Разработана серия источников ионов для реактивного травления и осаждения тонких пленок. Достоинства и технологические возможности ионно-лучевых технологий: высокая направленность воздействия, обеспечивающая высокую прецизионность; возможность получения Подробнее
Развита концепция применения невозмущающих методов мониторинга и диагностики плазменных технологических процессов, основанная на контроле параметров плазмы и приповерхностных слоев пластины в реакторе. Разработаны методы, средстваПодробнее
На основе разработанных методов и средств диагностики in situ плазменных технологических процессов развиты методы контроля параметров анизотропного травления и плазмостимулированного осаждения, которые позволяют обеспечить надежностьПодробнее
Разработан источник быстрых атомарных и молекулярных нейтральных частиц. Источник работает с инертными и химически активными газами; степень нейтральности формируемых пучков – до 100 %, диапазонПодробнее
24 января, 2022. Научного сотрудника ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Алексея Мельникова пригласили выступить с онлайн-докладом в Калифорнийском технологическом институте. Тема доклада: Reinforcement learning forПодробнее
18 января, 2022. Директор ФТИАН им. К.А. Валиева РАН член-корреспондент РАН В.Ф. Лукичев дал интервью редакции сайта РАН (1я часть).Подробнее
15:00 М. М. Яшин (РТУ МИРЭА) Оптические свойства фотонных кристаллов и магнитооптические методы исследования наноструктур и элементов электроники (По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидатаПодробнее
16:00 А. Ю. Кирьянов (РТУ МИРЭА) Методика испытаний твердотельных СВЧ модулей применяемых в радиолокационных станциях с учетом отказов возникающих в начальный период эксплуатации (По материалам диссертацииПодробнее
13 января, 2022. Поздравляем сотрудников ФТИАН – победителей конкурса 2022 – 2024 года на право получения стипендии Президента РФ молодым учёным и аспирантам – МельниковаПодробнее
Патент на изобретение RU 2717157 C2 « Способ изготовления туннельного многозатворного полевого нанотранзистора с контактами Шоттки » Авторы: Аверкин С.Н., Вьюрков В.В., Кривоспицкий А.Д., ЛукичевПодробнее