15:00
М. А. Брук (Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова)
Новый метод формирования маскирующего изображения (рельефа) путем прямого электронно-лучевого травления резиста
2014-03-24
15:00
М. А. Брук (Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова)
Новый метод формирования маскирующего изображения (рельефа) путем прямого электронно-лучевого травления резиста
© 2001-2022 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ФТИАН им. К.А. Валиева Российской академии наук