Основные направления исследований
Основные результаты прикладных исследований
Руководитель лаборатории – к.ф.-м.н. Кудря Владимир Петрович
+7 (499) 129-76-33
kvp@ftian.ru
Основные направления исследований
Применение ионно-лучевых методов для создания тонких пленок и микроструктур.
Диагностика пучков быстрых нейтральных частиц.
Исследование механизмов возбуждения эмиссионных линий в низкотемпературной технологической плазме низкого давления
- Создана математическая модель функционирования канала нейтрализации источника пучков быстрых нейтральных частиц, использующая метод Монте-Карло.
- Выполнен анализ физических принципов диагностики пучков быстрых нейтральных частиц.
- Создана полная модель функционирования калориметров адиабатического типа, предназначенных для измерения энергии пучков различной природы, получены выражения для чувствительности калориметра такого типа и времени отклика.
- Выполнен анализ одномерной теплофизической модели функционирования калориметра проточного типа, путем последовательного введения упрощающих предположений получены простые выражения для чувствительности калориметра и времени отклика.
- Исследованы некоторые процессы ионизации электронным ударом в BF3-плазме.
- Исследованы механизмы возбуждения эмиссионной линии 345 нм иона B+ в борсодержащих плазмах.
- Выполнена идентификация эмиссионных линий и полос борсодержащих компонент плазмы BF3/Ar.
Основные результаты прикладных исследований
Разработка и реализация технологии осаждения пленки алмазоподобного углерода на рабочие поверхности имплантируемого насоса крови.
- Патент на изобретение №2395133
“Источник быстрых нейтральных частиц”. Авторы: Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Терентьев Ю.П., Кудря В.П. Патентообладатель: Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН. Приоритет изобретения 10 марта 2009 г. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений РФ 20 июля 2010 г. Срок действия патента истекает 10 марта 2029 г.
- Патент на изобретение RU №2433081 С1
“Способ ионно-лучевой обработки”. Авторы Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Терентьев Ю.П. Патентообладатель: Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН. Приоритет изобретения 8 июля 2010 г. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений РФ 10 ноября 2011 г.
- Патент на изобретение RU №2468465 C2
“Источник быстрых нейтральных частиц”. Авторы: Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Терентьев Ю.П., Кудря В.П. Патентообладатель: ФГБУН Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН РАН). Приоритет изобретения 27 декабря 2010 г. Зарегистрировано в Государственном реестре изобретений РФ 27 ноября 2012 г. Срок действия патента истекает 27 декабря 2030 г.
Госзадание FFNN-2022-0019 «Фундаментальные и поисковые исследования в области создания перспективной элементной базы наноэлектроники и ее ключевых технологий».
- Kudrya V.P. “Beam power absolute measurements using the calorimetric method”. Proceedings of SPIE, 2022 (January 31), Vol. 12157 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021”, 12157-1P [DOI: 10.1117/12.2624099]
- Кудря В.П. “Математическая модель работы адиабатических калориметрических измерителей потоков энергии пучков частиц в динамическом режиме”. Микроэлектроника, 2022, т. 51, № 2, с. 140‑147. [https://doi.org/10.31857/S0544126922010070]
- Кудря В.П. “Исследование квазиодномерной модели проточного калориметра, предназначенного для измерения мощности пучков”. Труды ФТИАН, 2021, т. 30 “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование”. М.: Наука, 2021, 111 с. (с. 102‑110) ISBN 978-5-02-040925-5
- Кудря В.П., Маишев Ю.П. “Измерение мощности потоков быстрых нейтральных частиц с помощью адиабатических калориметров”. Труды ФТИАН, 2020, т. 29 “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование”. М.: Наука, 2020, 103 с. (с. 91‑102) ISSN 0868-7129
- Кудря В.П. “Идентификация и механизмы возбуждения линий и полос борсодержащих компонент в оптическом эмиссионном спектре низкотемпературной BF3/Ar-плазмы”. Микроэлектроника, 2019, т. 48, № 1, с. 56‑62, DOI: 10.1134/S0544126919010058 [Kudrya V.P. “Identification and Excitation Mechanisms of the Lines and Bands of Boron-Containing Components in the Optical Emission Spectra of Low-Temperature BF3/Ar Plasmas”. Russian Microelectronics, 2018, Vol. 48, No. 1, pp. 55‑60; DOI: 10.1134/S1063739719010050]
- Kudrya V. “Optical emission spectra of BF3/Ar-plasma: detection of the boron 563.3 nm spectral line and identification of BF band spectra”, Proceedings of SPIE, 2019, Vol. 11022 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018”, 1102227; doi: 10.1117/12.2522166.
- Маишев Ю.П. “Создание и развитие ионно-лучевых технологий”. Микроэлектроника, 2019, т. 48, № 6, с. 403‑420, DOI: 10.1134/S0544126919050065 [Maishev Yu.P. “Creation and Development of the Ion Beam Technology”. Russian Microelectronics, 2019, Vol. 48, No. 6, pp. 347‑363. DOI: https://doi.org/10.1134/S1063739719050068]
- Маишев Ю.П. “Развитие ионно-лучевых технология в Физико-технологическом институте РАН”. История науки и техники, 2018, № 8, с. 37‑46. 10.25791/intstg.08.2018.104
- Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Кудря В.П. “Формирование сверхтонких сплошных пленок методом ионно-лучевой обработки”. Прикладная физика, 2018, № 4, с. 79‑83.
- Маишев Ю.П., Шевчук С.Л., Кудря В.П. “Экспериментальное исследование плотности потока пучка быстрых нейтральных частиц методом кварцевого микровзвешивания”. Прикладная физика, 2018, № 2, с. 86‑89.
- Кудря В.П., Маишев Ю.П. “Применение технологии пучков быстрых нейтральных частиц в микро- и наноэлектронике”. Микроэлектроника, 2018, т. 47, № 5, с. 51‑63 DOI: 10.31857/S054412690001738-8 (Kudrya V.P., Maishev Yu.P. “Applications of the Technology of Fast Neutral Particle Beams in Micro- and Nanoelectronics”. Russian Microelectronics, 2018, Vol. 47, No. 5, pp. 334‑345; DOI: 10.1134/S1063739718050049).
- Кудря В.П., Маишев Ю.П. “Физические принципы диагностики пучков быстрых нейтральных частиц. II. Методы определения полного потока частиц в пучке”. Труды ФТИАН, 2018, т. 27 “Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника (физика, технология, диагностика и моделирование)”. М.: Наука, 2018, 138 с. (с. 89‑98) ISBN 978-5-02-040089-4
- Kudrya V.P. “Optical emission spectrum of BF3 plasma: Identification of lines and bands belonging to boron-contained species”. Proceedings of the International Conference “Micro- and Nanoelectronics ‑ 2018”, Moscow: MAKS Press, 2018, 218 p. (p. 142) (ISBN 978-5-317-05917-0)