21 января (вторник) 2025 года в 15-00 состоится семинар.
В программе рассмотрение следующих материалов:
-
Возможности оптимизации плазменных процессов травления в микроэлектронике, Мяконьких А.В., тезисы для конференции CSCPIER-2025 с 7 по 11 апреля 2025, Москва, ИОФАН, приглашенный доклад, докладчик Мяконьких А.В., ФТИАН
-
Model of terrace relief formation on the silicon surface sputtered by a focused Ga+ beam, V.I. Bachurin, A.N. Kulikov, A.S. Rudy, M.A. Smirnova, статья для журнала Vacuum, Докладчик Смирнова М.А., ЯФ ФТИАН
-
Spectroscopy and actinometry of halogen-containing inductively coupled plasma for anisotropic etching, Kuzmenko V.O. статья в журнал Russian Microelectronics, Докладчик Кузьменко В.О., ФТИАН
-
Негативный электронный резист СВНР-541, А.А. Татаринцев, В.А. Киселевский, К.А. Фетисенкова, О.Г. Глаз, Е.Н. Жихарев, А.Е. Рогожин, А.В. Барышева, А.В.Воротынцев, С.С. Суворов, А.Н. Петухов, статья в журнал Микроэлектроника, Докладчик Рогожин А.Е., ФТИАН