15:00
Фадеев А.В. (ФТИАН РАН)
Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
(По материалам диссертации на соискание степени кандидата физико-математических наук)
2014-05-26
15:00
Фадеев А.В. (ФТИАН РАН)
Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
(По материалам диссертации на соискание степени кандидата физико-математических наук)
© 2001-2022 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ФТИАН им. К.А. Валиева Российской академии наук