2022

Список публикаций сотрудников ФТИАН им. К.А. Валиева РАН за 2022 год

Статьи:

  1. Amirov, I.I. On the Effect of the Cl2 + O2 + Ar Mixture Composition on the Concentrations of Chlorine and Oxygen Atoms in a Plasma / Amirov, I.I., Izyumov M.O., Efremov A.M. // Russian Microelectronics Microelectron 2022 – V.51 – p.497–504 DOI: 10.1134/S1063739722700135
    Амиров И.И., Изюмов М.О., Ефремов А.М. О влиянии состава смеси Cl2 + O2 + Ar на концентрацию атомов хлора и кислорода в плазме // Микроэлектроника – 2022 -Т.51(6) – с. 497-504. DOI: 10.31857/S054412692270017X
  2. Antonov, V.A. Transfer of Thin Silicon Films from SiO2 and HfO2 to C-Sapphire: Effect of Substrate Thickness on Ferroelectric Propertiesof Hafnium Dioxide / Antonov V.A., Popov V.P., Tarkov S.M., Myakon’kikh A.V., Lomov A.A., Rudenko K.V. // Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing – 2022 – V.58(6) – pp. 556–563. DOI: 10.3103/S8756699022060012
  3. Asadov, M.M. Ab initio calculation of the band structure and properties of modifications of the Ti3Sb compound doped with lithium / Asadov M.M., Mammadova S.O., Huseinova S.S., Mustafaeva S.N., Lukichev V.F. // Physics of the Solid State – 2022 – V.64(11) – p. 1594-1609. DOI: 10.21883/PSS.2022.11.54179.395
  4. Asadov, M.M. Ab initio calculations of electronic properties and charge transfer in Zn1−xCuxO with wurtzite structure / Asadov M.M., Mustafaeva S.N., Huseinova S.S., Lukichev V.F. // Physics of the Solid State – 2022 – Vl64(5) – p.522-533. DOI: 10.21883/PSS.2022.05.54011.270
  5. Asadov, M.M. DFT Electronic Structure Simulation and Adsorption of Germanium in Ordered Graphene with a Vacancy / M.M.Asadov, S.N.Mustafaeva, S.S.Guseinova, V.F.Lukichev // Russian Microelectronics, 2022, Vol. 51, No. 2, pp. 83–96. DOI :10.1134/S1063739722010024
  6. Asadov, M.M. Modeling structural and energy characteristics of atoms in a GaS 2D-crystal with point defects / Asadov M.M., Mustafayeva S.N., Guseinova S.S., Lukichev V.F., Tagiev D.B. // Physics of the Solid State – 2022 – V.64(1) – p. 44-57. DOI: 10.21883/PSS.2022.01.52487.182
    Асадов, M.M.Моделирование структурных и энергетических характеристик атомов в суперъячейках GaS с точечными дефектами / Асадов M.M., Мустафаева С.Н., Гусейнова С.C., Лукичев В.Ф., Тагиев Д.Б. // Физика твердого тела. 2022. Т. 64. No 1. С. 46–59. DOI: 10.21883/FTT.2022.01.51830.182
  7. Asadov, S.M. Dependence of the X-ray Sensitivity of AgGaS2 Single Crystals on Faces (001) and (100) on Dose and Hardness of Radiation / S.M.Asadov, S.N.Mustafaevab, D.T.Guseinovb, K.I.Kelbalieva, V.F.Lukichev // Russian Microelectronics, 2022, Vol. 51, No. 3, pp. 117–125. DOI : 10.1134/S1063739722030027
    Russian Text © The Author(s), 2022, published in Mikroelektronika, 2022, Vol. 51, No. 3, pp. 163–171
  8. Asadov, S.M. Modeling of colloidal crystallization of cadmium selenide / Asadov S.M., Kel’baliev K.I., Anisimov M.A., Lukichev V.F. // Colloid Journal – 2022 – V.84(1) – p.1-12. DOI: 10.1134/S1061933X22010021
    Асадов, С.М. Моделирование Коллоидной Кристаллизации Селенида Кадмия / Асадов С.М., Анисимов М.А., Кельбалиев К.И., Лукичев В.Ф. // Коллоидный журнал. 2022. №1. DOI: 10.31857/S0023291222010025
  9. Babushkin, A.S. Molecular Dynamics Study on Mechanical Stress Formation during Polycrystalline Cr-Film Growth / Babushkin, A.S., Kupriyanov A.N. // J. Surf. Investig. v.16, 960–968 (2022). DOI: 10.1134/S1027451022060052
    Бабушкин А.С., Куприянов А.Н. Исследование формирования механических напряжений в ходе роста поликристаллической пленки Cr методом молекулярной динамики // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования – 2022 – № 11 – с.39–48. DOI: 10.31857/S102809602211005X.
  10. Bantysh, B.I. Quantum tomography for quantum systems optimization / Bantysh B.I., Bogdanov Yu.I. // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V.121571 – p.500-507. DOI: 10.1117/12.2624610
  11. Bantysh, B.I. Tomography of Optical Single-Qubit Quantum Memory / Bantysh B.I., Katamadze K.G., Bogdanov Y.I., Gerasimov K.I., Minnegaliev M.M., Urmancheev R.V., Moiseev  S.A. // Jetp Lett. – 2022 – V.116 – p.29–35. DOI: 10.1134/S0021364022600951
  12. Belov, Y.D. Formation of Pb-Sn janus particles on the surface of lead-tin telluride films during ion-plasma sputtering | Belov Y.D., Zimin S.P., Amirov I.I., Naumov V.V., Rappl P.H.O., Abramof E. // St. Petersburg State Polytechnical University Journal. Physics and Mathematics. – 2022 – V.15(3.3) – p.13-17. DOI: 10.18721/JPM.153.302
  13. Belov, Y.D. Influence of ion-plasma treatment on the surface morphology of epitaxial lead-tin telluride films / Belov, Y.D., Zimin S.P., Amirov I.I., Naumov V.V. // Journal of Physics: Conference Series. 2270 (2022) 012040., DOI:10.1088/1742-6596/2270/1/012040.
  14. Belozerov, I.A. Performance optimization of the cantilever-based MEMS switch / Belozerov, I.A., Uvarov I.V. // St.Petersburg Polytechnic University Journal. Physics and Mathematics. – 2022. – Vol. 15. – No. 3.2. – P. 140-144. DOI: 10.18721/JPM.153.226
  15. Bogdanov, Y.I. Lorentz transformation and its generalization in problems of precisely controlling the states of multilevel quantum systems / Bogdanov Y.I., Bogdanova N.A., Kuznetsov Y.A., Lukichev V.F. // Russian microelectronics – 2022 – V.51(2) – p.43-53. DOI: 10.1134/S1063739722020044
  16. Bogdanov, Y.I. Study of the Coherence and Entanglement of Macroscopic Quantum Interfering Alternatives / Bogdanov Y.I., Bogdanova N.A., Fastovets D.V., Lukichev V.F. // Jetp Lett. – 2022 – V.115 – p.484–490. DOI: 10.1134/S0021364022100459
  17. Bogdanov, Yu.I. Comparative analysis of various protocols for high-precision tomography of qudits / Bogdanov Yu.I., Bantysh B.I., Bogdanova N.A., Koksharov K.B., Lukichev V.F. // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p.658-665. DOI: 10.1117/12.2624253
  18. Bogdanov, Yu.I. High fidelity tracking of the evolution of multilevel quantum states / Bogdanov Yu.I., Bogdanova N.A., Kuznetsov Yu.A., Lukichev V.F. // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p.623-631. DOI: 10.1117/12.2624232
  19. Bogdanov, Yu.I. High-fidelity tomography of fluorescent ion qubits under conditions of limited discrimination between bright and dark levels / Bogdanov Yu.I., Bantysh B.I., Bogdanova N.A., Dmitriev I.A., Lukichev V.F. // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V.121571 – p.650-657. DOI: 10.1117/12.2624251
  20. Bogdanov, Yu.I. Measurement of polarization quantum states under chromatic aberration conditions / Bogdanov, Yu.I., B.I.Bantysh, N.A.Bogdanova, M. I.Shakirov, V.F.Lukichev // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p.642-649. DOI: 10.1117/12.2624247
  21. Bogdanov, Yu.I. Quantum measurements and high-precision control of quantum states // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p. 508-516. DOI: 10.1117/12.2624317
  22. Bogdanov, Yu.I.. Study of the effect of quantum noise on the accuracy of the Schrödinger equation simulation on a quantum computer using the Zalka-Wiesner method / Bogdanov Yu.I., Bogdanova N.A., Fastovets D.V., Lukichev V.F. // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p.604-612. DOI: 10.1117/12.2624305
  23. Borzdov, A.V. Monte Carlo simulation of picosecond laser irradiation photoresponse of deep submicron SOI MOSFET / A.V.Borzdov, V.M.Borzdov, V.V.Vyurkov // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022. V.12157 – p.255-260. DOI: 10.1117/12.2624174
  24. Buchin, E.Y. Thin Ion-Synthesized Silicate Layers in Silicon-On-Insulator Technology / Buchin, E.Y., Denisenko Y.I. // J. Surf. Investig. – 2022 – V.16 – p.764–769. DOI: 10.1134/S1027451022050032
    Бучин Э.Ю., Денисенко Ю.И. Тонкие ионно-синтезированные слои в технологии кремний-на-изоляторе// Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования – 2022 – №9 – С. 106-112. DOI: 10.31857/S1028096022090035.
