Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии

11 апреля 2023 в 15-00 
 
Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
(По материалам диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук)
Докладчик: Руденко Михаил Константинович (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Этот сайт использует Akismet для борьбы со спамом. Узнайте, как обрабатываются ваши данные комментариев.