Наноразмерные структуры Si/SiO2 и сенсоры на их основе

15:00
О. В. Наумова (Институт физики полупроводников, Новосибирск)
Наноразмерные структуры Si/SiO2 и сенсоры на их основе
(По материалам диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук)