Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур

15:00   А. А. Дедкова (МИЭТ)
Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур (по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук)