Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники
15:00 Н. А. Орликовский (ФТИАН) Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники (По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)Подробнее