Усовершенствован двухстадийный процесс глубокого анизотропного травления кремния (Bosch), в результате чего значительно снижена шероховатость стенок канавки. Усовершенствованный процесс позволяет формировать глубокие «тренчи» через суб-100 нм апертуру с гладкими вертикальными стенками, закругленным дном и аспектным отношением более 30. Технология реализована на установке плазмохимического травления «ПлатРАН-150», разработанной во ФТИАНе.
Аверкин С.Н., Жихарев Е.Н., Лукичев В.Ф., Орликовский А.А., Рылов А.А., Тюрин И.А. Анизотропное плазмохимическое травление глубоких канавок суб-100 нм ширины в кремнии через электронорезистную маску. Интеграл, 2013 (в печати).