Программа семинара 20 января 2026 г. (в 15-00)
- Доклад снят с рассмотрения
- Miakonkikh A.V., Khalilullin R.R., Kuzmenko V.O. «Possibilities of atomic-layer etching in inductively coupled plasma for the creation of nanoelectronic devices». (Перевод: Мяконьких А.В., Халилуллин Р.Р., Кузьменко В.О. «Возможности атомно-слоевого травления в индуктивно связанной плазме для создания наноэлектронных устройств».) Тезисы доклада на 22-ое Международное совещание 6-10 апреля 2026 «Сложные системы заряженных частиц и их взаимодействие с электромагнитным излучением CSCPIER-2026». Москва, 6-10 апреля 2026 г. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
- Khalilullin R.R., Kuzmenko V.O, Miakonkikh A.V., «Numerical investigation of clamp effect on space charge layer formation and impact on etch uniformity». (Перевод Халилуллин Р.Р., Кузьменко В.О., Мяконьких А.В. «Численное исследование влияния эффекта прижима на формирование слоя пространственного заряда и его воздействие на равномерность травления»). Тезисы доклада на 22-ое Международное совещание 6-10 апреля 2026 «Сложные системы заряженных частиц и их взаимодействие с электромагнитным излучением CSCPIER-2026». Москва, 6-10 апреля 2026 г. Работа выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт», тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ, Москва.