компонент в оптическом эмиссионном спектре низкотемпературной BF3/Ar-плазмы”. Микроэлектроника, 2019, т. 48, № 1, с. 56‑62, DOI: 10.1134/S0544126919010058 [Kudrya V.P. “Identification and Excitation Mechanisms of the Lines and Bands of Boron-Containing Components in the Optical Emission Spectra of Low-Temperature BF3/Ar Plasmas”. Russian Microelectronics, 2018, Vol. 48, No. 1, pp. 55‑60; DOI: 10.1134/S1063739719010050]
  6. Kudrya V. “Optical emission spectra of BF3/Ar-plasma: detection of the boron 563.3 nm spectral line and identification of BF band spectra”, Proceedings of SPIE, 2019, Vol. 11022 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018”, 1102227; doi: 10.1117/12.2522166.
  7. Маишев Ю.П. “Создание и развитие ионно-лучевых технологий”. Микроэлектроника, 2019, т. 48, № 6, с. 403‑420, DOI: 10.1134/S0544126919050065 [Maishev Yu.P. “Creation and Development of the Ion Beam Technology”. Russian Microelectronics, 2019, Vol. 48, No. 6, pp. 347‑363. DOI: https://doi.org/10.1134/S1063739719050068]
  8. Маишев Ю.П. “Развитие ионно-лучевых технология в Физико-технологическом институте РАН”. История науки и техники, 2018, № 8, с. 37‑46. 10.25791/intstg.08.2018.104
  9. Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Кудря В.П. “Формирование сверхтонких сплошных пленок методом ионно-лучевой обработки”. Прикладная физика, 2018, № 4, с. 79‑83.
  10. Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Кудря В.П. “Экспериментальное исследование плотности потока пучка быстрых нейтральных частиц методом кварцевого микровзвешивания”. Прикладная физика, 2018, № 2, с. 86‑89.
  11. Кудря В.П., Маишев Ю.П. “Применение технологии пучков быстрых нейтральных частиц в микро- и наноэлектронике”. Микроэлектроника, 2018, т. 47, № 5, с. 51‑63 DOI: 10.31857/S054412690001738-8 (Kudrya V.P., Maishev Yu.P. “Applications of the Technology of Fast Neutral Particle Beams in Micro- and Nanoelectronics”. Russian Microelectronics, 2018, Vol. 47, No. 5, pp. 334‑345; DOI: 10.1134/S1063739718050049).
  12. Кудря В.П., Маишев Ю.П. “Физические принципы диагностики пучков быстрых нейтральных частиц. II. Методы определения полного потока частиц в пучке”. Труды ФТИАН, 2018, т. 27 “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника (физика, технология, диагностика и моделирование)”. М.: Наука, 2018, 138 с. (с. 89‑98) ISBN 978-5-02-040089-4
  13. Kudrya V.P. “Optical emission spectrum of BF3 plasma: Identification of lines and bands belonging to boron-contained species”. Proceedings of the International Conference “Micro- and Nanoelectronics ‑ 2018”, Moscow: MAKS Press, 2018, 218 p. (p. 142) (ISBN 978-5-317-05917-0)