Программа для ЭВМ RU 2023665024
Программа моделирования электронно-стимулированной термической деполимеризации резиста
Авторы: Сидоров Ф.А., Рогожин А.Е.
Приоритет от 07.07.2023
Программа для ЭВМ RU 2023665024
Программа моделирования электронно-стимулированной термической деполимеризации резиста
Авторы: Сидоров Ф.А., Рогожин А.Е.
Приоритет от 07.07.2023
© 2023 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ФТИАН им. К.А. Валиева Российской академии наук