Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления
15:00
Ф. А. Сидоров (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления
(Семинар состоится в режиме ОНЛАЙН. Для записи обращайтесь к Андрею Мяконьких miakonkikh@ftian.ru)
