Новый метод формирования маскирующего изображения (рельефа) путем прямого электронно-лучевого травления резиста

15:00
М. А. Брук (Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова)
Новый метод формирования маскирующего изображения (рельефа) путем прямого электронно-лучевого травления резиста