  25. Bulgakova, N.M. Selective ultrashort laser annealing of amorphous Ge/Si multilayer stacks. / Bulgakova, N.M., Volodin V.A., Cheng Yu., Levy Yo., Beránek J., Nagisetty S.S., Zukerstein M., Popov A.A., Bulgakov A.V. // EPJ Web of Conferences 266, 06012 EOSAM 2022, DOI:10.1051/epjconf/202226606012
  26. Burmistrov, I.A. Permeability of the composite magnetic microcapsules triggered by a non-heating low-frequency magnetic field / Burmistrov I.A., Mikheev A.V., Borodina T.N., Bukreeva T.V., Starchikov S.S., Lyubutin I.S., Artemov V.V., Khmelenin D.N., Trushina D.B., Veselov M.M., Klyachko N.L., Chuev M.A. // Pharmaceutics – 2022 – V.14(1) – 65. DOI: 10.3390/pharmaceutics14010065
  27. Chekushkin, A.M. Optimization of fabrication processes for Nb, NbN, NbTiN films and high-quality tunnel junctions for terahertz receiving circuits / Chekushkin A.M., Filippenko L.V., Lomov A.A., Liu Dong, Shi Sheng-Cai, Koshelets V.P. // Technical Physics – 2022 – V.92(13) – p. 2136-2140. DOI: 10.21883/TP.2022.13.52234.135-21
  28. Chuev, M.A. Magnetic properties and hyperfine interactions of iron-borate single crystals and nanoparticles // Proc. of SPIE, In International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021, edited by V.F. Lukichev, K.V. Rudenko. 2022, v. 12157, No. 121571C (10 pp.). doi: 10.1117/12.2621008
  29. Fadeev, A.V. Analysis of the Effects Influencing the Retention Time of Filament-Based Memristors / Fadeev A.V., Rudenko K.V. // Russian Microelectronics – 2022 – V.51(4) – p.264-272. DOI: 10.1134/S1063739722040059
  30. Fastovets, D.V. Study of decoherence of a superposition of macroscopic quantum states by means the consideration of a multimode state of a Schrödinger cat / Fastovets D.V., Bogdanov Yu.I., Bogdanova N.A., Lukichev V.F. // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p.613-622. DOI: 10.1117/12.2624303
  31. Fedorov, A.V. Features of Raman scattering in lead sulfide and lead sulfide-selenide epitaxial films / Fedorov A.V., Baranov A.V., Zimin S.P. // Optics and Spectroscopy – 2022 – V.130(7) – p.834-838. DOI: 10.21883/EOS.2022.07.54723.3193-22
    Федоров, А.В. Особенности комбинационного рассеяния света эпитаксиальными пленками сульфида и сульфида-селенида свинца / Федоров, А.В., Баранов А.В., Зимин С.П. // Оптика и спектроскопия. 2022. Т.130, вып. 7. С.1032-1036, DOI: 10.21883/OS.2022.07.52722.3193-22
  32. Filippov, S.N. Trace Decreasing Quantum Dynamical Maps: Divisibility and Entanglement Dynamics // In: Accardi, L., Mukhamedov, F., Al Rawashdeh, A. (eds) Infinite Dimensional Analysis, Quantum Probability and Applications. ICQPRT 2021. Springer Proceedings in Mathematics & Statistics – 2022 – V.390 – pp.121-133. DOI: 10.1007/978-3-031-06170-7_6
  33. Gaidukasov, R.A. Application of the Tikhonov Regularization Method in Problems of Ellipsometic Porometry of Low-K Dielectrics / Gaidukasov R.A., Myakon’kikh A.V., Rudenko K.V. // Russian Microelectronics – 2022 – V.51(4) – p.199-209. DOI: 10.1134/S1063739722040060
  34. Gorlachev, E.S. Study of inert gas pressure influence on electroforming and resistive switching of TiN-TiO2-SiO2-W memristors / Gorlachev, E.S., Mordvintsev V.M., Kudryavtsev S.E. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570C. DOI: 10.1117/12.2622587
  35. Grushevski, E.A. Formation of nanoscale anodized aluminum oxide matrices via the electrolyte-plasma processing of aluminum / Grushevski, E.A., Savinski N.G., Bachurin V.I., Mazaletsky L.A. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. – 2022 – V.86(5) – p.552-555. DOI: 10.3103/S1062873822050070
    Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Бачурин В.И., Мазалецкий Л.А. Формирование наноразмерных матриц из анодированного оксида алюминия методом электролитно-плазменной полировки алюминия. Известия РАН. Серия физическая – 2022 – Т.86(5) – с.662-665. DOI: 10.31857/S0367676522050076
  36. Katamadze, K.G. Generation and Application of Broadband Biphoton Fields (Brief Review) / Katamadze K.G., Pashchenko A.V., Romanova A.V., Kulik S.P. // Jetp Lett. – 2022 – V.115 p.581–595. DOI: 10.1134/S002136402260063X
  37. Komandin, G.A. Dielectric permittivity of organosilicate glass thin films on a sapphire substrate determined using time-domain THz and Fourier IR spectroscopy / G.A.Komandin, V.S.Nozdrin, N.V.Chernomyrdin, D.S.Seregin, A.S.Vishnevskiy, V.N.Kurlov, K.A.Vorotilov, A.V.Miakonkikh, A.A.Lomov, K.V.Rudenko , I.E.Spektor // J. Phys. D: Appl. Phys. 2022, V.55(2), p. 025303 DOI: 10.1088/1361-6463/ac2ad5
  38. Kryukov, A. Supervised graph classification for chiral quantum walks / Kryukov A., Abramov R., Fedichkin L.E., Alodjants A., Melnikov A.A. // Phys. Rev. A – 2022 – V.105 – 022208. DOI: 10.1103/PhysRevA.105.022208
  39. Kudrya V.P. Beam power absolute measurements using the calorimetric method. // Proceedings of SPIE, 2022 (January 31), Vol. 12157 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021”, 12157-1P, 10 pp. DOI: 10.1117/12.2624099
  40. Kudrya V.P. Mathematical Model of the Operation of Adiabatic Calorimetric Meters of Energy Flows of Particle Beams in the Dynamic Mode”. Russian Microelectronics, 2022, Vol. 51, No. 2, pp. 97-103. DOI: 10.1134/S1063739722010073
    Кудря В.П. Математическая модель работы адиабатических калориметрических измерителей потоков энергии пучков частиц в динамическом режиме. // Микроэлектроника, 2022, т. 51, № 2, с. 140 147. (https://doi.org/10.31857/S0544126922010070)
  41. Kudryavtsev, S.E. Effect of electrodes material on the I-V-curve and switching of memristors on the base of electroformed open metal-SiO2-metal sandwich structure / Kudryavtsev, S.E., Mordvintsev V.M., Naumov V.V., Gorlachev E.S. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570D. DOI: 10.1117/12.2622539
  42. Kulagin, A.V.Realization of Grover Search Algorithm on the Optical Cavities / A.V.Kulagin, Y.I.Ozhigov // Lobachevskii Journal of Mathematics, 2022, Vol. 43, No. 4, pp. p.864-872. DOI: 10.1134/S1995080222070162
  43. Kurkin, A. Some properties of maximal trace measure of quantum computer error rate / Kurkin, A., L.E. Fedichkin // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V. 12157 – p. 523-534. DOI: 10.1117/12.2624606
  44. Lomov, A.A. Aluminum Doped Thermomigrated Silicon Channels for High Voltage Solar Cells: Structure and Electrical Properties / A.A.Lomov, B.M.Seredin, S.Yu.Martyushov, Gavrus I.V. // Proc. SPIE 12157, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021, 1215703(1-10). (from 30 January 2022); doi: 10.1117/12.2622306
  45. Lomov, A.A. High resolution X-ray Bragg diffraction in Al-doped thermomigration channels in silicon / Lomov A.A., Punegov, V.I., Belov A.Yu. Seredin, B.M. // J. Appl. Cryst. (2022) Vol.55(3), 558-568. DOI: 10.1107/S1600576722004319
  46. Lyubutin, I.S. Magnetic and electric hyperfine parameters of antiferromagnet FеBO3 intended for monochromatization of synchrotron radiation / I.S. Lyubutin, N.I. Snegirev, M.A. Chuev, S.S. Starchikov, E.S. Smirnova, M.V. Lyubutina, S.V. Yagupov, M.B. Strugatsky, O.A. Alekseeva // Journal of Alloys and Compounds, 2022, v. 906, No. 164348 (14 pp.). DOI: 10.1016/j.jallcom.2022.164348
