Определение микроструктуры материалов кремниевой микро- и оптоэлектроники методами электронной микроскопии

15:00
Ю. М. Чесноков (Национальный исследовательский центр Курчатовский институт)
Определение микроструктуры материалов кремниевой микро- и оптоэлектроники методами электронной микроскопии