Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара “Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники”

21 октября 2026 г. 15-00

 

  1. Статья «Метод расчета периодического установившегося режима в схемах с мультистабильными мемристорами» автор Ульянов С.Л. для опубликования в открытой печати в журнале «Журнал радиоэлектроники» издательства Института радиотехники. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Ульянов Сергей Леонидович, ОППМ.
  2. Тезисы доклада «Квантовые операции на зарядовом кубите с трионным управлением» автор Цуканов А.В. для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах XVI Международной конференции по фотонике и информационной оптике, Москва, НИЯУ МИФИ, 27 – 29 января 2027 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Докладчик: Цуканов Александр Викторович, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  3. Тезисы доклада «Тонкая настройка трионного спектра в двойной квантовой точке полем заряженного кантилевера» авторы Цуканов А.В., Катеев И.Ю. для опубликования в открытой печати тезисов в трудах XVI Международной конференции по фотонике и информационной оптике, Москва, НИЯУ МИФИ, 27 – 29 января 2027 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Докладчик: Цуканов Александр Викторович, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  4. Статья «Влияние облучения ионами дейтерия на величину пробойных напряжений и токов утечек плёнок HfO2, ZrO2, Hf 0,5Zr0,5O2, и Al2O3» авторы Киселевский В. А., Татаринцев А. А., Миннебаев К. Ф., Астахов В.Е для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства «МАИК Наука». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Киселевский Всеволод Алексеевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  5. Статья «Atomic layer etching of HfO2 for the fabrication of memristor crossbar arrays» (Перевод «Атомно-слоевое травление HfO2 для формирования мемристорных кроссбар-массивов») авторы Kuzmenko V., Khalilullin R., Miakonkikh A. (Кузьменко В.О., Халилуллин Р.Р., Мяконьких А.В.) для опубликования в открытой печати в журнале «Journal of Vacuum Science & Technology A» издательства «AIP Publishing», США. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  6. Статья «Моделирование и обработка семантики в искусственном интеллекте на основе математического аппарата пятен» автор Симонов Н.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Успехи кибернетики» издательства НИИСИ – НИЦ «Курчатовский институт». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Симонов Николай Анатольевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  7. Тезисы доклада «Аксиоматика модели пятен и концепция образно-логических нейронных сетей» автор Симонов Н.А. для опубликования в открытой печати в трудах научного мероприятия Международная сетевая научно-практическая конференция «Применение генеративного искусственного интеллекта в отраслях экономики, социальной сферы и государственном управлении Pro&Contra 2026» (г. Москва, 11-14 ноября 2026 г.). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Симонов Николай Анатольевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Семинар по материалам диссертации  на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук     “МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕРАГЕРЦЕВЫХ КВАНТОВО-КАСКАДНЫХ ЛАЗЕРОВ С РАЗЛИЧНЫМ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИМ ОКРУЖЕНИЕМ” Автор:  Жмудь Богдан Александрович (Отделениe сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова (ОСВЧПЭ), НИЦ “Курчатовский институт”. 

Семинар пройдет в очно-заочном режиме во вторник 20 октября в 15-00. Очная часть в к. 602 (Нахимовский проспект 36к1). 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара 22 сентября 2026 г.

 

  1. Статья «Магнитооптические элементы памяти и сенсоров на основе искусственного рельефа энергии для уединенной доменной границы» автор Скиданов В.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Письма в Журнал технической физики» издательство ФТИ им. А.Ф. Иоффе. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Скиданов Владимир Александрович, ОППМ.
  2. Статья «От поведенческой модели к синтезируемой RTL-модели на основе языка Julia» автор Климов А.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Известия ЮФУ. Технические науки.» издательства ЮФУ. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Климов Аркадий Валентинович ОППМ.
  3. Статья «Алгоритм верификации конфигурации ПЛИС на основе метода восстановления списка соединений на вентильном уровне» авторы Журавлев В.А., Чочаев Р.Ж., Железников Д.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Российские нанотехнологии», издательство НИЦ «Курчатовский институт». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Журавлев Владислав Анатольевич, ОППМ.
  4. Статья «Excessive tilt in graphoepitaxially matched Y:ZrO2 thin films on NdGaO3 tilted-axes substrates» (Перевод «Избыточный наклон графоэпитаксиально-согласованных тонких пленок Y:ZrO2 на подложках NdGaO3 с наклоном осей») авторы P. B. Mozhaev (П. Б. Можаев), J. B. Hansen, C. S. Jacobsen для опубликования в открытой печати в журнале «Applied Physics A» издательства Springer Nature. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Можаев Петр Борисович, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  5. Статья «In situ ellipsometry for atomic layer deposition of TaN barrier layers on nanoporous low-k films» (Перевод: «Эллипсометрия для осаждения барьерных слоев TaN на нанопористых пленках с низкой диэлектрической проницаемостью») авторы Мяконьких А.В., Гайдукасов Р.А., Кузьменко В.О. для опубликования в открытой печати в журнале «Russian Microelectronics» издательства «Pleiades Publishing, Ltd». Работа выполнена в рамках гранта РНФ № 23-79-30016 и Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Гайдукасов Рафаэль Алексеевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  6. Статья «Comparative Study of O2- and He-rich SF6/O2/He Plasmas for Dry Etching Applications: Diagnostics and Kinetic Modeling» (Перевод: «Сравнительное исследование плазмы SF6/O2/He, обогащенной кислородом и гелием, для применения в сухом травлении: диагностика и кинетическое моделирование») авторы Мяконьких А.В., Кузьменко В.О., Ефремов А.М., Руденко К.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Vacuum» издательства «Elsevier» (Великобритания). Работа выполнена в рамках гранта РНФ № 24-69-00039. Докладчик: Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара 8 сентября 2026 г.