  47. Makhviladze, T.M. Effect of lattice defects on the electromigration-induced instability of the interface between joined conductive materials / T.M. Makhviladze, M.E. Sarychev // Russian Microelectronics, 2922. Vol.51. No 6. P.426-434. DOI: 10.1134/S1063739722700160
    Махвиладзе, Т.М. Влияние решеточных дефектов на электромиграционную неустойчивость границы соединенных проводящих материалов / Т.М. Махвиладзе, М.Е. Сарычев // Микроэлектроника. 2022, Т.51, № 6, С.443-451.DOI: 10.31857/S0544126922700065
  48. Makhviladze, T.M. Interface Instability of Integrated Circuit Layers under Electric Current and Mechanical Stress / T.M. Makhviladze, M.E. Sarychev // Physical Mesomechanics. 2022. Vol.25. No 3. P.214-220. DOI: 10.1134/S102995992203002X
  49. Miakonkikh, A. A comparison of CF4, CBrF3 and C2Br2F4 plasmas: Physical parameters and densities of atomic species / Miakonkikh A., Kuzmenko V., Efremov A., Rudenko K. // Vacuum – 2022 – V.200 – 110991. DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.110991
  50. Miakonkikh, A.V. Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices / A.V.Miakonkikh, A.V.Shishlyannikov, Tatarintsev, A.A., V.O.Kuzmenko, K.V.Rudenko, E.S.Gornev // Proc. of SPIE, The International Society for Optical Engineering – 2022 – V.12157 – p.322-329. DOI: 10.1117/12.2626386
  51. Miakonkikh, A.V. Peculiarities of the Kinetics of Heterogeneous Processes during the Etching of Silicon in CF4 and C2Br2F4 Plasma / Miakonkikh A.V., Kuzmenko V.O., Efremov A.M., Rudenko K.V. // Russian Microelectronics – 2022 – V.51(6) – p. 505–511. DOI: 10.1134/S1063739722700032
  52. Mordvintsev, V.M. A Mechanism for the Formation of a Conducting Medium in Memristers Based on Electroformed Open Sandwich MDM Structures / Mordvintsev, V.M., Gorlachev E.S., Kudryavtsev S.E. // Russian Microelectronics – 2022 – V.51(4) – p. 255-263. DOI: 10.1134/S1063739722040096
    Мордвинцев В.М., Горлачев Е.С., Кудрявцев С.Е. О механизме образования проводящей среды в мемристорах на основе электроформованных открытых «сэндвич»-МДМ-структур // Микроэлектроника – 2022 – Т.51(4) – С.304–312. DOI: 10.31857/S0544126922040093.
  53. Mozhaev, P.B. Graphoepitaxial Y:ZrO2 films on vicinal (110) NdGaO3 substrates by pulsed laser deposition / Mozhaev, P.B., Khoryushin A.V., Hansen J.B., Jacobsen C.S. // Appl. Phys. A – 2022 – V.128 – 425. DOI: 10.1007/s00339-022-05567-0
  54. Mozhaev, P.B. Re-orientation of graphoepitaxial fluorite films towards small-index crystallographic planes / Mozhaev, P.B., Bdikin, I.K., Hansen, J.B., Jacobsen, C.S. // Proc. SPIE 12157, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021, 121571E (2022). DOI: 10.1117/12.2623743
  55. Mustafaeva, S.N. Ab initio calculations of electronic properties, frequency dispersion of dielectric coefficients and the edge of the optical absorption of TlInS2(Sn) single crystals / Mustafaeva S.N., Asadov M.M., Huseynova S.S., Hasanov N.Z., Lukichev V.F. // Physics of the Solid State – 2022 – V.64(6) – p.617-627. DOI: 10.21883/PSS.2022.06.53823.299
  56. Mustafaeva, S.N. Electronic, dielectric properties and charge transfer in a TlGaS2 : Nd3+ single crystal at direct and alternating current / Mustafaeva S.N., Asadov M.M., Guseinova S.S., Dzhabarov A.I., Lukichev V.F. // Physics of the Solid State – 2022 – V.64(4) – p.426-433. DOI: 10.21883/PSS.2022.04.53497.251
    Мустафаева, С.Н. Электронные, диэлектрические свойства и перенос заряда в монокристалле TlGaS2 :Nd3+ на постоянном и переменном токе / С.Н. Мустафаева, М.М. Асадов, С.С. Гусейнова, А.И. Джабаров, В.Ф. Лукичев // Физика твердого тела, 2022, том 64, вып. 4. С.428-436. DOI: 10.21883/FTT.2022.04.52182.251
  57. Orlov, O.M. Influence of the kind of metal on memristor effect in MIS structures / Orlov, O.M., Popov A.A., Stepanov A.A., Sattarov P.S. Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570E. DOI: 10.1117/12.2624084
  58. Ovcharov, V.V. Induced bistable behavior in elements of the thermal reactor at silicon wafer heating in bistability mode / Ovcharov, V.V., Prigara V.P. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 1215715. DOI: 10.1117/12.2623814
  59. Ozhigov Y. Superimposition and Antagonism in Chain Synthesis Using Entangled Biphotonic Control / Ozhigov Y., Pluzhnikov I. // Computational Mathematics and Modeling – 2022 – V.33(1) – p. 24-31. DOI: 10.1007/s10598-022-09553-2
    Ожигов Ю.И. Наложение и антагонизм цепочек при синтезе с использованием запутанных бифотонов в управлении / Ожигов Ю.И., Плужников И.Р. // Прикладная математика и информатика: Труды факультета ВМиК МГУ имени Ломоносова – 2022 – Т.69 (2) – С. 26-35
  60. Ozhigov, Y. Three principles of quantum computations / Ozhigov, Y. // Quantum Information and Computation. 2022. V. 22, № 15-16, P. 1280-1288. DOI: 10.26421/QIC22.15-16-2
  61. Ozhigov, Yu.I. On the Dimension of the Space of Dark States in the Tavis–Cummings Model / Yu. I. Ozhigov // Mathematical Notes, 2022, Vol. 111, No. 3, pp. 433–440. DOI: 10.1134/S0001434622030117
    Ожигов, Ю.И.О размерности пространства темных состояний в модели / Ожигов Ю.И. // Математические заметки. 2022. Т.111, №3, С. 433-442 . DOI: 10.4213/mzm13464
  62. Permiakova, O. The effect of pulse amplitude on the linearity of the weight update in the HfO2-based memristors / Permiakova O., Rogozhin A., Miakonkikh A., Smirnova E., Rudenko K. // 8th International Conference on Information Technology and Nanotechnology (ITNT), Samara, Russian Federation – 2022 – pp.1-4. DOI: 10.1109/ITNT55410.2022.9848709
  63. Polyakov, S.N. Large-size X-ray optics quality CVD diamond / Polyakov S.N., Denisov V.N., Lomov A.A., Shulpina I.L., Martyushov S.Yu., Kornilov N.V., Blank V.D. // Physica Status Solidi-RRL – 2022 – V.16(11) – P.2200164(1-6). DOI: 10.1002/pssr.202200164
  64. Popov, V.P. Parallel nanowire sensors with a high-k gate oxide for the sensitive operation in liquids / Popov V.P., Tikhonenko F.V., Antonov V.A., Zarubanov A.A., Gluhov A.V., Tatarintsev A.A., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V. // Solid-State Electronics – 2022 – V.194 – 108326. DOI: 10.1016/j.sse.2022.108326
  65. Popov, V.P. Structure evolution and charge hysteresis in buried Hafnia-Alumina oxides / Popov V.P., Tikhonenko F.V., Antonov V.A., Tolmachev K.A., Lomov A.A., Miakonkikh A.V, Rudenko K.V. // Solid-State Electronics – 2022 – V.194 – 108348. DOI: 10.1016/j.sse.2022.10834848
  66. Popov, V.P., Ion Drift and Polarization in Thin SiO2 and HfO2 Layers Inserted in Silicon on Sapphire / Popov V.P., Antonov V.A., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V. // Nanomaterials – 2022 -V.12(19) – 3394. DOI: 10.3390/nano12193394
  67. Postnikov A.V. Interferometric technique with a reference scale // Applied Optics – 2022 – V.61(10) – pp. 2869-2873. DOI: 10.1364/AO.452544
  68. Prokaznikov, A.V Features of the Magneto-Optical Response of Nanostructures Formed under Ion-Beam Surface Treatment in Different Modes / Prokaznikov A.V., Paporkov V.A., Chirikov V.A. // J. Surf. Investig – 2022 – V.16 – p.1111–1120. DOI: 10.1134/S1027451022060477
    Проказников А.В., Папорков В.А., Чириков В.А. Особенности магнитооптического отклика наноструктур, сформированных в различных режимах ионной обработки поверхности. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2022. № 12. С. 27-37.
