Разработка конструкции и технологии изготовления электростатического микро- и нанореле на основе многослойного металлического кантилевера с низким напряжением срабатывания

15:00
И. И. Амиров и И. В. Уваров (Ярославский филиал ФТИАН РАН)
Разработка конструкции и технологии изготовления электростатического микро- и нанореле на основе многослойного металлического кантилевера с низким напряжением срабатывания