Патент на изобретение RU 2691758 C1
Патент на изобретение RU 2691758 C1 «Способ анизотропного плазменного травления кремниевых микроструктур в циклическом двухшаговом процессе окисление-травление» Авторы: Аверкин С.Н., Антипов А.П., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., РуденкоПодробнее