Публикации лаборатории МССП за 2005 г.
- А. Г. Васильев, А. Е. Рогожин, И. А. Хорин. «Формирование тонких пленок материалов с высокой диэлектрической проницаемостью и их свойства»// Тезисы 54-ой научно-технической конференции МИРЭА, 16-25 мая 2005 г.
- А. Г. Васильев, А. Е. Рогожин, И. А. Хорин. «Моделирование вертикального транзистора с управляемой глубиной канала»// Тезисы 54-ой научно-технической конференции МИРЭА, 16-25 мая 2005 г.
- I. A. Horin, A. A. Orlikovsky, A. E. Rogozhin, A. G. Vasiliev. Simulation of the Vertical MOSFET with Electrically Variable Source-Drain Junctions// The International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2005” (ICMNE-2005), Zvenigorod, Moscow, P1-48.
- I. A. Horin, A. D. Krivospitsky, A. A. Orlikovsky, A. E. Rogozhin, A. G. Vasiliev. Silicide/high-k dielectric structures for nanotransistor gates// The International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2005” (ICMNE-2005), Zvenigorod, Moscow, P2-02.
- К. А. Валиев, А. Г. Васильев, А. А. Орликовский, И. А. Хорин. Современные системы металлизации и их эволюция для нанотранзисторной электроники// Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование. Ред. А.А. Орликовский. М.: Наука. 2005 (Тр. ФТИАН: Т. 18). С. 357-378.
- А. Д. Кривоспицкий, А. А. Окшин, А. А. Орликовский, Ю. Ф. Семин, Ю. В. Чебакова. Разработка технологических маршрутов создания нанотранзисторов с длиной затвора 100 нм. – Труды ФТИАН, 2005, том 18, с. 345-356
- P. B. Mozhaev, I. M. Kotelyanskii, V. A. Luzanov, J. E. Mozhaeva, T. Donchev, E. Mateev, T. Nurgaliev, I. K. Bdikin, B. Zh. Narymbetov. Morphology, structure, and electrical properties of YBa2Cu3Ox thin films on tilted NdGaO3 substrates, deposited by DC-sputtering, Physica C, v. 419, iss. 1-2, pp. 53-60 (2005).
- T. Nurgaliev, T. Donchev, E. Mateev, S. Miteva, P. B. Mozhaev, J. E. Mozhaeva. Properties of HTS YBCO thin films deposited on tilted NdGaO3 substrates, Physica C: Superconductivity and its Applications, v. 420, iss. 1-2, pp. 61-67 (2005).
- P. B. Mozhaev, J. E. Mozhaeva, I. K. Bdikin, I. M. Kotelyanskii, V. A. Luzanov, J. B. Hansen, C. S. Jacobsen, A. L. Kholkin. “Bi-epitaxial thin films of high-temperature superconductor YBa2Cu3Ox for quantum bit fabrication”, in Trudy FTIAN (Proc.Inst.Phys.Technol.), Vol. 18: Quantum computers, miсro- and nanoelectronics: physics, technology, diagnostics and modeling/ Ed. A.A. Orlikovsky. – Moscow, NAUKA 2005, pp. 78-90.
- T. Nurgaliev, B. Blagoev, J. E. Mozhaeva, P. B. Mozhaev, S. Miteva, E. Mateev, T. Donchev, V. Strbik, S. Benacka. “Electrical characteristics of HTS YBCO films in superconductor-ferromagnetic structures deposited on LaAlO3 and NdGaO3 substrates”, (Presented at 5-th Workshop on Nanoscience&Nanotechnology, Sofia, Bulgaria), Nanoscience & nanotechnology, v. 5, eds. E. Balabanova, I. Dragieva, Heron Press, Sofia, pp. 91-93 (2005).
- I. K. Bdikin, P. B. Mozhaev, Yu. E. Mozhaeva, G. A. Ovsyannikov, P. V. Komissinski, I. M. Kotelyanskii, A. L. Kholkin. Twinning and Domain structure of Epitaxial YBa2Cu3Ox Films studies by X-ray Diffraction Methods, Journal of Crystal Growth 275, N1-2, 2475-2480, 2005.
- S. Zhgoon, A. Barinov. O. Shteynberg, P. Mozhaev. Small RF Filters Made with Thin-Film High Temperature Superconductors, Proceedings of EFTF 2005, Besancon, March 2005. – In print.
- P. B. Mozhaev, J. E. Mozhaeva, C. S. Jacobsen, J. Bindslev Hansen, I. K. Bdikin, V. A. Luzanov, I. M. Kotelyanskii, S. G. Zybtsev. Bi-epitaxial YBa2Cu3Ox Thin Films on Tilted-axes NdGaO3 Substrates with CeO2 Seeding Layer, Proceedings of EUCAS’05, to be published in IOP Conf Series.
- P. B. Mozhaev, J. E. Mozhaeva, I. K. Bdikin, I. M. Kotelyanskii, V. A. Luzanov, S. G. Zybtsev, J. Bindslev Hansen, C. S. Jacobsen. Out-of-plane tilted Josephson junctions of bi-epitaxial YBa2Cu3Ox thin films on tilted-axes NdGaO3 substrates with CeO2 seeding layer, Proceedings of WWS’05, to be published in Physica C.
