Патент на изобретение RU 2717157 C2

Патент на изобретение RU 2717157 C2

«Способ изготовления туннельного многозатворного полевого нанотранзистора с контактами Шоттки»

Авторы:  Аверкин С.Н., Вьюрков В.В., Кривоспицкий А.Д., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Свинцов Д.А., Семин Ю.Ф.

Приоритет от 07 июня 2018 г.

Зарегистрировано в Госреестре РФ 18.03.2020

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.