Latest developments of our institute (Page 2)

Программа для ЭВМ RU 2019611985

Программа моделирования воздействия электронного пучка на полимеры при различных температурах с учетом процессов деполимеризации

Авторы: Сидоров Ф.А., Рогожин А.Е.

Приоритет от 12.12.2018

Патент на изобретение RU 2796239 C9

«Способ анизотропного плазменного травления кремниевых микроструктур в циклическом процессе нитридизация-травление»

Аверкин С.Н., Кузьменко В.О., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Семин Ю.Ф.

Приоритет от 17 ноября 2022 г.

Зарегистрировано в Госреестре РФ 18.05.2023