Программа для ЭВМ RU 2023664590
Программа моделирования криогенного плазменного травления NGCES
Авторы: Руденко М.К.
Приоритет от 03.07.2023
Программа для ЭВМ RU 2023664590
Программа моделирования криогенного плазменного травления NGCES
Авторы: Руденко М.К.
Приоритет от 03.07.2023
© 2023 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ФТИАН им. К.А. Валиева Российской академии наук