Программа семинара 03 марта 2026 г. (в 15-00)
12. Статья «Обзор методов атомно-слоевого травления для создания устройств микроэлектроники» авторы Кузьменко В. О., Халилуллин Р. Р. для опубликования в журнале “Микроэлектроника” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.
13. Статья «Экспериментальное исследование однородности процессов травления и распыления по пластине в установке плазмохимического травления» авторы А. В. Мяконьких, В. О. Кузьменко, Р. Р. Халилуллин для опубликования в журнале “Химия высоких энергий” издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.
14. Статья «КНИ структуры с ультратонкими слоями для радиофотонных интегральных схем» авторы В.П. Попов, В.А. Антонов, В.Е. Жилицкий, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко для опубликования в журнале «Физика и техника полупроводников» издательства ФТИ им. А.Ф.Иоффе. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.
15. Тезисы доклада «Энергоэффективные элементы ИС – сегнетоэлектрики в кремнии» авторы В.П. Попов, М.С. Тарков, Ф.В. Тихоненко, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко для опубликования в материалах научного мероприятия «XVI Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний-2026)» Россия, Владивосток, с 13 по 17 июля 2026 года (Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.
16. Тезисы доклада «Окисление легированного бором слоя кремния как способ изготовления одноэлектронных устройств» авторы C. Панкратов, Д. Кусакина, А. Мяконьких, А. Рогожин, В. Крупенин, В. Шорохов, Д. Преснов для опубликования в трудах научного мероприятия «Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов», Москва, 10-25 апреля 2026 года, (Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.