  69. Prokaznikov, A.V. Controlling the position of a magnetic vortex on a nanostructured surface in magnetic memory elements / Prokaznikov, A.V., Paporkov V.A., Chirikov V.A. // Russian Microelectronics – 2022 – V.51(1) – p. 1-15. DOI. 10.1134/S1063739722010085
    Проказников А.В., Папорков В.А., Чириков В.А. Управление положением магнитного вихря на наноструктурированной поверхности в элементах магнитной памяти. Микроэлектроника. 2022. Том 51. Номер 1. Стр. 3-18.
  70. Prokaznikov, A.V. Magneto-Optical Properties of Multilayer Structures Based on Cobalt and Chromium-Group Metals for Magnetic Memory Elements / Prokaznikov, A.V., Paporkov V.A., Selyukov R.V., Vasiliev S.V., Savenko O.V. // Russian Microelectronics – 2022 – V.51(6). – p.454–464. DOI: 10.1134/S1063739722700184
    Проказников А.В., Папорков В.А., Селюков Р.В., Васильев С.В., Савенко О.В. Магнитооптические свойства многослойных структур на основе кобальта и металлов группы хрома для разработки элементов магнитной памяти. Микроэлектроника. 2022. Том 51. Номер 6. Стр. 466-477.
  71. Prokaznikov, A.V. Specific of magneto-optical response of nanostructures with various shapes and sizes for magnetic memory elaboration / Prokaznikov, A.V., Paporkov V.A., Chirikov V.A. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570F. DOI: 10.1117/12.2621683
  72. Pukhov, D.E. Method for Correcting the Results of Energy-Dispersive Electron Probe Elemental Analysis of Powder Materials / Pukhov, D.E., Lapteva A.A. // J. Anal. Chem. – 2022 – V.77 – p.1162–1172. DOI: 10.1134/S1061934822090118
    Пухов, Д.Э., А.А. Лаптева, Способ корректировки результатов электронно-зондового энергодисперсионного элементного анализа порошковых материалов // Журнал аналитической химии. 2022. Т. 77. № 9. С. 837. DOI: 10.31857/S0044450222090110
  73. Rezvanov, A.A. Benzene bridged hybrid organosilicate films with improved stiffness and small pore size / A.A.Rezvanov, A.S.Vishnevskiy, D.S.Seregin, D.Schneider, A.A.Lomov), K.A.Vorotilov, M.R.Baklanov // Materials Chemistry and Physics 2022. V.290, 15 October 2022, 126571 (1-11). DOI: 10.1016/j.matchemphys.2022.126571
  74. Rezvanov, A.A. Methylated porous low-k materials: critical properties and plasma resistance / Rezvanov, A.A., A.V. Miakonkikh, A.S. Vishnevskiy, D.S. Seregin, K.A. Vorotilov, K.V. Rudenko, M.R. Baklanov // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V.12157 – p.315-321. DOI: 10.1117/12.2624608
  75. Rogozhin, A. Cobalt subtractive etch for advanced interconnects / Rogozhin, A., Miakonkikh A., Tatarintsev A., Amirov I., Rudenko K. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 1215718. DOI: 10.1117/12.2624333
  76. Romanova, A. Time-domain Hong-Ou-Mandel interference of quasi-thermal fields and its application in linear optical circuit characterization / Romanova A., Katamadze K., Avosopiants G., Biguaa L., Skryabin N., Kalinkin A., Dyakonov I., Bogdanov Yu., Kulik S. // Optics Letters – 2022 – V.47(18) – p.4708-4711. DOI: 10.1364/OL.464120
  77. Rudenko, M. On temperature and flux dependence of isotropic silicon etching in inductively coupled SF6 plasma / M.Rudenko, V.Kuzmenko, A.Miakonkikh, V.Lukichev // Vacuum. V.204, Oct.2022, 111326. DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111326.
  78. Rudenko, M.K. Numerical study of aperture shape effects in deep cryogenic etching of silicon / M.K.Rudenko, A.V.Miakonkikh, V.F.Lukichev // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical Engineering – 2022 – V.12157 – p.284-291. DOI: 10.1117/12.2622908
  79. Rudy, A.S. Schottky barrier in Si−M structures of solid−state lithium−ion batteries / Rudy A.S., Mironenko A.A., Naumov V.V., Churilov A.B.// Technical Physics Letters – 2022 – V.48(6) – p. 63-66. DOI: 10.21883/TPL.2022.06.53794.19188
    Рудый, А.С. Барьер Шоттки в структурах Si-M твердотельных литий-ионных аккумуляторов / Рудый, А.С., Мироненко А.А., Наумов В.В., Чурилов А.Б. // Письма в журнал технической физики, 2022, том 48, выпуск 12, с. 32. , DOI: 10.21883/PJTF.2022.12.52676.19188.
  80. Savelyev, D.N. Electrophoretic deposition and structural analysis of nanographite films / Savelyev, D.N., Grushevski E.A., Smirnova M.A. Mazaletsky L.A., Savinski N.G., Bachurin V.I., Churilov A.B. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. – 2022 – V.86(5) – p.556-561. DOI: 10.3103/S1062873822050215
    Савельев Д.Н., Грушевский Е.А., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Савинский Н.Г., Бачурин В.И., Чурилов А.Б. Электрофоретическое осаждение пленок нанографита и их исследование методами структурного анализа. Известия РАН. Серия физическая. Том 86, Номер 5, 2022, с. 666-672.
  81. Selyukov, R.V. Effect of Ion-Plasma Treatment on the Phase Composition and Electrical Resistivity of Nanometer-Thick Tungsten Films / Selyukov, R.V., Amirov I.I., Naumov V.V. // Russian Microelectronics Microelectron – 2022 – V.51 – p.488–496. DOI: 10.1134/S1063739722700081
    Селюков Р.В., Амиров И.И., Наумов В.В. Влияние ионно-плазменной обработки на фазовый состав и электросопротивление пленок вольфрама нанометровой толщины. Микроэлектроника. 2022. Том 51. Номер 6. Стр. 488-496
  82. Selyukov, R.V. Formation of (100) texture in thin Ti films under low-energy ion bombardment / Selyukov R.V., Izyumov M.O., Naumov V.V., Mazaletskiy L. A. // Technical Physics Letters – 2022 – V.48(15) – p.25-29. DOI: 10.21883/TPL.2022.15.53816.18890
  83. Shlepakov, P.S. FEM simulation of AlN-based MEMS energy harvester / Shlepakov, P.S., Uvarov I.V. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570N. DOI: 10.1117/12.2624607
  84. Shlepakov, P.S. Ruthenium as an electrode material for the fast electrochemical actuator / Shlepakov P.S., Uvarov I.V., Svetovoy V.B. // St. Petersburg Polytechnic University Journal. Physics and Mathematics. – 2022. – V.15(3.2) – P. 280-284. DOI: 10.18721/JPM.153.251
  85. Simonov N.A. Application of the Model of Spots for Inverse Problems // Sensors, 2022, 23p., online, DOI: 10.20944/preprints202212.0423 — Version 1 : Received: 21 December 2022 / Approved: 22 December 2022 / Online: 22 December 2022 (07:14:16 CET) DOI: 10.3390/s23031247
  86. Smirnova, M.A. Features of the Formation of Ripple Structures on the Surface of Silicon under Irradiation with a Focused Gallium Ion Beam / Smirnova M.A., Bachurin V.I., Mazaletsky L.A., Pukhov D.E., Churilov A.B., Rudy A.S. // J. Surf. Investig. – 2021 – V.15(1) – p.S150–S156. DOI: 10.1134/S1027451022020380
    Смирнова, М.А. Особенности формирования волнообразного рельефа поверхности кремния при облучении фокусированным пучком ионов галлия / Смирнова, М.А., Бачурин В.И., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э., Чурилов А.Б., Рудый А.С. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2022. № 4. С. 44-51. DOI: 10.31857/S1028096022040161
  87. Smirnova, M.A. Study of the topography of silicon surface evolution under irradiation by a gallium ion beam / Smirnova M.A., Bachurin V.I., Lebedev M.E., Mazaletsky L.A., Pukhov D.E., Churilov A.B., Rudy A.S. // Vacuum – 2022 – V.203 – P.111238 (1-6). DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111238
  88. Tarasov, M.A. Superconducting thin films and tunnel junctions based on aluminum / Tarasov M.A., Chekushkin A.M., Fominsky M.Yu., Zaharov D.M., Lomov A.A., Devitsky O.V., Gunbina A.A., Sohina E.T., Edelman V.S. // Physics of the Solid State – 2022 – V.64(10) – p. 1352-1355. DOI: 10.21883/PSS.2022.10.54217.35HH
    Тарасов, М.А. Сверхпроводящие пленки и туннельные переходы на основе алюминия / М.А.Тарасов, А.М.Чекушкин, М.Ю.Фоминский, Д.М.Захаров, А.А.Ломов, О.В.Девицкий, А.А.Гунбина, Е.Т.Сохина, В.C.Эдельман // Физика Твердого Тела 2022. Том 64. В.10. — С.1369-1372. DOI: 10.21883/FTT.2022.10.53075.35HH
  89. Trushin, O.S. Competing mechanisms of strain relaxation in Ge/Si(001) heteroepitaxy //Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121571D. DOI: 10.1117/12.2619657
  90. Trushin, O.S. Nanostructuring at oblique angle deposition of cobalt / Trushin, O.S., Popov A.A., Pestova A.N., Mazaletsky L.A., Akulov A.A., Lomov A.A. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. – 2022 – V.86(5) – p.542-545. DOI: 10.3103/S1062873822050288
    Трушин О.С., Попов А.А., Пестова А.Н., Мазалецкий Л.А., Акулов А.А., Ломов А.А. Наноструктурирование при наклонном напылении кобальта. Известия РАН. Серия физическая. Том 86, Номер 5, 2022, с. 650-654.
  91. Tsukanov A.V. Electron detection circuit based on a tunnel structure of four quantum dots with asymmetric parameters // Russian Microelectronics. 2022. V. 51. N. 6. PP. 368 – 377. DOI: 10.1134/S1063739722700172
    Цуканов, А.В.Схема детектирования электрона с помощью туннельной структуры из четырех квантовых точек с асимметрией параметров // Микроэлектроника. 2022. Т. 51. № 6. СС. 412 – 422. DOI: 10.31857/S0544126922700156
  92. Tsukanov, A.V. Control of photon transport in an optical structure of four microresonators using spectral engineering // Laser Phys. Lett. 2022. V. 19. P. 076202 (8pp). DOI: 10.1088/1612-202X/ac71b1
  93. Tsukanov, A.V. Interaction of an array of single-electron quantum dots with a microcavity field with allowance for Coulomb correlations / Tsukanov A.V. , Kateev I.Yu. // Quantum Electronics. 2022. V. 52. No. 5. P. 474 – 481. DOI: 10.1070/QEL18046
  94. Tsukanov, A.V. Optical measurement of a quantum dot state in a microdisk by a Stark transducer / Tsukanov A.V., Kateev I.Yu. // Laser Phys. Lett. – 2022 – V.19 – P.086201. DOI: 10.1088/1612-202X/ac72a6
  95. Tsukanov, A.V. Spectral response of a microresonator containing a double quantum dot modified by Coulomb interaction of localized electrons // Optics and Spectroscopy – 2022 – V.130(2) – P.282 – 289. DOI: 10.21883/EOS.2022.02.53225.2678-21
    Цуканов А.В. Спектральный отклик микрорезонатора с двумя квантовыми точками, обусловленный взаимодействием между локализованными электронами // Оптика и спектроскопия. 2022. Т. 130. № 2. С. 317 – 324. DOI: 10.21883/OS.2022.02.52002.2678-21
  96. Tyschenko, I. High-resistance thermally stable silicon layers produced by CO+ ion implantation / Tyschenko I., Tikhonenko F., Gutakovskii A., Vdovin V., Rudenko K., Popov V. // Materials Letters – 2022 – V.318 – p.132162. DOI: 10.1016/j.matlet.2022.132162
  97. Uvarov, I. V. Fabrication of a micropump based on the fast electrochemical actuator with the PDMS membrane / Uvarov I. V., Shlepakov P. S., Abramychev A.M., Svetovoy V.B. // St. Petersburg State Polytechnical University Journal. Physics and Mathematics – 2022 – V.15 (3.3) – p.376–380. DOI: 10.18721/JPM.153.374
  98. Uvarov, I.V. A fast membrane actuator in the current stabilization regime / Uvarov, I.V., Melenev A.E., Svetovoy V.B. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570J. DOI: 10.1117/12.2623816
  99. Uvarov, I.V. A seesaw-type MEMS switch with Pt and Ru contacts / Uvarov I.V., Naumov V.V., Kupriyanov A.N., Izyumov M.O., Amirov I.I. // St. Petersburg Polytechnic University Journal. Physics and Mathematics. – 2022. – Vol. 15. – No. 3.3. – P. 335-339. DOI: 10.18721/JPM.153.366
  100. Uvarov, I.V. Fast electrochemical actuator with Ti electrodes in the current stabilization regime / Uvarov, I.V., Melenev A.E., Svetovoy V.B. // Micromachines (Basel) – 2022 – V.13(2) – 283.DOI: 10.3390/mi13020283
  101. Uvarov, I.V. Nanoreactors in action for a durable microactuator using spontaneous combustion of gases in nanobubbles / Uvarov, I.V., Svetovoy V.B. // Scientific Reports. – 2022. – Vol. 12. – 20895. DOI: 10.1038/s41598-022-25267-2
  102. Uvarov, I.V. Reliability issues for electrostatically actuated MEMS switch / Uvarov, I.V., Izyumov M.O. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 121570I. DOI: 10.1117/12.2623060
  103. Volodin, V.A. Picosecond infrared laser crystallization of Ge layers in Ge/Si multi-nanolayers for optoelectronic applications / Volodin, V.A., Krivyakin G.K., Bulgakov A.V., Levy Y., Beránek J., Nagisetty S., Bryknar Z., Bulgakova N.M., Geydt P.V., Popov A.A. // Proceedings of SPIE, 2022, Vol. 12157 (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021), 1215702 DOI: 10.1117/12.2622731
  104. Zimin, S.P. Effect of Nanostructuring of the Surface of a Lead Sulfide Crystal in Plasma on the Optical Reflection Spectra / Zimin, S.P., Kolesnikov N.N., Tivanov M.S., Lyashenko L.S., Amirov I.I., Naumov V.V., Gorlachev E.S. // J. Surf. Investig. 16, 134–139 (2022). DOI: 10.1134/S1027451022010384
    Зимин С.П., Колесников Н.Н., Тиванов М.С., Ляшенко Л.С., Амиров И.И., Наумов В.В., Горлачев Е.С. Влияние наноструктурирования поверхности кристаллов сульфида свинца в плазме на спектры оптического отражения. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2022. № 2. С. 51-57.
  105. Zimin, S.P. Modification of the Surface of Lead-Tin Telluride Films by Low-Energy Argon Ions / Zimin, S.P., Amirov I.I., Naumov V.V., Belov Ya.D., Abramof E., Rappl P.H.O. // J. Surf. Investig. 16, 876–883 (2022). DOI: 10.1134/S1027451022050421
    Зимин С.П., Амиров И.И., Наумов В.В., Белов Я.Д., Abramof E., Rappl P.H.O. Модификация поверхности пленок теллурида свинца–олова ионами аргона с низкой энергией // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования – 2022 – № 10 – С.66-74. DOI: 10.31857/S102809602210020X
  106. Zimin, S.P. Variation of Surface Nanostructures on (100) PbS Single Crystals during Argon Plasma Treatment / Zimin, S.P., Kolesnikov N.N., Amirov I.I., Naumov V.V., Gorlachev E.S., Kim S., Kim N.-H. // Crystals, 2022, 12(1), 111. DOI: 10.3390/cryst12010111
  107. Аверкин, С.Н. Исследование возможности применения двухстадийного циклического плазменного процесса для анизотропного сквозного травления кремниевых пластин / Аверкин С.Н. В.Ф.Лукичев, Мяконьких А.В., Руденко К.В. – в кн.: Труды ФТИАН . Т.30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.51-63.
  108. Амиров, И.И. Структурный цвет. Получение цветного наноструктурированного слоя аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме / Амиров, И.И., А.Н. Куприянов, Изюмов М.О. // III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов (г. Казань, 1-4 декабря 2022 г.) / М-во высшего образования и науки Рос. Федерации, М-во образования и науки Респ. Татарстан, Казанский нац. исследовательский технический ун-т и др. — Казань : Бук, 2022 — 676 с. C.272-275. EDN: HDCUPK
  109. Амиров, И.И. Эффекты искажения профиля высокоаспектных субмикронных кремниевых структур при травлении в хлорсодержащей плазме / Амиров, И.И., Изюмов М.О., Лукичев В.Ф. – в кн.: Труды ФТИАН . Т. 30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.64-79.
  110. Кудря В.П. Динамический режим работы калориметра с калиброванным теплоотводом. – в кн.: Труды ФТИАН . Т.30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.102-110.
  111. Куприянов, А.Н. Моделирование методом молекулярной динамики низкоэнергетического распыления ионами аргона наноструктурированной поверхности кремния / Куприянов, А.Н., Амиров И.И. – в кн.: III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов (г. Казань, 1-4 декабря 2022 г.) / М-во высшего образования и науки Рос. Федерации, М-во образования и науки Респ. Татарстан, Казанский нац. исследовательский технический ун-т и др. — Казань : Бук, 2022 — 676 с. C.368-370 EDN: HDCUPK
  112. Курбатов, C.В. Разработка и оптимизация метода изготовления конических микроструктур в циклическом процессе травления кремния / Курбатов, C.В., Морозов О.В., Рудый А.С. – в кн.: Труды ФТИАН . Т.30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.80-101.
