Программы для ЭВМ

Программа для ЭВМ RU 2024668570

Программа моделирования Кнудсеновской диффузии в высокоаспектных микроструктурах

Авторы: Руденко М.К.

Приоритет от 11.07.2024

Программа для ЭВМ RU 2023687602

Программа для анализа в реальном времени данных спектральной рефлектометрии с использованием моделей машинного обучения для решения обратной задачи (SpRA Tool)

Авторы: Гайдукасов Р. А., Мяконьких А. В.

Приоритет от 01.12.2023

Программа для ЭВМ RU 2023686496

Программа анализа шероховатости поверхностей и боковых стенок линий на микроскопических снимках полупроводниковых элементов

Авторы: Пермякова О.О., Рогожин А.Е.

Приоритет от 16.11.2023

Программа для ЭВМ RU 2023665031

Программа моделирования термического растекания резиста с неоднородным профилем вязкости

Авторы: Сидоров Ф.А., Рогожин А.Е.

Приоритет от 07.07.2023

Программа для ЭВМ RU 2023665024

Программа моделирования электронно-стимулированной термической деполимеризации резиста

Авторы: Сидоров Ф.А., Рогожин А.Е.

Приоритет от 07.07.2023

Программа для ЭВМ RU 2023664590

Программа моделирования криогенного плазменного травления NGCES

Авторы: Руденко М.К.

Приоритет от 03.07.2023

Программа для ЭВМ RU 2023663183

Программа анализа шероховатости боковых стенок элементов рентгеновской оптики с помощью атомно-силовой микроскопии

Авторы: Пермякова О.О., Рогожин А.Е.

Приоритет от 29.05.2023

Программа для ЭВМ RU 2022684200

Программа анализа растровой электронной микроскопии для оценки параметра шероховатости боковых стенок линий

Авторы: Лукичев В.Ф., Пермякова О.О., Рогожин А.Е.

Приоритет от 22.11.2022

Программа для ЭВМ RU 2019611985

Программа моделирования воздействия электронного пучка на полимеры при различных температурах с учетом процессов деполимеризации

Авторы: Сидоров Ф.А., Рогожин А.Е.

Приоритет от 12.12.2018

Программа для ЭВМ RU 2017613192

Программа моделирования процесса измерения состояния квантового регистра в канале полевого транзистора

Авторы: Руденко М.К.

Приоритет от 14.12.2016