15:00
И. И. Амиров и И. В. Уваров (Ярославский филиал ФТИАН РАН)
Разработка конструкции и технологии изготовления электростатического микро- и нанореле на основе многослойного металлического кантилевера с низким напряжением срабатывания
2015-04-28
15:00
И. И. Амиров и И. В. Уваров (Ярославский филиал ФТИАН РАН)
Разработка конструкции и технологии изготовления электростатического микро- и нанореле на основе многослойного металлического кантилевера с низким напряжением срабатывания
© 2001-2022 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ФТИАН им. К.А. Валиева Российской академии наук