Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии

11 апреля 2023 в 15-00 
 
Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
(По материалам диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук)
Докладчик: Руденко Михаил Константинович (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.