  113. Мяконьких, А.В. Новый подход к глубокому анизотропному травлению кремния: циклический процесс “окисление-травление” / Мяконьких А.В., Кузьменко В.О., Аверкин С.Н., Руденко К.В., Лукичев В.Ф. в кн.: Труды ФТИАН . Т.30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.19-33.
  114. Мяконьких, А.В. Экспериментальное исследование возможностей глубокого криогенного травления кремния для создания TSV структур / Мяконьких А.В., Руденко К.В., Лукичев В.Ф. – в кн.: Труды ФТИАН . Т.30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.3-18.
  115. Ожигов, Ю.И. Моделирование оптической проводимости сетей с полной бинарной кодировкой / Ожигов Ю.И., Викторова Н.Б. // Computational nanotechnology. 2022. N/22. № 3, с. СТР. 32-36-36. doi:10.33693/2313-223X-2022-9-3-32-36
  116. Руденко, К.В. Особенности учета процесса десорбции при компьютерном моделировании криогенного травления кремния / Руденко К.В., Мяконьких А.В., Лукичев В.Ф. – в кн.: Труды ФТИАН . Т.30: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / отв.ред. Ф. Лукичёв. – Москва : Наука, 2022. ISBN 978-5-02-040925-5; 550 экз. – С.51-63.
  117. Симонов, Н. А. Применение модели пятен к решению обратных задач и искусственному интеллекту // Сб.науч.трудов XI Международной научно-практической конференции. 16-19 мая 2022, Коломна, В 2-х томах.Интегрированные модели и мягкие вычисления в искусственном интеллекте ИММВ-2022, 2022, т. 1, с. 117–126. ISBN 978-5-604-2802-5-6

Конференции:

  1. Chuev, M.A. Non-trivial shapes of Mössbauer spectra of magnetic nanoparticles with different types of magnetic anisotropy // XV Межд. конф. «Мёссбауэровская спектроскопия и её применения», Екатеринбург. 2022. Тез. Докл.. С. 44-45.
  2. Filippov, S.N. Markovian embedding semigroup for non-Markovian quantum collision models with correlated environment // Конф. «One-Parameter Semigroups of Operators (OPSO) 2022» – Feb 14-18, 2022 – Nizhny Novgorod, Russia (online). Сайт: https://nnov.hse.ru/bipm/dsa/opso2022/talks2022
  3. Permyakova, O.O. Analysis of STDP characteristics of HfO2-based memristor / Permyakova, O.O., A E Rogozhin, A V Miakonkikh, E A Smirnova, K V Rudenko // 9th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures Saint-Petersburg, Russia May, 24-27, 2022 (стендовый) https://spb.hse.ru/mirror/pubs/share/632344549
  4. Perunov, I.V. Magnetic and Mössbauer studies of Fe, FexCo1-x and FexNi1-x nanowires / I.V. Perunov, K.V. Frolov, M.A. Chuev, I.M. Doludenko, D.L. Zagorskii, N.K. Chumakov, I.S. Lyubutin // XV Межд. конф. «Мёссбауэровская спектроскопия и её применения», Екатеринбург, 5-9 сентября 2022.
  5. Perunov, I.V. Magnetic and Mössbauer studies of Fe, Fe¬xCo1-x and FexNi1-x nanowires / Perunov, I.V., Frolov K.V., Chuev M.A., Doludenko I.M., Zagorskii D.L., Chumakov N.K., Lyubutin I.S. // XV Межд. конф. «Мёссбауэровская спектроскопия и её применения», Екатеринбург. 2022. Тезисы докладов. С. 58-59.
  6. Popov, V. Structure Evolution and Charge Hysteresis in Hafnia-Alumina Buried Oxides / Popov, V., F. Tikhonenko, V. Antonov, A. Lomov, A. Miakonkikh, K. Rudenko // 8th Joint International EuroSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EuroSOI-ULIS) 2022 May 18-20, 2022 – Udine, Italy https://www.eurosoiulis2022.com/
  7. Popov, V. Parallel Nanowire Sensors with High-k Gate Oxide for the Sensitive Operation in Liquids / Popov, V., F. Tikhonenko, V. Antonov, A. Zarubanov, A. Gluhov, A. Tatarintsev, A. Miakonkikh, K. Rudenko // 8th Joint International EuroSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EuroSOI-ULIS) 2022 May 18-20, 2022 – Udine, Italy https://www.eurosoiulis2022.com/ 18 мая 2022
  8. Romanova, A.V. Towards ultra-precision quantum optical coherence tomography / Romanova, A.V., A.V. Pashchenko, K.G. Katamadze, S.P. Kulik // 20th International Conference Laser Optics ICLO 2022, Россия, г. Санкт-Петербург, 20– 24 июня 2022г.
  9. Snegirev, N. Evolution of the magnetic properties of FeBO3 single crystals under gallium doping / N. Snegirev, I. Lyubutin, A. Bogach, M. Chuev, S. Starchikov, S. Yagupov, Yu. Mogilenec, K. Seleznyova, M. Strugatsky // VIII Euro-Asian Symposium “Trends in Magnetism”, Казань, 22-26 августа 2022.
  10. Snegirev, N. Hyperfine structure of Mössbauer spectra in solid solutions of Fe1-xGaxBO3 / N. Snegirev, I. Lyubutin, M. Chuev, S. Starchikov, S. Yagupov, Yu. Mogilenec, M. Strugatsky // XV Межд. конф. «Мёссбауэровская спектроскопия и её применения», Екатеринбург, 5-9 сентября 2022.
  11. Амиров, И.И. Плазменные процессы формирования наноструктур для целей наноэлектроники и нанофотоники // Российский форум «Микроэлектроника 2022». Г.Сочи, Роза Хутор. 2-8 октября. https://microelectronica.pro/ 05.10.22
  12. Амиров, И.И. Структурый цвет. Получение цветного слоя наноструктурированного аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме / Амиров, И.И., Куприянов А., Изюмов М. // III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ 2.12.2022
  13. Амиров, И.И. Глубокое травление кремния в технологии МЭМС / Амиров, И.И., Руденко К.В. // Заседание Научного Совета ОНИТ РАН «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания», 14 апреля 2022 г. https://www.niime.ru/press-center/news/2266-v-ran-sostoyalos-zasedanie-nauchnogo-soveta-onit-ran-fundamentalnye-problemy-elementnoy-bazy-informa/
  14. Антонов, В.А. Перенос тонких пленок кремния с SiO2 и HfO2 на С-сапфир: влияние толщины подложки на сегнетоэлектрические свойства гафния / В.А.Антонов, В.П.Попов, А.В.Мяконьких, А.А.Ломов, К.В.Руденко // КРЕМНИЙ 2022: Тезисы докладов XIV Международной конференции и XIII Школы молодых ученых и специалистов, (Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г.). М.: Издательство «Перо», 2022, с. 52. ISBN 978-5-00204-492-4. DOI: 10.34077/SILICON2022. https://www.isp.nsc.ru/silicon2022. (устный)
  15. Антонов, В.А. Захват зарядов из кремния и перезарядка состояний в межслойных диоксидах кремния и гафния на сапфире после атомно-слоевого осаждения, водородного переноса и отжига / Антонов, В.А., В.П. Попов, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко // Кузнецовские чтения-2022 Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11 – 13 июля 2022 года, Новосибирск, ISBN 978-5-90168-849-6 http://www.niic.nsc.ru/science/conferences-inx/909-conferences-2022/3565-kuznetsovskie-chteniya-2022
  16. Бантыш, Б.И. Оптическое сверхразрешение с использованием статистики фотоотсчётов / Бантыш, Б.И., К.Г. Катамадзе, Ю.И. Богданов, С.П. Кулик // XI Семинар Клышко, Россия, Москва, 8-10 июня 2022 г
  17. Бантыш, Б.И. Разработка масштабируемого метода характеризации перестраиваемого оптического квантового интерферометра // Российский форум «Микроэлектроника 2022», Роза Хутор, МКК «Роза Холл», 2–8 октября 2022 г. https://microelectronica.pro/ 05.10.2022
  18. Богданов, Ю.И. Высокоточный контроль квантовых технологий на основе нечетких квантовых измерений // Российский форум «Микроэлектроника 2022», Роза Хутор, МКК «Роза Холл», 2–8 октября 2022 г. (устный) https://microelectronica.pro/ 05.10.2022
  19. Богданов, Ю.И. Высокоточная томография ионных кубитов при наличии ошибок считывания квантовых состояний ионов / Богданов, Ю.И., Бантыш Б.И., Богданова Н.А., Дмитриев И.А., Лукичев В.Ф. // Российский форум «Микроэлектроника 2022», Роза Хутор, МКК «Роза Холл», 2–8 октября 2022 г. https://microelectronica.pro/ 05.10.2022
  20. Богданова, Н.А. Менделеев, квантовая механика и моделирование химических элементов на квантовом компьютере / Богданова, Н.А., Богданов Ю.И., Лукичев В.Ф. // Российский форум «Микроэлектроника 2022», Роза Хутор, МКК «Роза Холл», 2–8 октября 2022 г. https://microelectronica.pro/ 06.10.2022
  21. Гайдукасов, Р.А Исследование адсорбции в плёнках нанопористых low-k диэлектриков с помощью эллипсометрической порометрии. VII всероссийский молодежный научный форум “Наука будущего – Наука молодых”. Новосибирск, 23-26 августа. https://sfy-conf.ru/2022
  22. Гайдукасов, Р.А. Исследование пористых low-k диэлектриков с помощью спектральной эллипсометрии / Гайдукасов, Р.А., Мяконьких А.В. // «Перспективные материалы и технологии» («ПМТ – 2022») Микро- и наноэлектроника. Международная конференция, 11 апреля. . https://www.mirea.ru/news/v-institute-perspektivnykh-tekhnologiy-i-industrialnogo-programmirovaniya-rtu-mirea-proshla-natsiona/
  23. Грушевский, Е.А. Электролитно-плазменный способ получения нанографита катодной эксфолиацией / Грушевский, Е.А., Савинский Н.Г., Смирнова М.А., Пухов Д.Э., Селюков Р.В. // III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ 01.12.2022
  24. Грушевский, Е.А. Погруженный в электролит плазменный разряд как метод полировки для формирования наноразмерных матриц из анодированного оксида алюминия / Грушевский, Е.А., Савинский Н.Г., Трушин О.С. // III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ 01.12.2022
  25. Кузьменко, В.О. Исследование осаждения фторуглеродной пленки из плазмы Ar/CF4/H2 для реализации процесса атомно-слоевого травления / Кузьменко, В.О., Мяконьких А.В., Руденко К.В. // III Международная Конференция «» Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ 1 декабря 2022
  26. Куприянов, А.Н. Моделирование методом молекулярной динамики низкоэнергетического распыления ионами аргона наноструктурированной поверхности кремния / Куприянов, А.Н., Амиров И.И. // III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ 2.12.2022
  27. Лукичев, В.Ф. Зарядовые кремниевые кубиты для квантовой обработки информации / Лукичев, В.Ф., Руденко К.В., Вьюрков В.В., Федичкин Л.Е. // Международный военно-технический форум «Армия-2022», МО, Кубинка,14-20 августа 2022. https://mil.ru/army2022.htm
  28. Мельников, А.А. Методы машинного обучения для решения задач квантовой информатики / Мельников А.А., Федичкин Л.Е. // Сессия научного совета РАН «Квантовые технологии», г. Москва (приглашенный) – 3 марта 2022. https://www.niime.ru/press-center/news/2247-v-ran-proshlo-zasedanie-nauchnogo-soveta-ran-kvantovye-tekhnologii/
  29. Мяконьких, А.В. Атомно-слоевое осаждение рутения и оксида рутения для систем металлизации ИС с проектными нормами 5 нм / Мяконьких, А.В., Е.А. Смирнова, А.Е. Рогожин, К.В. Руденко // Кузнецовские чтения-2022 Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11 – 13 июля 2022 года, Новосибирск, ISBN 978-5-90168-849-6 http://www.niic.nsc.ru/science/conferences-inx/909-conferences-2022/3565-kuznetsovskie-chteniya-2022 Дата доклада 11 июля 2022.
  30. Мяконьких, А.В. Атомно-слоевое осаждение (ALD) и атомно-слоевое травление (ALE) для наноэлектроники уровня от 45 нм до 10 нм / Мяконьких, А.В., Кузьменко В.О., Руденко К.В. // Заседание Научного совета ОНИТ РАН «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания». 14 апреля 2022 г. https://www.niime.ru/press-center/news/2266-v-ran-sostoyalos-zasedanie-nauchnogo-soveta-onit-ran-fundamentalnye-problemy-elementnoy-bazy-informa/
  31. Мяконьких, А.В. Плазмохимический процесс формирования черного кремния и модификация его свойств / Мяконьких, А.В., Кузьменко В.О. // III Международная Конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ Дата доклада 1 декабря 2022
  32. Мяконьких, А.В. Криогенное плазменное травление пористых диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью / Мяконьких, А.В., Кузьменко В.О., Руденко К.В. // III Международная Конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ Дата доклада 1 декабря 2022
  33. Пермякова, О.О. Изменение механизма резистивного переключения в структуре на основе оксида гафния / Пермякова, О.О. Рогожин А.Е., Мяконьких А.В., Смирнова Е.А., Руденко К.В. // В сб.: Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVI Международного симпозиума (Нижний Новгород, 14–17 марта 2022 г.) В 2 т. https://nanosymp.ru/ru/archive Дата доклада 14–17 марта
  34. Пермякова, О.О. Влияние амплитуды импульса на линейность обновления веса в мемристорах на основе оксида гафния / Пермякова, О.О., Смирнова Е.А., Рогожин А.Е., Руденко К.В., Мяконьких А.В. // В сборнике: Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022). Сборник трудов по материалам VIII Международной конференции и молодежной школы. В 5-ти томах. Под ред. А.В. Никонорова. Самара, 2022. С. 42312. http://itnt-conf.org/index.php/glavnaya/arkhiv/itnt-2022 Дата доклада 25 мая 2022
  35. Попов, В.П. Термостабильность HZO-сегнетоэлектриков в MFIS-структурах. // Попов, В.П., Антонов В.А., Тихоненко Ф.В., Толмачев К.А., Мяконьких А.В., Руденко К.В. // XV Российская Конф.по физике Полупроводников 3 – 7 октября 2022 года, Нижний Новгород https://semicond2022.ru/
  36. Попов, В.П. Применение структур SOI с высокоомными слоями в кремниевых RFIC / Попов, В.П., К.В. Руденко // Труды 32-й Международной конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии», (11-17 сентября 2022 г., Севастополь, Россия), 2022, вып.4., с.167-168. ISSN 2619-1628.
  37. Попов, В.П. Атомно-слоевое осаждение и формирование сегнетоэлектрических пленок на основе диоксида гафния в кремниевых гетероструктурах / Попов, В.П.,И.Е. Тысченко, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко // Кузнецовские чтения-2022 Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11 – 13 июля 2022 года, Новосибирск, ISBN 978-5-90168-849-6 http://www.niic.nsc.ru/science/conferences-inx/909-conferences-2022/3565-kuznetsovskie-chteniya-2022
  38. Романова, А.В. Корреляционные свойства квазитепловых полей и их применение для характеризации линейно-оптических схем / Романова, А.В., К.Г.Катамадзе, Г.В.Авосопянц, Л.В.Бигуаа, Н.Н.Скрябин, А.А.Калинкин, И.В.Дьяконов, Ю.И.Богданов, С.П.Кулик // XI Семинар Клышко, Россия, Москва, 8-10 июня 2022 г
  39. Руденко, К.В. Атомно-слоевое осаждение (ALD) и атомно-слоевое травление (ALE) для кремниевой наноэлектроники с проектными нормами 45 нм и менее / Руденко, К.В., А.В. Мяконьких // КРЕМНИЙ 2022: Тезисы докладов XIV Международной конференции и XIII Школы молодых ученых и специалистов, (Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г.). М.: Издательство «Перо», 2022, с. 72. ISBN 978-5-00204-492-4. DOI: 10.34077/SILICON2022. https://www.isp.nsc.ru › silicon2022
  40. Руденко, К.В. Селективное атомно-слоевое осаждение: подходы к функционализации поверхности / Руденко, К.В., А.В. Мяконьких // Кузнецовские чтения-2022 Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11 – 13 июля 2022 года, Новосибирск, ISBN 978-5-90168-849-6 http://www.niic.nsc.ru/science/conferences-inx/909-conferences-2022/3565-kuznetsovskie-chteniya-2022
  41. Руденко, К.В. Технологии и оборудование плазменно-иммерсионной ионной имплантации для ультрамелкого высокодозового легирования приборных структур микроэлектроники / Руденко, К.В., Мяконьких А.В., Лукичев В.Ф. // Заседание Научного Совета ОНИТ РАН ««Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания», 14 апреля 2022 г. https://www.niime.ru/press-center/news/2266-v-ran-sostoyalos-zasedanie-nauchnogo-soveta-onit-ran-fundamentalnye-problemy-elementnoy-bazy-informa/
  42. Сафроненков, Д.А. Измерение нормированной корреляционной функции второго порядка для бифотонных полей аналоговыми детекторами / Сафроненков, Д.А., Н.А.Борщевская, Т.И.Новикова, К.Г.Катамадзе, К.А.Кузнецов, Г.Х.Китаева // XI Семинар Клышко, Россия, Москва, 8-10 июня 2022 г
  43. Свинцов, Д.А. Аномальный циклотронный резонанс в графене / Свинцов, Д.А., Капралов К.Н., Дмитриев И.А., Monch E., Linder K., Бандурин Д.А., Ганичев С. // XV Российская конференция по физике полупроводников, Нижний Новгород, 3–7 октября 2022г.
