11 апреля 2023 в 15-00
Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
(По материалам диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук)
Докладчик: Руденко Михаил Константинович (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)