05 октября 2022 в 15-00
Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления
(по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)
Докладчик: Сидоров Федор Алексеевич (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)
Семинар будет проводиться в смешанном (очном и онлайн) формате. Для получения онлайн-доступа обращайтесь к Мяконьких А.В. miakonkikh@ftian.ru.