  44. Семенихин, И.А. Реализация метода моментов для расчета поглощения и отражения электромагнитных волн в наноструктурах”, // 32-я Междунар. науч.-техн. конф. «СВЧ техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2022)., Севастополь, 11—17 сентября 2022 г.
  45. Серов, Д.А. Разработка архитектуры золотой наноантенны для передачи данных на 3D-интегральных схемах через каналы TSV / Серов, Д.А., Хорин И.А. // VII Международная научно-техническая конференция «Оптические технологии, материалы и системы» «Оптотех-2022», 5-10 декабря 2022. https://www.mirea.ru/upload/medialibrary/094/rb68jrxgr4yvl8l7askvbahvqxmu0x8z/Programma-konferentsii-Optotekh_2022.pdf
  46. Сидоров, Ф. А.Simulation of microoptical structure formation by thermostimulated e-beam lithography / Сидоров, Ф. А., Рогожин А.Е. // VIII Международная конференция и молодежная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2022), 23-27 мая 2022 г., Самара
  47. Симонов, Н.А. Применение модели пятен к решению обратных задач и искусственному интеллекту // XI Международная научно-практическая конференция «Интегрированные модели и мягкие вычисления в искусственном интеллекте (ИММВ-2022), Коломна, 16-19 мая 2022 г.
  48. Смирнова, М.А. Дозовые и угловые распределения имплантированных ионов галлия в кремнии / Смирнова, М.А., Бачурин В.И., Васильев С.В., Козлов Е.А., Лебедев М.Е., Пухов Д.Э., Симакин С.Г., Чурилов А.Б. // VIII Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» 11-14 октября 2022 года, г. Казань, Россия. http://implantation.unn.ru/ 14.10.2022
  49. Снегирёв, Н.И. Параметры сверхтонкой структуры ядер 57Fe в кристаллах Fe1-xGaxBO3 / Снегирёв Н.И., Старчиков С.С., Любутин И.С., Чуев М.А., Ягупов С.В, Стругацкий М.Б. // XIX Межд. конф. «Электромеханика, электротехнологии, электротехнические материалы и компоненты МКЭЭЭ-2022», Алушта, 27 сентября-01 октября 2022.
  50. Соболев, А.М. Исследование особенностей ICP разряда в установке атомно-слоевого осаждения / Соболев, А.М., Мяконьких А.В., Руденко К.В. // III Международная Конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ Дата доклада 1 декабря 2022
  51. Тарасов, М.А. Сверхпроводящие пленки и туннельные переходы на основе алюминия / М.А.Тарасов, А.М.Чекушкин, М.Ю.Фоминский, Д.М.Захаров, А.А.Ломов, О.В.Девицкий, А.А.Гунбина, Е.Т.Сохина, В.C.Эдельман // Труды XXVI Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника» (Нижний Новгород, 14–17 марта 2022 г.) В 2 т. Том 1. С. 137-138. — Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2022. — 643 с. ISBN 978-5-91326-720-7. https://nanosymp.ru/ru/index
  52. Тихоненко, Ф.В. Фазовый состав и гистерезис заряда в МДП структурах с HZO:Al диэлектриком на кремнии после быстрых термообработок / Ф.В.Тихоненко, В.А.Антонов, К.А.Толмачев, В.П.Попов, А.В.Мяконьких, А.А.Ломов, К.В.Руденко // КРЕМНИЙ 2022: Тезисы докладов XIV Международной конференции и XIII Школы молодых ученых и специалистов, (Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г.). М.: Издательство «Перо», 2022, с. 47. ISBN 978-5-00204-492-4. DOI: 10.34077/SILICON2022. https://www.isp.nsc.ru/silicon2022 (устный)
  53. Тихоненко, Ф.В. Cтабильность нанопроволочных КНИ сенсоров в биожидкостях. (стендовый доклад) / Тихоненко, Ф.В., А.В. Антонов, В.П. Попов, А.В. Мяконьких, К.В. Руденко, А.А. Зарубанов, А.В. Глухов. // КРЕМНИЙ 2022: Тезисы докладов XIV Международной конференции и XIII Школы молодых ученых и специалистов, (Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г.). М.: Издательство «Перо», 2022, с. 131. ISBN 978-5-00204-492-4. DOI: 10.34077/SILICON2022. https://www.isp.nsc.ru › silicon2022
  54. Трушин, О.С. Управляемое наноструктурирование пленок кобальта методом наклонного напыления / Трушин, О.С., Фаттахов И.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А. // III Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 1-4 декабря 2022 г. https://gdp-nano.com/ 01.12.2022
  55. Тысченко, И.Е. Высокоомные термостойкие слои кремния, созданные имплантацией ионов CO+. / Тысченко, И.Е., Ф.В. Тихоненко, С.М. Тарков, В.И. Вдовин, В.П. Попов, К.В. Руденко // КРЕМНИЙ 2022: Тезисы докладов XIV Международной конференции и XIII Школы молодых ученых и специалистов, (Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г.). М.: Издательство «Перо», 2022, с. 70. ISBN 978-5-00204-492-4. DOI: 10.34077/SILICON2022
  56. Федичкин, Л.Е. Квантовые регистры на основе зарядовых кубитов в кремнии / Федичкин, Л.Е., Вьюрков В.В., Мельников А.А., Лукичев В.Ф. // XIV Международная конференция «Кремний – 2022», Новосибирск, 2022 https://www.isp.nsc.ru/silicon2022/index.php?ACTION=part&id_part=36
  57. Чернявский, А.Ю. Квантовые псеводтелепатические игры и влияние декогеренции на них // Российский форум «Микроэлектроника 2022», Роза Хутор, МКК «Роза Холл», 2–8 октября 2022 г.https://microelectronica.pro/
  58. Чернявский, А.Ю. Разработка квантовых алгоритмов в эпоху NISQ / Чернявский, А.Ю., Фастовец Д.В., Богданов Ю.И. // Сессия научного совета РАН «Квантовые технологии», г. Москва – 3 марта 2022. https://www.niime.ru/press-center/news/2247-v-ran-proshlo-zasedanie-nauchnogo-soveta-ran-kvantovye-tekhnologii/
  59. Чуев, М.А. Нетривиальные формы мессбауэровских спектров магнитных частиц с разными формами магнитной анизотропии // XV Межд. конф. «Мёссбауэровская спектроскопия и её применения», Екатеринбург, 5-9 сентября 2022.
  60. Шлепаков, П.С. Исследование деградации рутениевых электродов в электролизе переменной полярности. Конференция ЯрГУ «Физика техника и технологии сложных систем». Ярославль, 21-29 апреля 2022 г.
  61. Шлепаков, П.С. Микронасос на основе быстрого электрохимического актюатора / Шлепаков, П.С., Уваров И.В., Абрамычев А.М., Световой В. Б. // Российский форум «Микроэлектроника 2022» 8-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Пос. Гурзуф, 27 сентября – 01 октября 2022. – С. 859-861

Патенты:

  1. Способ и устройство для повышения латеральной однородности и плотности низкотемпературной плазмы в широкоапертурных технологических реакторах микроэлектроники. – Аверкин С.Н., Антипов А.П., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Рылов А.А., Семин Ю.Ф. Патент № 2771009. приоритет от 01.06.2021. Зарегистрирован в ГРИ РФ 25.05.2022. Опубл.25.04.2022, Бюлл.№ 12.
  2. Способ электроформовки при изготовлении элемента памяти. Мордвинцев В.М., Горлачев Е.С., Кудрявцев С.Е. Патент РФ № 2769536 от 01.04.2022г. Приоритет от 28.12.2020 г. Заявка: 2020143765. Зарегистрирован в ГРИ РФ 01.04.2022. Опубл. 01.04.2022. Бюлл. № 10.
  3. ВЧ-источник плазмы с планнарным индутором для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 600 мм . – Аверкин С.Н., Павлович А.А., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Рылов Алексей Анатольевич, Семин Ю.Ф. Патент № 2785367 приоритет от 07.04.2022 Зарегистрирован в ГРИ РФ 06.12.2022 Опубл.25.04.2022, Бюлл.№ 34.

Программы ЭВМ:

  1. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2022684200 “Программа анализа растровой электронной микроскопии для оценки параметра шероховатости боковых стенок линий”, авт.: Лукичев В.Ф., Пермякова О.О., Рогожин А.Е. дата гос.регистрации 12.12.2022, приоритет от 22.11.2022.