4 сентября (среда) 2024 в 14-00
Диагностика низкотемпературной плазмы фторсодержащих газов для оптимизации процессов прецизионного плазмохимического травления диэлектриков
Докладчик: Кузьменко Виталий Олегович (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
(по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)