  1. Статья «Алгоритмы размещения и трассировки для визуализации цифровых схем на вентильном уровне» авторы Дьяченко Н.С., Тиунов И.В., Гаврилов С.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Российские нанотехнологии», издательство НИЦ «Курчатовский институт». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Дьяченко Никита Сергеевич, ОППМ.
  2. Статья «Анализ мультитредового исполнительного устройства параллельной потоковой вычислительной системы на задаче «Перемножение матриц» авторы Бобков С.Г., Левченко Н.Н., Змеев Д.Н. для опубликования в открытой печати в журнале «Известия ЮФУ. Технические науки.» издательства ЮФУ. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Змеев Дмитрий Николаевич, ОППМ.
  3. Тезисы доклада «Влияние краевых эффектов слоя пространственного заряда на радиальную однородность низкоэнергетического плазменного травления» авторы Халилуллин Р.Р., Кузьменко В.О., Хорин И.А., Мяконьких А.В. для опубликования в открытой печати в трудах Конференции «Современные методы диагностики плазмы и их применение» (MTPDA2026) г. Москва, Россия, 24 – 26 ноября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ им. К.А. Валиева.

 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара 18 августа 2026 г.

  1. Статья «Применение потоковой модели вычислений для задач обработки сетевых пакетов доверенных систем» авторы Бобков С.Г., Левченко Н.Н., Телец В.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Журнал: Безопасность информационных технологий» издательства Экспериментальное научно-производственное объединение Специализированные электронные системы.». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Бобков Сергей Геннадьевич, ОППМ.
  2. Статья «Оптимизация размеров мемристорного кроссбара архитектуры 2D1M на основе анализа погрешности векторно-матричного умножения» авторы Токарев А. А., Хорин И. А. для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства «МАИК-Наука». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Токарев Арсений Андреевич, МИРЭА.
  3. Статья «Cryogenic plasma technologies in silicon microelectronics: 3D integrated circuits or how to provide prolongation the Moore’s law» (Перевод: «Криогенные плазменные технологии в кремниевой микроэлектронике: трехмерные интегральные схемы или как продлить действие закона Мура») авторы Руденко К.В. Мяконьких А.В., Лукичев В.Ф. для опубликования в открытой печати в журнале «Russian Microelectronics» издательства «Pleiades Publishing, Ltd». Работа выполнена в рамках гранта РНФ № 24-69-00039. Докладчик: Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  4. Презентация доклада «Твердотельные тонкоплёночные литий-ионные аккумуляторы задачи электронного машиностроения» авторы Курбатов С.В., Рудый А.С., Соколов А.А. Представлена для устного доклада в формате круглого стола на Российском форуме «Микроэлектроника 2026», Сочи, Россия, 27 сентября – 3 октября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.4. Докладчик: Рудый Александр Степанович, ОФТИ им. К.А. Валиева, Ярославль.

 

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара 14 июля 2026 г.