- V. V. V’yurkov, S. D. Ananiev, and V. F. Lukichev. Strong Influence of Surface Scattering on the Electron Transport through Magnetic Multilayers. Russian Microelectronics, 2005, V. 34, N 6, to be published.
- S. Ananiev, V. Vyurkov, V. Lukichev. Surface scattering in SOI field-effect transistor. Proc. SPIE, to be published.
- А. А. Сидоров, В. В. Вьюрков, А. А. Орликовский. Моделирование кремниевых полевых нанотранзисторов с учетом квантовых эффектов. Труды ФТИАН, т. 19, с. 327-344, Из-во Наука, 2005.
- С. Д. Ананьев, В. В. Вьюрков, В. Ф. Лукичев. Влияние шероховатости поверхности на проводимость слоистых магнитных структур. Труды ФТИАН, т. 18, с. 398-403, Из-во Наука, 2005.
- В. В. Вьюрков, А. А. Ветров, А. А. Орликовский. Методы измерения состояния одиночного спина. Труды ФТИАН, т. 19, с. 49-59, Из-во Наука, 2005.
- V. Vyurkov, L. Gorelik, and A. Orlikovsky. Measurement of a spin qubit array with a quantum wire. Int. Symposium “Quantum Informatics’2005”, Moscow, 3d-7th Oct., 2005, Book of Abstracts, P. O27.
- V. Vyurkov, I. Semenikhin, L. Fedichkin, and A. Khomyakov. Effect of image forces on a charge qubit operation. Int. Symposium “Quantum Informatics’2005”, Moscow, 3d-7th Oct., 2005, Book of Abstracts, P. O28.
- S. Ananiev, V. Vyurkov, V. Lukichev. Surface scattering in SOI field-effect transistor. Int. Conf. Micro- and Nanoelectronics- IСMNE’2005, Zvenigorod, Russia, Oct. 2005, Abstracts, P. P1-08.
- V. Vyurkov, A. Sidorov, and A. Orlikovsky. Quantum simulation of a silicon field-effect transistor. Int. Conf. Micro- and Nanoelectronics- IСMNE’2005, Zvenigorod, Russia, Oct. 2005, Abstracts, P. О1-06.
- V. Vyurkov and L. Gorelik. Localization of an electron and spin blockade in quantum constriction in a two-dimensional electron gas. VII Russian Conf. on Physics of Semiconductors. Sept. 2005, Zvenigorod, Russia, Book of Abstracts.
- V. V. Vyurkov. Absolute negative conductivity of a classical two-dimensional electron gas subjected to magnetic and microwave field. VII Russian Conf. on Physics of Semiconductors. Sept. 2005, Zvenigorod, Russia, Book of Abstracts.
- A. Miakonkikh, K. Rudenko. Measurement of polymerizing fluorocarbon plasma parameters: Dynamic Langmuir Probe technique application. Proc. SPIE, 2005. Int. Conference “Micro- and nanoelectronics 2005” (in press.)
- К. Rudenko, S. Averkin, V. Lukichev, A. Orlikovsky, A. Pustovit, A. Vyatkin. Ultra Shallow p+-n Junctions in Si Produced by Plasma Immersion Ion Implantation. Proc. SPIE, 2005. Int. Conference “Micro- and nanoelectronics 2005” (in press.)
- А. А. Орликовский, К. В. Руденко, С. Н. Аверкин. Прецизионные плазмохимические процессы микроэлектроники на базе серии пилотных установок с масштабируемым ICP-источником плазмы. Химия высоких энергий, т.40, №2, с. 1-13 (2006) (в печати).
- С. Н.Аверкин, К. А. Валиев, А. В. Мяконьких, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, А. А. Рылов, Я. Н. Суханов, И. А. Тюрин, А. В. Фадеев, А. Е. Юрков. Разработка низкотемпературных плазмохимических процессов и серии плазменных установок для микро- и нанотехнологий. Труды ФТИАН, т. 18, с. 121-137, Из-во Наука, 2005.
- К. В. Руденко, А. В. Фадеев, А. А. Орликовский. Малоракурсная 2d-томография пространственных неоднородностей плазмы в технологических реакторах микроэлектроники. Труды ФТИАН, т. 18, с. 208-218, Из-во Наука, 2005.
- С. Н. Аверкин, А. П. Ершов, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов. Зондовая диагностика боросодержащей плазмы ВЧ- и СВЧ-источников для процессов плазменно иммерсионной ионной имплантации. Труды ФТИАН, т. 18, с. 189-207, Из-во Наука, 2005.
- К. А. Валиев, В. Ф. Лукичев, А. А. Орликовский. Кремниевая наноэлектроника: проблемы и перспективы. Нанотехнологии и материалы, 2005, №1, с.17-29.
- Y. N. Sukhanov, A. P. Ershov, K. V. Rudenko, A. A. Orlikovsky. On the parameters of inductively coupled and microwave BF3 plasmas used for plasma immersion ion implantation, Plasma Process. Polym., 2, 472-479, 2005