Источники ионов для реактивного ионно-лучевого травления и осаждения пленок из инертных и химически активных газов
Разработана серия источников ионов для реактивного травления и осаждения тонких пленок. Достоинства и технологические возможности ионно-лучевых технологий: высокая направленность воздействия, обеспечивающая высокую прецизионность; возможность получения Подробнее