  1. Статья «Автоматизация сборки и контроля качества исходного кода САПР СБИС с применением изолированных конвейеров» авторы Данилкин Д.А., Железников Д.А., Лапин А.В., Фарсобин Е.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника» издательства АО «НИИМЭ» (Научно-исследовательский институт молекулярной электроники). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Железников Даниил Александрович, ОППМ.
  2. Статья «Параллельная потоковая модель вычислений БУРАН, основанная на взаимодействии токенов» автора Климов А.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Программные системы: теория и приложения» издательства Институт программных систем им. А.К. Айламазяна РАН. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик: Климов Аркадий Валентинович, ОППМ.
  3. Тезисы «Исследование влияния технологий глубокого анизотропного травления кремния на качество планарной рентгеновской оптики» авторы Сороковиков М.Н., Зверев Д.А., Лятун И.И., Баранников А.А., Воеводина М.А., Юнкин В.А., Мяконьких А.В., Руденко К.В, Снигирёв А.А. для опубликования в открытой печати в трудах Конференции «Рентгеновская оптика – 2026» (XRAY-26) г. Черноголовка, Россия, 19 – 22 октября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  4. Тезисы «Деградация диэлектрической проницаемости ламинированных Al2O3 плёнок HfO2 внутри кремния при термообработках по данным импеданс-спектроскопии» Жилицкий В.Е., Попов В.П., Антонов В.А, Мяконьких А.В., Руденко К.В. для опубликования в открытой печати в трудах Конференции «V Международная конференция «Атомно-Слоевое Осаждение: Россия-2026», г. Новосибирск, Россия, 8-11 сентября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.
  5. Статья «Исследование адсорбции газов в пористых low-k диэлектриках in situ методом спектральной рефлектометрии с применением машинного обучения» авторы Гайдукасов Р. А., Мяконьких А. В. для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства «МАИК-Наука». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик: Гайдукасов Рафаэль Алексеевич, ОФТИ им. К.А. Валиева.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 23 июня 2026 г. в 15-00

  1. Статья «Thermally Stable HfO2-Based Ferroelectric Transistors for CMOS-Compatible Energy-Efficient Neuromorphic Integrated Circuits» (Перевод: «Термостабильные сегнетоэлектрические транзисторы на основе HfO2 для энергоэффективных нейроморфных интегральных схем, совместимых с КМОП-технологией») авторы Тихоненко Ф.В., Тарков М.С., Попов В.П., Мяконьких А.В., Руденко К.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Nanomaterials» издательства «MDPI» (Швейцария). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Руденко Константин Васильевич, ОФТИ, Москва.
  2. Статья «Подходы к инжинирингу дефектов в оксидных мемристорах» авторы Исаев А. Г., Рогожин А. Е. для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства «МАИК-Наука». Работа выполнена в рамках гранта РНФ №25-19-90201. Докладчик Исаев Александр Геннадьевич, ОФТИ, Москва.
  3. Статья «Модель пятен и семантическая модель системы нейронной сети» автор Симонов Н.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства «МАИК-Наука». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Докладчик Симонов Николай Анатольевич, ОФТИ, Москва.
  4. Статья «Метод компенсации накопленных инверсий после этапа трассировки на ПЛИС» авторы Чистяков А.Ю., Заплетина М.А. для опубликования в открытой печати в журнале «Вестник Рязанского государственного радиотехнического университета» издательства Рязанского государственного радиотехнического университета. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик Чистяков Александр Юрьевич, ОППМ.
  5. Статья «Разработка программного модуля конфигурирования и генерации библиотек сложно-функциональных блоков для САПР X-CAD» авторы Галлямов Р.И., Тиунов И.В., Гаврилов С.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника» издательства АО «НИИМЭ» (Научно-исследовательский институт молекулярной электроники). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик Тиунов Иван Викторович, ОППМ.
  6. Статья «Структурированный базовый матричный кристалл: классификация, архитектура и особенности проектирования» авторы Бондаренко С.Ю., Гаврилов С.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Информационные технологии» издательства «Новые технологии». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик Бондаренко Сергей Юрьевич, ОППМ.
  7. Статья «Алгоритм обратного распространения ошибки в парадигме потока данных» авторы Змеев Д.Н., Левченко Н.Н., Климов А.В. для опубликования в открытой печати в журнале «Программные системы: теория и приложения» издательства Института программных систем им. А.К. Айламазяна РАН. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ИППМ.1. Докладчик Змеев Дмитрий Николаевич, ОППМ.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники

Программа семинара 27 мая 2026 г. в 15-00

  1. Статья «Trion-mediated quantum operations on a double-dot charge qubit» автора Tsukanov А.V. (Перевод: “Квантовые операции на зарядовом кубите с трионным управлением”, Цуканов А. В.) для опубликования в открытой печати в журнале «Physical Review A» издательства «American Physical Society». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.2. Цуканов Александр Викторович, ОФТИ, Москва.
  2. Статья «Математическое моделирование погрешности векторно-матричного умножения в мемристорном кроссбаре с архитектурой 2D1M», авторы Токарев А. А., Хорин И. А., для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства МАИК НАУКА. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.  Токарев Арсений Андреевич, МИРЭА, Москва.
  3. Статья «Silicon-on-Sapphire Pseudo-FeFETs after Rapid Thermal Annealings», авторы Antonov V., Popov V., Miakonkikh A., Rudenko K. (перевод «Псевдо-FeFET-транзисторы на структурах кремний-на-сапфире после быстрых термических отжигов», авторы Антонов В., Попов В., Мяконьких А., Руденко К.), для опубликования в открытой печати в журнале «IEEE Xplore» издательства «IEEE Computer Society» в спецвыпуске по итогам конференции IEEE 27th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM), June 27 – July 1, 2026, Altai Republic, Russia (Международная конференция молодых специалистов в области электронных устройств и материалов (EDM), 27 июня – 1 июля 2026 г., Республика Алтай, Россия). Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  4. Тезисы доклада ” Однородность по пластине плазменных процессов в ИСП установке”, авторы Кузьменко В. О., Халилуллин Р. Р., Мяконьких А. В., для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах 8-й Школы молодых учёных «Микроэлектроника 2026», г Сочи, Россия, 21 – 29 сентября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Кузьменко Виталий Олегович, ОФТИ, Москва.
  5. Тезисы доклада ” Атомно-слоевой процесс травления оксида гафния селективно к кремнию” авторы Мельников А.Е., Кузьменко В. О., Мяконьких А. В., для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах 8-й Школы молодых учёных «Микроэлектроника 2026», г Сочи, Россия, 21 – 29 сентября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мельников Александр Евгеньевич, ОФТИ, Москва.
  6. Тезисы доклада “Оптимизация энергетического спектра ионов в низкоэнергетическом плазменном травлении для микроэлектронных применений” авторы Халилуллин Р. Р., Кузьменко В. О., Мяконьких А. В., для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах 8-й Школы молодых учёных «Микроэлектроника 2026», г Сочи, Россия, 21 – 29 сентября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Халилуллин Рамис Ринатович, ОФТИ, Москва.
  7. Тезисы доклада ” Влияние диэлектрического слоя SiO2 на точность формирования структуры кроссбара мемристоров при электронно-лучевой литографии” авторы Фетисенкова К. А., Татаринцев А. А., Рогожин А. Е., Иешкин А.Е., Буруто М.Д., для опубликования в открытой печати в виде тезисов в трудах 8-й Школы молодых учёных «Микроэлектроника 2026», г Сочи, Россия, 21 – 29 сентября 2026 г. Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Фетисенкова Ксения Алексеевна, ОФТИ, Москва.
  8. Статья «Перспективные материалы и структуры полевых транзисторов», авторы Резнюков А. Ю., Рогожин А.Е., для опубликования в открытой печати в журнале «Микроэлектроника» издательства «МАИК НАУКА». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1.   Резнюков Алексей Юрьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники, Семинары

Программа семинара 12 мая 2026 г. в 15-00

  1. Статья ” Формирование одноэлектронных структур окислением легированного бором кремния” авторы С. А. Панкратов, Д. Д. Кусакина, В. В. Шорохов, А. В. Мяконьких, А. Е. Рогожин, В. А. Крупенин, Д. Е. Преснов для опубликования в журнале «Вестник Московского Университета. Серия 3. Физика. Астрономия» издательства «Издательство Московского университета». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  2. Статья «Mechanisms determining uniformity across the wafer in low-energy plasma etching for microelectronic applications: ion energy distribution function and edge effects» авторы R. R. Khalilullin, V. O. Kuzmenko, A.V. Miakonkikh (перевод «Механизмы, определяющие однородность пластине при низкоэнергетическом плазменном травлении для микроэлектронных применений: функция распределения энергии ионов и краевые эффекты» Авторы: Р. Р. Халилуллин, В. О. Кузьменко, А. В. Мяконьких) для опубликования в журнале «Physics of Plasmas» издательства «AIP Publishing». Работа выполнена в рамках Государственного задания НИЦ “Курчатовский институт”, тема 3Ф-ФТИАН.1. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.
  3. Статья «Low-temperature etching of porous organosilicate dielectric in dibromotetrafluoroethane plasma» авторов A.A. Rezvanov, A.V. Miakonkikh, A.S. Vishnevskiy, V.O. Kuzmenko, R.A. Gaidukasov, A.A. Reznik, K.V. Rudenko, K.A. Vorotilov, M.R. Baklanov (перевод «Низкотемпературное травление пористого органосиликатного диэлектрика в плазме дибромтетрафторэтана» авторы А.А. Резванов, А.В. Мяконьких, А.С. Вишневский, В.О. Кузьменко, Р.А. Гайдукасов, А.А. Резник, К.В. Руденко, К.А. Воротилов, М.Р. Бакланов) для опубликования в журнале «Plasma chemistry and plasma processing» издательства «Springer Nature». Работа выполнена в рамках гранта РНФ №23-79-30016. Мяконьких Андрей Валерьевич, ОФТИ, Москва.

On:
In: Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Во вторник 02 июня в 15-00 состоится очно-заочный семинар. Очная часть пройдет в к. 602. 
 
Докладчик: Гусев Михаил Рубенович (НИЦ “Курчатовский институт” – НИИСИ)
 
“Исследование и разработка программных методов создания компактных моделей элементов СБИС с учетом статистических отклонений технологического процесса”
 
по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств.