Публикации

Список публикаций сотрудников ФТИАН им. К.А. Валиева РАН за 2021 год

Статьи:

1. Afanasyev, V. About chemical modifications of finite dimensional qed models / Afanasyev V., Keli Z., Kulagin A., Miao H.-H., Ozhigov Y., Lee W., Victorova N. // Nonlinear Phenomena in Complex Systems – 2021 – V.24(3) – p.230 – 241. DOI 10.33581/1561-4085-2021-24-3-230-241
2. Akulov, A.A. Nanostructuring at oblique incidence deposition of cobalt / Akulov, A.A., O.S.Trushin, A.A.Popov, A.N.Pestova, L.A.Mazaletsky, A.A.Lomov // J. Phys.: Conf. Ser. 2086 (2021) 012001 DOI:10.1088/1742-6596/2086/1/012001
3. Amirov, I.I. Influence of Deposition Conditions and Ion-Plasma Treatment of Thin Cobalt Films on Their Electrical Resistivity / Amirov, I.I., Selyukov, R.V., Naumov, V.V, Gorlachev E.S. // Russian Microelectronics – 2021 – V.50 – p. 1–7. DOI: 10.1134/S1063739721010030

Амиров, И.И. Влияние условий нанесения и ионно-плазменной обработки тонких пленок кобальта на их электросопротивление / Амиров, И.И., Селюков Р.В., Наумов В.В., Горлачев Е.С. // Микроэлектроника. 2021. Том 50. Номер 1. Стр. 3-9.

4. Amirov, I.I. Ion-plasma sputtering of Co and Mo nanometer thin films near the sputtering threshold./ Amirov, I.I., Izyumov M.O., Naumov V.V., Gorlachev E.S. // J. Phys. D: Appl. Phys. 54 (2021) 065204. DOI: 10.1088/1361-6463/abc3ed
5. Antonov, V. Silicon and hafnia thin film transfer on c-plane sapphire: effect of substrate thickness on the ferroelectric hafnia properties / Antonov, V., S.Tarkov, V.Popov, A.Miakonkikh, A.Lomov, K.Rudenko //  In: 2021 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EuroSOI-ULIS), Caen, France, 01-03 September, (2021), p.58-61 // IEEE Xplore Digital Library // DOI:. 10.1109/EuroSOI-ULIS53016.2021.9560187
6. Asadov, M.M. Ab Initio Modeling of the Effect of the Position and Properties of Ordered Vacancies on the Magnetic State of a Graphene Monolayer / Asadov M.M., Mustafaeva S.N., Guseinova S.S., Lukichev V.F., Tagiev D.B. // Physics of the Solid State. 2021. Vol. 63. No 5. P. 680–689. DOI: 10.1134/S1063783421050036
7. Avosopiants, G.V. Statistical parameter estimation of multimode multiphoton-subtracted thermal states of light / Avosopiants G. V., Bantysh B.I., Katamadze K.G., Bogdanova N.A., Bogdanov Y.I., Kulik S.P.// Phys. Rev. A. 2021. Vol. 104, № 1. P. 013710. / 10.1103/PhysRevA.104.013710.
8. Balabanov, V.M. Digital Circuits Based on Quantum Transistors / Balabanov, V.M., Karushkin, N.F., Obukhov, I.A., Smirnova, E.A. // (2021) Russian Microelectronics, 50(3) , pp. 161–169. DOI:10.1134/S1063739721030033
9. Bantysh B.I. Quantum tomography benchmarking  / Bantysh B.I., Chernyavskiy A.Yu., Bogdanov Yu.I. // Quantum Information Processing. V.20, Is.10. 339 (2021). Ausgabe 10/2021.  DOI: 10.1007/s11128-021-03285-9   
10. Bantysh, B.I. Quantum tomography of noisy ion-based qudits / Bantysh B.I., Bogdanov Yu.I. // Laser Phys. Lett. 2021. 18 015203. DOI https://doi.org/10.1088/1612-202X/abca44
11. Belevtsev, A.M. Features of the SHF MEMS Switches Design Selection for Phased Antenna Arrays of Modern Radar Systems / Belevtsev A.M., Epaneshnikova I.K., Dryagin I.O., Lukichev V.F., Boldyreff A.S. // 2021  IEEE Xplore – Radiation and Scattering of Electromagnetic Waves (RSEMW), 2021, pp. 215-218, DOI: 10.1109/RSEMW52378.2021.9494087.
12. Bogdanov, Yu.I. Solution of the Schrödinger Equation on a Quantum Computer by the Zalka–Wiesner Method Including Quantum Noise /  Yu. I. Bogdanov, N. A. Bogdanova, D. V. Fastovets, V. F. Lukichev //  Jetp Lett. 114, 354–361 (2021). DOI: 10.1134/S0021364021180065

Богданов, Ю.И. Решение уравнения Шредингера на квантовом компьютере методом Залки–Визнера с учетом квантовых шумов / Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Фастовец Д.В., Лукичев В.Ф. // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2021. Т. 114. № 5-6 (9). С. 391-399.  DOI: 10.31857/S1234567821180099

13. Buchin, E.Y. Ion Synthesis of Silicon-on-Insulator Structures with a Lead-Silicate Insulating Layer / Buchin E.Y., Denisenko Y.I. // Technical Physics Letters – 2021. DOI: 10.1134/S106378502107018X

Бучин, Э.Ю. Ионный синтез структур “”кремний на изоляторе”” со свинцово-силикатным изолирующим слоем / Бучин Э.Ю., Денисенко Ю.И. //  Письма в журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 14, стр. 47., DOI: 10.21883/PJTF.2021.14.51188.18773

14. Düll, R. Quality of Control in the Tavis–Cummings–Hubbard Model / Düll, R., Kulagin, A., Lee, W. Ozhigov Yu., Miao H., Zheng K. // Computational Mathematics and Modeling – 2021 – V.32 – p.75–85. DOI: 10.1007/s10598-021-09517-y
15. Fadeev, A.V. To the Issue of the Memristor’s HRS and LRS States Degradation and Data Retention Time / Fadeev, A.V., K.V.Rudenko // Russ.Microelectronics, 2021, v. 50, no. 5, pp. 311 – 325. DOI: 10.1134/S1063739721050024.

Фадеев, А.В. К вопросу о деградации состояний HRS и LRS мемристоров и времени хранения данных / А.В.Фадеев, К.В.Руденко // Микроэлектроника, 2021, том 50, № 5, с. 347–362. DOI: 10.31857/S0544126921050021.

16. Fastovets, D.V. Schmidt Decomposition and Coherence of Interfering Alternatives / Fastovets D.V., Bogdanov Y.I., Bogdanova N.A., Lukichev V.F.// Russian Microelectronics. 2021. Т. 50. № 5. С. 287-296. https://doi.org/10.1134/S1063739721040065

Фастовец, Д.В. Разложение Шмидта и когерентность интерферирующих альтернатив  / Фастовец Д.В., Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 2021. Т. 50. № 5. С. 323-332. DOI:  10.31857/S0544126921040062

17. Fedichkin, L.E. Analysis and Applications of Quantum Walks  / Fedichkin L.E., Meshchaninov F.P. // Journal of Mathematical Sciences. 2021. Т. 252. № 1. С. 104-115. DOI 10.1007/s10958-020-05145-w.
18. Filippov, S.N. Entanglement robustness in trace decreasing quantum dynamics // Quanta. – 2021. – V. 10. N. 1. – PP. 15–21. DOI: 10.12743/quanta.v10i1.163
19. Grushevski, E. The scalable production of high-quality nanographite by organic radical-assisted electrochemical exfoliation / Grushevski E., Savelev D., Mazaletski L., Savinski N., Puhov D. // J. Phys.: Conf. Ser. 2021. 2086 012014. DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012014
20. Isaev, A.G. Influence of Resist Spreading during Its Dry Electron-Beam Etching on a Lateral Resolution / Isaev, A.G., Sidorov F.A., Rogozhin, A.E. // Russian Microelectronics, 2021, 50(1), pp 19–23 DOI: 10.1134/S1063739721010066
21. Ivanov, Y.D. Micro-Raman characterization of structural features of High-k Stack Layer of SOI Nanowire Chip, designed to detect circular RNA associated with the development of glioma / Ivanov, Y.D., K.A.Malsagova , V.P.Popov, I.N.Kupriyanov, T.O.Pleshakova, R.A.Galiullin, V..S.Ziborov, A.Yu.Dolgoborodov, O.F.Petrov, A.V.Miakonkikh, K.V.Rudenko, A.V.Glukhov, A.Yu.Smirnov, D.Yu.Usachev, O.A.Gadzhieva, B.A.Bashiryan, V.N.Shimansky, D.V.Enikeev, N.V.Potoldykova, A.I.Archakov // Molecules, 26, 3715 (2021). DOI: 10.3390/molecules26123715
22. Katamadze, K.G. Linear optical circuits characterization by means of thermal field correlation measurement / Katamadze K.G., Avosopiants G.V., Romanova A. V, Bogdanov Y.I., Kulik S.P.// Laser Phys. Lett. 2021. Vol. 18, № 7. P. 075201.  DOI: 10.1088/1612-202X/abfc43.
23. Kaydashev, V. Excitation of localized graphene plasmons by using non-periodical self-assembled arrays of metallic antennas / Kaydashev, V., Khlebtsov, B., Miakonkikh, A., Zhukov, S., Zhukova, E., Svintsov, D. // 2021 AIP Conference Proceedings, 2359, art. no. 020013.  DOI: 10.1063/5.0055273
24. Kulova, T. All Solid State Thin-Film Lithium-Ion Batteries: Materials, Technology, and Diagnostics / Kulova, T., Mironenko, A., Rudy, A., Skundin, A. – (1st ed.). CRC Press. 2021. eBook Published 9 September 2021. p.214.  DOI: 10.1201/9780429023736
25. Kuzmenko, V. Optimization of deep silicon etching process for microstructures fabrication / V.Kuzmenko, A.Miakonkikh, K.Rudenko // J. Phys.: Conf. Ser. 2086 (2021) 012190. doi:10.1088/1742-6596/2086/1/012190
26. Kuzmenko, V.O. Application of Langmuir probe and optical emission spectroscopy for bromofluorocarbon plasma diagnostics / Kuzmenko, V.O., A.Miakonkikh, K.V. Rudenko // J. Phys.: Conf. Ser. 1870(1):012006 (2021). DOI: 10.1088/1742-6596/1870/1/012006
27. Kuzmenko, V.O. Low-Pressure Inductively Coupled CF3Br Plasma Studied by the Langmuir Probe and Optical Emission Spectroscopy Techniques // Kuzmenko, V.O., Miakonkikh, A.V. (2021) Technical Physics Letters, 47 (1), pp. 99-102. DOI: 10.1134/S1063785021010247
28. Lomov, A. A. The Formation and Structure of Thermomigration Silicon Channels Doped with Ga / Lomov, A.A., B.M.Seredin, S.Yu.Martyushov, A.N.Zaichenko, I.L.Shul’pina // Technical Physics, 2021, Vol. 66, No. 3, pp. 453– 460 / DOI: 10.1134/S1063784221030178
29. Lomov, A.A. Laue X-ray diffraction studies of the structural perfection of Al-doped thermomigration channels in silicon / Lomov, A.A., Punegov, V.I., Seredin, B.M. // J. Appl. Cryst. (2021) 54, 588-596. DOI: 1107/S1600576721001473.
30. Luchnikov, I. A. QGOpt: Riemannian optimization for quantum technologies / I. A. Luchnikov, A. Ryzhov, S. N. Filippov  // SciPost Physics. – 2021. – V. 10. N. 3. – P. 79. DOI: DOI: 10.21468/SciPostPhys.10.3.079
31. Luchnikov, I. A. Riemannian geometry and automatic differentiation for optimization problems of quantum physics and quantum technologies / I.A.Luchnikov, M.E.Krechetov, S.N.Filippov // New Journal of Physics. – 2021. – V. 23. – P. 073006. DOI: 10.1088/1367-2630/ac0b02
32. Makhviladze, T.M. Influence of point defects on the initiation of electromigration in an impurity conductor / Makhviladze, T.M., M.E. Sarychev. // Russ. Microelectronics. 2021. Vol. 50, №5, P. 339-346.  DOI: 10.1134/S1063739721040077

Махвиладзе Т.М., М.Е. Сарычев.  Влияние точечных дефектов на возникновение электромиграции в проводнике с примесью // Микроэлектроника. 2021.Т.50. №5. С.376-383. DOI: 10.31857/S0544126921040074″

33. Melnikov, A.A. Tunneling in Double-Layer Optical Waveguides as Quantum Walks on Graphs. / Melnikov, A.A., A.P. Alodjants, L.E. Fedichkin // Proceedings of the Steklov Institute of Mathematics 313 (1), 142-148, 2021/ DOI: 10.1134/S0081543821020140

Мельников, А.А. Туннелирование в двухслойных оптических волноводах как квантовое блуждание на графах / Мельников, А.А.,А.П. Алоджанц, Л.Е. Федичкин // Труды Математического института имени ВА Стеклова 313 (0), 154-160, 2021. DOI: 10.4213/tm4183

34. Meshchaninov, F. Implementation of quantum gates on quantum dot register / Meshchaninov, F., A. Magomedrasulov, L. Fedichkin. // AIP Conf. Proc., 2021. 2362. P. 040010.   DOI 10.1063/5.0056736. Scopus: 2-s2.0-85109542782
35. Miakonkikh, A.V. Application of the Spectral Ellipsometry Method to Study the Processes of Atomic Layer Deposition / Miakonkikh, A.V., Smirnova, E.A., Clemente, I.E. // (2021) Russian Microelectronics, 50 (4), pp. 230-238.  DOI: 10.1134/S1063739721040089
36. Miakonkikh, A.V. Study of the plasma resistance of a high resolution e-beam resist HSQ for prototyping nanoelectronic devices / A.V.Miakonkikh, A.V.Shishlyannikov, Tatarintsev, A.A.,  V.O. Kuzmenko, K.V.Rudenko, E.S.Gornev // Russian Microelectronics, 50(5):297–302, 2021. DOI: 10.1134/S1063739721050048

Мяконьких, А.В. Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники / А.В.Мяконьких, Татаринцев, А.А., А.В.Шишлянников, В.О.Кузьменко, К.В.Руденко, Е.С.Горнев // Микроэлектроника, 49(5), 2021. DOI: 10.31857/S0544126921050045

37. Micro- and Nanoelectronics – 2021: Proceedings of the International Conference (October 4-8, 2021, Zvenigorod, Russia): Book of Abstracts / Ed. by V.F. Lukichev and K.V. Rudenko / Compiled by V.P. Kudrya. – Moscow: MAKS Press,    2021. – 214 pp. (26.75 усл.печ.л.). ISBN 978-5-317-06675-8. https://elibrary.ru/item.asp?id=46648244.
38. Mordvintsev V.M. Effect of the electroformation conditions on the switching stability of memristors based on open “sandwich” structures in an oxygen medium / Mordvintsev V.M., Gorlachev E.S., Kudryavtsev S.E. // Russian Microelectronics – 2021 – V. 50(3) – p.146-154. DOI: 10.1134/S1063739721020062

Мордвинцев, В.М. Влияние режима электроформовки на устойчивость переключений мемристоров на основе открытых “сэндвич”-структур в среде кислорода / Мордвинцев В.М., Горлачев Е.С., Кудрявцев С.Е. // Микроэлектроника. 2021. Том 50. Номер 3. Стр. 175-183.”

39. Mozhaev, P.B.Tilting of the top layer of graphoepitaxial metal-oxide multilayer thin film heterostructures / Mozhaev, P.B., Bdikin, I.K., Luzanov, V.A., Hansen, J.B., Jacobsen, C.S. // Appl. Phys. A – 2021 – V.127 – 912. DOI: 10.1007/s00339-021-05070-y
40. Muravyeva, T.I.Excessive number of high asperities for sputtered rough films. / Muravyeva, T.I., Uvarov I.V., Naumov V.V., Palasantzas G., Svetovoy V.B. // Phys. Rev. B. 104, 035415 (2021), DOI: 10.1103/PhysRevB.104.035415
41. Nikitin, A.A.Effects of macromolecular crowding on nanoparticle diffusion: new insights from Mössbauer spectroscopy Effects of Macromolecular Crowding on Nanoparticle Diffusion: New Insights from Mossbauer Spectroscopy / Nikitin, A.A.,  A.Yu. Yurenya, R.R. Gabbasov, V.M. Cherepanov, M.A. Polikarpov, M.A. Chuev1, A.G. Majouga, V.Ya. Panchenko, and M.A. Abakumo // J. Phys. Chem. Lett. 2021, Vol. 12, pp. 6804−6811. DOI: 10.1021/acs.jpclett.1c01984.
42. Ozhigov Y.On the Prospects of Quantum Computing in Models of Social Behavior / In: Voevodin V., Sobolev S. (eds) Supercomputing. RuSCDays 2021 // Communications in Computer and Information Science – 2021 – V.1510 – Springer, Cham – p.365-375 Код 270869.  Print ISBN: 978-3-030-92863-6/ Electronic ISBN: 978-3-030-92864-3  DOI 10.1007/978-3-030-92864-3_28
43. Permyakova, O.O.Modelling electroforming process under constant bias voltage conditions / Permyakova, O.O.,A E Rogozhin //  J. Phys.: Conf. Ser.- 2021 – V.2086 – 012030. DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012030
44. Pestova, A.N.Four-point probe stand for magnetoresistance measurement of unpatterned sample / Pestova A.N., Trushin O.S. // J. Phys.: Conf. Ser. 2021. 2086 012062. DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012062
45. Polyakov, S.N.Structure Investigations of Islands with Atomic‑Scale Boron–Carbon Bilayers in Heavily Boron‑Doped Diamond Single Crystal: Origin of Stepwise Tensile Stress / Polyakov, S.N., V.N.Denisov, V.V.Denisov, S.I.Zholudev, A.A.Lomov, V.A.Moskalenko, S.P.Molchanov, S.Yu.Martyushov, S.A.Terentiev. V.D.Blank. // Nanoscale Res Lett (2021) 16:25. DOI: 10.1186/s11671-021-03484-4.
46. Popov, V.P. Blister suppression in the CO+ molecule implanted SOI substrates with ultrathin buried oxides / Popov, V.P., F.V.Tikhonenko, V.A.Antonov, S.G.Simakin, K.V.Rudenko // Materials Today Communications – 2021 – V.28 – 10249. DOI: 10.1016/j.mtcomm.2021.102498
47. Popov, V.P.Diode-like current leakage and ferroelectric switching in silicon SIS structures with hafnia-alumina nanolaminates / Popov, V.P.,Fedor V.Tikhonenko, V.A.Antonov, I. E.Tyschenko, A.V.Miakonkikh, S.G.Simakin, K.V.Rudenko // Nanomaterials, 11, 291 (2021). DOI: 10.3390/nano11020291
48. Popov, V.P.Robust Semiconductor-on-Ferroelectric Structures with Hafnia-Zirconia-Alumina UTBOX Stacks Compatible with the CMOS Technology / Popov, V.P. , V.A. Antonov, F.V. Tikhonenko, S.M. Tarkov, A.K. Gutakovskii, I.E. Tyschenko, A.V. Miakonkikh, A.A. Lomov, A.E. Rogozhin,  K.V. Rudenko //  J. Phys. D: Appl. Phys. 2021 – V.54 – N.22 – p. 5101 (225101). DOI: 10.1088/1361-6463/abe6cb
49. Popov, V.P.Thermally Robust High-Resistance Layers on Low-Resistance Silicon Synthesized by Molecular CO+ Ion Implantation / Popov, V.P., S.M. Tarkov, F.V. Tikhonenko, V.A. Antonov, I.E. Tyschenko, S.G. Simakin, K.V. Rudenko.  // Phys. Stat. Sol. A. (2021) 202100109. DOI: 10.1002/pssa.202100109.
50. Privezentsev, V.V.Structure, content, and properties of 64Zn+ ion hot-implanted and thermal-oxidated Si. / Privezentsev, V.V., Sergeev, A.P., E.P.Kirilenko, A.V.Goryachev, O.S.Zilova, A.A.Burmistrov, A.A.Batrakov  // J . Mater Sci: Mater Electron 32, 4581–4591 (2021). DOI: 10.1007/s10854-020-05199-1
51. Rogozhin, A.Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films Using Ru(EtCp)2 Precursor / Rogozhin, A., A.Miakonkikh, E.Smirnova, A.Lomov, S.Simakin, K.Rudenko // Coatings –  2021 – V.11 – p.117. DOI: 10.3390/coatings 11020117 (Q2)
52. Rudenko, M.Numerical simulation of Cryogenic etching: model with delayed desorption // Rudenko K.V., A.V.Myakon’kikh, V.F.Lukichev // Russian Microelectronic. 2021. V.50 (1). P.54-62. DOI:10.1134/S106373972101008X .

Руденко, М.К. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ КРИОГЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ: МОДЕЛЬ С ОТЛОЖЕННОЙ ДЕСОРБЦИЕЙ / Руденко М.К., Мяконьких А.В., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 2021. Т. 50. № 1. С. 58-67. “

53. Rudy, A.S.A Modernized Bosch Etching Process for the Formation of Tapered Structures on a Silicon Surface / Rudy A.S., Morozov O.V., Kurbatov S.V. // Journal of Surface Investigation – 2021 – V.15(3) – p.461-466. DOI: 10.1134/S1027451021030162

Рудый, А.С. Модернизированный Bosch-процесс травления для формирования конических структур на поверхности кремния / Рудый А.С., Морозов О.В., Курбатов С.В. //  Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2021. № 5. С. 56-62. DOI: 10.31857/S1028096021050162  “

54. Rudy, A.S.Surface erosion by moving ion beam. / Rudy A.S., Kulikov A.N., Bachurin V.I. // Vacuum. 2021. V.193. 110504. DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110504
55. Safronenkov, D.A.Measurement of the biphoton second-order correlation function with analog detectors / Safronenkov D.A., Borshchevskaya N.A., Novikova T.I., Katamadze K.G., Kuznetsov K.A., Kitaeva G.K. // Opt. Express. 2021. Vol. 29, № 22. P. 36644. DOI: 10.1364/OE.441488.
56. Savelev, D.The electromagnetic absorbers based nano – structured granular polymer-composites at gigahertz frequencies / Savelev D., Grushevski E., Savinski N., Soloviev M., Turov V., Krenev V. // J. Phys.: Conf. Ser. 2021. 2086 012064. DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012064
57. Semenikhin, I.Improving accuracy of the numerical solution of Maxwell’s equations by processing edge singularities of the electromagnetic field // J. of Comp. Phys.  441, 110440, 2021. DOI: 10.1016/j.jcp.2021.11044
58. Shlepakov, P.S.Design and simulation of the compact MEMS energy harvester based on aluminium nitride / Shlepakov P.S., Uvarov I.V. // J. Phys.: Conf. Ser. 2021, Vol. 2086, 012066. DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012066
59. Simonov N.The Spot Model for Representation and Processing of Qualitative Data and Semantic Information // CEUR Workshop Proceedings – 2021 – V.3044 -5 – p. 55-69 / 19th Russian Advances in Artificial Intelligence Track, RAAI 2021. Taganrog, 11-16 October 2021 . Код SCOPUS: 2-s2.0-85121673662.
60. Simonov, N.Overcoming Insufficient Microwave Scattering Data in Microwave Tomographic Imaging / Simonov, N., S.-H.Son // IEEE Access – 2021 – V.9 – p. 111231-111237. DOI: 10.1109/ACCESS.2021.3103414
61. Simonov, N.A.Spots Concept for Problems of Artificial Intelligence and Algorithms of Neuromorphic Systems // Russian Microelectronics Pub Date : 2021-01-27 , DOI: 10.1134/s106373972005008x
62. Smirnova, E.A.Properties of plasma enhanced atomic layer deposited ruthenium thin films from Ru(EtCp)2 / Smirnova, E.A., A V Miakonkikh, A E Rogozhin, K V Rudenko // J. Phys.: Conf. Ser. 2086 012209 (2021) DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012209
63. Smirnova, M.A.Study of ripple formation on Si surface under Ga ion beam bombardment. / Smirnova M.A., Ivanov A.S., Bachurin V.I., Churilov A.B. // J. Phys.: Conf. Ser. 2086 (2021) 012210 DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012210
64. Snegirev,I. Size effects in iron borate FeBO3 nanoparticles / Snegirev,N.I.,  I.S. Lyubutin, S.V. Yagupov, M.A. Chuev, N.K. Chumakov, O.M. Zhigalina, D.N. Khmelenin, M.B. Strugatsky. // Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2021, Vol. 66, No. 8, pp. 1217–1222. DOI: 10.1134/S0036023621080283.

Снегирёв, Н.И. РАЗМЕРНЫЕ ЭФФЕКТЫ В НАНОЧАСТИЦАХ БОРАТА ЖЕЛЕЗА FeBO3 / Снегирёв, Н.И., И.С. Любутин, С.В. Ягупов, М.А. Чуев, Н.К. Чумаков, О.М. Жигалина, Д.Н. Хмеленин, М.Б. Стругацкий // ЖУРНАЛ НЕОРГАНИЧЕСКОЙ ХИМИИ, 2021, том 66, No 8, с. 1114–1119. DOI: 10.31857/S0044457X21080286.”

65. Tikhonenko, F.Thermal Stability of Ferroelectricity in Hafnia-Zirconia-Alumina Buried Oxide Stacks / Tikhonenko, F., Antonov, V., Popov, V., Miakonkikh, A., Rudenko, K. // (2021)  Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon, EuroSOI-ULIS 2021.  DOI: 10.1109/EuroSOI-ULIS53016.2021.9560687- Date Added to IEEE Xplore: 18 October 2021 – 1-3 Sept. 2021 Caen, France.
66. Trushin O.S.Domain wall precession in a narrow magnetic nanowire / Trushin O.S., Barabanova N.I. // Russian Microelectronics – 2021 – V.50(1) – p.69-73. DOI: 10.1134/S1063739721010091

Трушин, О.С. Прецессия доменной стенки в узком магнитном нанопроводе / Трушин О.С., Барабанова Н.И. //  Микроэлектроника. 2021. Том 50. Номер 1. Стр. 74-79.”

67. Trushin, O.S.Nanostructuring at Oblique Angle Deposition of Aluminum / Trushin, O.S., Popov, A.A., Pestova, A.N., Mazaletsky L.A., Akulov A.A. // Technical Physics Letters – 2021. DOI: 10.1134/S1063785021060250

Трушин, О.С. Наноструктурирование при наклонном напылении алюминия / Трушин О.С., Попов А.А., Пестова А.Н., Мазалецкий Л.А., Акулов А.А. //  Письма в журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 12, стр. 31.”

68. Tsukanov, A.V.Mechanical control of the spectrum of a chain of resonators and the organization of remote interaction between quantum dots / Tsukanov A.V. , Kateev I.Yu. // Russian Microelectronics. 2021. V. 50. № 6. P. 405-418. DOI: 10.1134/S1063739721050085
69. Tsukanov, A.V.Optical measurement of double-dot population using photon transmission via three coupled microresonators / Tsukanov A.V., Kateev I.Yu. // Laser Physics. 2021. V. 31. P. 065201 (15 стр.). DOI: 10.1088/1555-6611/abf647
70. Tsukanov, A.V.Photonic molecule with mechanical frequency tuning for the optical measurements of a semiconductor charge qubit / Tsukanov A.V., Kateev I.Yu. // Russian Microelectronics. 2021. V. 50. № 2. P. 75-91. DOI: 10.1134/S1063739721020098
71. Tsukanov, A.V.Principle of measuring the electron population of a quantum dot using a single-photon transistor based on an array of quantum dots // Quantum electronics. 2021. V. 51. № 8. P. 718 – 726. DOI: 10.1070/QEL17573
72. Tsukanov, A.V.Measurements of quantum dot level populations using an optical waveguide // Quantum Electronics (2021), 51 (1):84. DOI:10.1070/QEL17441

Цуканов, А.В. Измерение заселенности квантовой точки с помощью оптического волновода // Квантовая электроника, 2021,Т.51, №1, С.84–94. “

73. Uvarov, I.V.A peristaltic micropump based on the fast electrochemical actuator: Design, fabrication, and preliminary testing / Uvarov I.V., Shlepakov P.S., Melenev A.E., Ma K., Svetovoy V.B., Krijnen G.J.M. // Actuators, 2021, Vol. 10, 62. DOI: 10.3390/act10030062
74. Uvarov, I.V.A seesaw-type MEMS switch with enhanced contact force: the first results. / Uvarov I.V., Marukhin N.V. // J. Phys.: Conf. Ser. 2021, Vol. 2086, 012069. DOI: 10.1088/1742-6596/2086/1/012069
75. Uvarov, I.V.Highly energetic impact of H2 and O2 nanobubbles on Pt surface. / Uvarov, I.V., Shlepakov P.S., Postnikov A.V., Svetovoy V.B. // Journal of Colloid and Interface Science, 2021, Vol. 582, P. 167-176. DOI: 10.1016/j.jcis.2020.07.135.
76. Uvarov, I.V.Migration of adhesive material in electrostatically actuated MEMS switch // Microelectronics Reliability. – 2021. – Vol. 125. – 114372. DOI: 10.1016/j.microrel.2021.114372
77. Vervoort, L.Artificial Consciousness, Superintelligence and Ethics in Robotics: How To Get There? / Vervoort, L., A.A.Melnikov, M.Chauhan, V.Nikolaev // Mind and Matter – 2021 – V.19(1) – p.7-43. Scopus : 2-s2.0-85111388117
78. Yakushko, E.V.Radar Absorbing NiCo Nanoparticles in Carbon Matrix of Nanocomposites in the Microwave Range / Yakushko E.V., Kozhitov L.V., Muratov D.G., Korovin E.Y., Lomov A.A., Popkova A.V. // Russian Physics Journal – 2021 – V.63(12) – p.2226 – 2235. DOI: 10.1007/s11182-021-02292-8
79. Zimin, S.P.Modification of Nanocrystalline Porous Cu2-xSe Films during Argon Plasma Treatment / Zimin S.P., I.I.Amirov, S.V.Vasilev, I.S.Fedorov, L.A.Mazaletskiy, Nam-Hoon Kim // Appl. Sci. (Switzerland). 2021, 11, 612. DOI: 10.3390/app11020612
80. Асадов, С.М.Моделирование кристаллизации, корреляции свойств от состава и размера частиц в двумерных GaSxSe1–x(0 ≤ х ≤ 1) / Асадов С.М., Мустафаева С.Н., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 2021. T. 50. № 2. С. 146–160. doi.org/10.31857/S054412692101004X
81. Кулова, Т.Л.Экспериментальное исследование влияния пористости тонкопленочных анодов на основе кремния на их зарядно-разрядные характеристики / Кулова Т.Л., Мазалецкий Л.А., Мироненко А.А., Рудый А.С., Скундин А.М., Торцева Ю.С., Федоров И.С. // Микроэлектроника. 2021. Т.50. № 1. С.49-57. DOI: 10.31857/S0544126920060071
82. Лукичев В.Ф.Изготовление и резонансные характеристики PZT-кантилеверов / Лукичев В.Ф., Амиров И.И., Уваров И.В., Камран К., Воротынцев Д.А., Серегин Д.С., Воротилов К.А. // Нано- и микросистемная техника. 2021. Т. 23. № 5. С. 255-260. DOI: 10.17587/nmst.23.255-260
83. Лучников, И.А.Анализ немарковской квантовой динамики методами машинного обучения / Лучников И.А., Киктенко Е.О., Гавреев М.А., Уэрдан Х., Филиппов С.Н., Федоров А.К. // Наноиндустрия. – 2021. – Т. 14. – № S7(107). – С. 744-746. – DOI 10.22184/1993-8578.2021.14.7s.744.746
84. Попов, В.П.Структуры “кремний на high-k-диэлектрике” нанометровой толщины / Попов В.П., Тихоненко Ф.В., Гутаковский А.К., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Тысченко И.Е. // Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 671-672. DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.7s.671.672
85. Селюков, Р.В.Формирование текстуры (100) в тонких пленках Ti под действием низкоэнергетической ионной бомбардировки / Селюков Р.В., Изюмов М.О., Наумов В.В., Мазалецкий Л.А. //  Письма в журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 23, стр. 35. DOI: 10.21883/PJTF.2021.23.51782.18890
86. Семенихин, И.А.Увеличение точности численного решения уравнений Максвелла посредством учета угловых особенностей электромагнитного поля // СВЧ техника и телекоммуникационные технологии (КрыМиКо’2021). Вып. 3 : сб. науч. тр. 31-й Междунар. научн.-техн. конф., Севастополь, 5–11 сентября 2021 г. ISSN 2619-1628 / Севастоп. гос. ун-т; под ред. Ю.Б. Гимпилевича, П.П.Ермолова. – Севастополь : СевГУ, 2021, 500 c., стр. 257-258.).
87. Чекушкин, А.М.Оптимизация режимов изготовления пленок Nb, NbN, NbTiN и высококачественных туннельных переходов на их основе для приемных структур ТГц диапазона / Чекушкин, А.М., Л.В.Филиппенко, А.А.Ломов, Dong Liu,  Sheng-Cai Shi, В.П.Кошелец // Журнал технической физики. 2021. Т.91(10) – С.1577-1582.  DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51373.135-21
    

Конференции:

1. Akulov, A A.Nanostructuring at oblique incidence deposition of cobalt / Akulov, A.A., O.S.Trushin, A.A.Popov, A.N.Pestova,  L.A.Mazaletsky // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts. P. 26-27.
2. Amirov, I.I.Low-energy etching of W and Mo films in halogen-containing plasma in continuous and atomic-layer etching mode / Amirov I.I. , M.O. Izyumov, A.N. Kupriyanov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-07. P. 124.
3. Andalashvili, M.Z.Study of silicon carbide surface at different stages of doping by nitrogen atoms. / M.Z. Andalashvili, D.E. Presnov, D.K. Minenbaev, A.E. Rogozin, A.V. Miakonkikh, A.V. Lubenchenko, I.I. Tsiniaikin, V.A. Krupenin, A.S. Trifonov //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-05. p.167.
4. Avosopiants, G.V.Linear optical circuits characterization with thermal states of light / Avosopiants G.V., Katamadze K.G., Romanova A.V., Bogdanov Yu.I., Kulik S.P. //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q3-14. p.161.
5. Babushkin, A.Modeling the assembly of a microinductor made by using residual mechanical stress / Babushkin A., R. Selyukov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-32. P. 113.
6. Bantysh, B.I.Robust quantum tomography protocols for ion-based qudits / Bantysh B.I.,  Bogdanov Yu.I.  // Международная конференция «Квантовая информатика – 2021», Россия, г. Москва, 30 марта – 4 апреля 2021г.
7. Bantysh, B.I.Software for analysis and comparison of quantum tomography methods / Bantysh B.I., Chernyavskiy A. Yu., Fastovets D.V., Bogdanov Yu.I. //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q3-12. Р.159.
8. Berdnikov, A.E.Memristor Effect in Electrolyte–Insulator–Semiconductor Structure / Berdnikov, A.E., A.A. Popov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-03. P. 84.
9. Bogdanov, Yu.I.Comparative analysis of various protocols for high-precision tomography of ion-based qudits  / Bogdanov, Yu.I.,  B.I.Bantysh, N.A.Bogdanova, K. B.Koksharov, V.F.Lukichev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-36. Р.198.
10. Bogdanov, Yu.I.High-fidelity tomography of fluorescent ion qubits under conditions of limited discrimination between “bright” and “dark” levels  / Bogdanov, Yu.I., B.I. Bantysh, N.A. Bogdanova, I.A. Dmitriev, V.F. Lukichev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-37. Р.199
11. Bogdanov, Yu.I.Measurement of polarization quantum states under chromatic aberration conditions / Bogdanov, Yu.I.,  B.I.Bantysh, N.A.Bogdanova, M. I.Shakirov, V.F.Lukichev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-35. Р. 197
12. Bogdanova, N.A.High-fidelity tracking of the evolution of multilevel quantum states / Bogdanova N.A., Bogdanov Yu.I., Kuznetsov Yu.A., Lukichev V.F. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q3-15. Р. 162
13. Bogdanova, N.A.Study of the effect of quantum noise on the accuracy of the Schrödinger equation simulation on a quantum computer using the Zalka-Wiesner method / Bogdanova N.A., Bogdanov Yu.I., Fastovets D.V., Lukichev V.F. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q3-11. Р.158
14. Borzdov, A.V.Monte Carlo simulation of picosecond laser irradiation photoresponse of deep submicron SOI MOSFET / A.V.Borzdov, V.M.Borzdov, V.V.Vyurkov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021.  P1-30. Р.111. DOI: 10.1117/12.2624174
15. Buchin, Ed.Yu.Ion synthesis of SOI structures with silicate insulating layers / Buchin Ed.Yu., Yu.I.Denisenko, S.G.Simakin // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-01. P. 163.
16. Chernyavskiy, A.Yu.Quantum tomography benchmarking / Chernyavskiy A.Yu., Bantysh B.I.,  Bogdanov Yu.I.  // Международная конференция «Квантовая информатика – 2021», Россия, г. Москва, 30 марта – 4 апреля 2021г.
17. Chuev, M.A.Magnetic properties and hyperfine interactions of iron-borate single crystals and nanoparticles // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-16. Р.133
18. Fadeev, A.Influence of the duration of the oxygen-containing precursor supply on the carbon concentration during ALD / Fadeev, A., A.Miakonkikh, S.Simakin, E.Smirnova, K. Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-20. Р.182.
19. Fastovets, D.V.Study of decoherence of a superposition of macroscopic quantum states by means the consideration of a multimode state of a Schrödinger cat / Fastovets D.V., Bogdanov Yu.I., Bogdanova N.A., Lukichev V.F. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q3-13. Р.160
20. Fastovets, D.V.Study of the coherence of multimode states of Schrödinger’s cats / Fastovets, D.V.,  Yu.I.Bogdanov, N.A.Bogdanova, V.F.Lukichev // Международная конференция «Квантовая информатика – 2021», Россия, г. Москва, 30 марта – 4 апреля 2021г.
21. Filippov, S.N.Riemannian gradient for manifolds of density matrices and isometric matrices to solve optimization problems of quantum information theory» // IV International Conference “Topological methods in dynamics and related topics”», August 2-5, 2021, Nizhny Novgorod, Russia.
22. Filippov, S.N.Trace decreasing quantum operations and their properties // International Conference on Algebra, Analysis and Geometry 2021», August 23-27, 2021, Kazan, Russia.
23. Gaydukasov, R.Investigation of nanoporous low-k dielectrics by spectral ellipsometry. R. Gaydukasov, A. Miakonkikh // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-12. Р.174
24. Gorlachev, E.S.Study of inert gas pressure influence on electroforming and resistive switching of TiN-TiO2-SiO2-W memristors / Gorlachev, E.S., V.M. Mordvintsev, S.E. Kudryavtsev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-01. P. 82.
25. Grushevski, E.The scalable production of high-quality nanographite by organic radical-assisted electrochemical exfoliation / Grushevski, E., D.Savelev, L.Mazaletski, N.Savinski, D.Puhov // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 37-38.
26. Isaev, A.Investigation of the defect distribution in multilayer dielectric stacks for ReRAM application using C-AFM technique. / Isaev, A., A.Rogozhin, E.Smirnova, K.Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-13. Р.23.
27. Katamadze, K.Education setup for quantum optics and quantum information tasks / Katamadze K., Mareev E., Potemkin F., Bantysh B., Avosopiants G., Vladimirova Yu., Kulik S. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q2-05. Р.76.
28. Katamadze, K.G.Photon statistics for metrology applications: imaging and linear optical circuits characterization / Katamadze K.G., Bantysh B.I., Avosopiants G.V., Romanova A.V., Bogdanov Yu.I., Kulik S.P. // Международная конференция «Квантовая информатика – 2021», Россия, г. Москва, 30 марта – 4 апреля 2021г.
29. Katamadze, K.G.Super resolution of two point sources by means of spatial mode transformation and photon statistics analysis / Katamadze K.G., Bantysh B.I., Akatiev D.O., Borshchevskaya N.A., Kovlakov E.V., Bogdanov Yu. I., Kulik S. P. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q2-03. Р.74
30. Krivelevich, S.Tristate Transistors. Base Parameters and Impurities Distribution // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-04. P. 14.
31. Kudrya, V.P.Beam power absolute measurements using calorimetric methods //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-34. Р.115. DOI: 10.29003/m2433.ICMNE-2021
32. Kudryavtsev, S.E.Effect of electrodes material on the I-V-curve and switching of memristors on the base of electroformed open metal-SiO2-metal sandwich structure / Kudryavtsev, S.E., V.M.Mordvintsev, V.V.Naumov, E.S.Gorlachev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-02. P. 83.
33. Kurbatov, S.V.Fabrication technique of 3D all solid-state thin film lithiumion batteries / Kurbatov, S.V., A.S.Rudy, O.V.Morozov, A.S.Mironenko, V.V.Naumov // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 71-73.
34. Kurkin, A.Some properties of maximal trace measure of quantum computer error rate / Kurkin, A.,  L.E. Fedichkin // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q2-06. Р.77.
35. Kuzmenko, V.Optimization of deep silicon plasma etching process for microstructures fabrication / V.Kuzmenko, A.Miakonkikh, K.Rudenko // Saint Petersburg OPEN 2021. 8th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures May 25-28, 2021, Saint Petersburg, Russia.
36. Kuzmenko, V.O.Optimization of OxiEtch process using time-resolved optical emission spectroscopy / Kuzmenko V.O., A.V. Miakonkikh, S. Kolar, K.V. Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-25. Р.187.
37. Kuzmenko, V.O.Study of inductively coupled plasma of fluorobromocarbons by Langmuir probe and optical emission spectroscopy / Kuzmenko, V.O., A.V.Miakonkikh, K.V.Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-08. Р.125.
38. Levin, A.Collective qubits on double dots with Coulomb interaction / Levin, A., L.Fedichkin, V.Vyurkov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q2-02. Р.73.  – https://doi.org/10.29003/m2433.ICMNE-2021
39. Levin, A.Collective qubits on double quantum dots with Coulomb interaction / A. Levin, L. Fedichkin, Vyurkov, V. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. q2-02. Р.73. DOI: 10.29003/m2433.ICMNE-2021
40. Lomov, A.Aluminum doped thermomigrated silicon channels for high voltage solar cell: structure and electrical properties / Lomov, A., B.Seredin, S.Martyushov, I.Gavrus // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O2-07. Р.59
41. Makhviladze, T.M.Towards the problem of IC reliability: instability of the shape of the boundary of adjoining conductive films under the action of electric current and mechanical stresses. / Makhviladze, T.M. , M.E. Sarychev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-28. Р.38.   DOI: 10.29003/m2433.ICMNE-2021
42. Makoviychuk, M.I. Fundamental problems of connection between magnetic configurations and scales of curved nanostructures in solids / Makoviychuk, M.I., Prokaznikov A.V., Paporkov V.A. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.75 – 77.
43. Melnikov, A.AI for Scientific Discoveries / International conference “Free will, consciousness, cognition (FWCC): interdisciplinary research in philosophy, AI, neuroscience, physics”, – June 3, 2021. School of Advanced Studies University of Tyumen. – приглашенный доклад.
44. Melnikov, A.A.Graph neural networks for quantum walks analysis / Melnikov, A.A., A.P.Deshpande, L.E.Fedichkin.  // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “”Quantum Informatics””. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-31. Р.193.
45. Miakonkikh, A.Application of C2F4Br2 plasma to low damage etching of nanoporous low-k dielectric / A. Miakonkikh, A.Rezvanov, A.Vishnevsky, A.Orlov, K.Rudenko // Micro and Nano Engineering Conference, Turin, Italy, September 20th – 23rd, 2021.
46. Miakonkikh, A.C2F4Br2 plasma etching of nanoporous low-k dielectrics / Miakonkikh, A., V.Kuzmenko, A.Vishnevsky, A. Rezvanov, A.Orlov, K.Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-09. Р.126.  
47. Miakonkikh, A.Electron beam lithography on the surface with 3D relief / Miakonkikh, A.,  ATatarintsev, K.Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-08. Р.18.
48. Miakonkikh, A.Investigation of cryogenic atomic-layer etching for nanoporous dielectrics with low dielectric constant / Miakonkikh, A., V. Kuzmenko // Micro and Nano Engineering Conference, Turin, Italy, September 20th – 23rd, 2021.
49. Miakonkikh, A.Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices / Miakonkikh, A., A. Shishlyannikov, A. Tatarintsev, V. Kuzmenko, K. Rudenko, E. Gornev //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-07. Р.17.
50. Morozov O.V.Fabrication of Si structures with extremely angled sidewalls by the modified Bosch process in a controlled manner / Morozov O.V., S.V.Kurbatov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-20. P. 137.
51. Mozhaev, P.B.Re-orientation of graphoepitaxial fluorite films towards small-index crystallographic planes / Mozhaev, P.B., Bdikin, I.K., Hansen, J.B., Jacobsen, C.S. //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O2-16. Р.68 DOI: 10.29003/m2433.ICMNE-2021.  ISBN: 978-5-317-06675-8
52. Mozhaev, P.B.Re-orientation of tilted-axes graphoepitaxial fluorite films towards small-index crystallographic planes / Mozhaev, P.B., Mozhaeva, J.E., Bdikin, I.K., Khoryushin, A.V., Hansen, J.B., Jacobsen, C.S. //  4th International Conference on Nanomaterials Science and Mechanical Engineering, July 6-9, 2021, University of Aveiro, Portugal. Вook of abstracts. Р. 56. ISBN: 978-972-789-698-1
53. Ovcharov, V.Induced bistability effect in the thermal reactor elements for a bistable mode of heat treatment of silicon wafers / Ovcharov, V., V. Prigara // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-30. P. 192.
54. Permiakova, O.Repetitive nonlinear behaviour during RESET process in bipolar resistive switching of Al2O3/HfO2/TaOXNY stack / Permiakova, O., A. Rogozhin, E. Smirnova, K. Rudenko //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-12. Р.22.
55. Pestova, A.N.Four-point probe stand for magnetoresistance measurement of unpatterned wafers / Pestova, A.N., O.S.Trushin // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 478-479.
56. Popov, V.P.Multilayer semiconductor-dielectric nanostructures as the base for neuromorphic, photonic, and RF ICs. / Popov, V.P., M.S. Tarkov, I.E. Tyschenko, K.V. Rudenko, A.V. Miakonkikh //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. L2-02. Р.50.
57. Rezvanov, A.A.Methylated porous low-k materials: critical properties and plasma resistance / Rezvanov, A.A., A.V. Miakonkikh, A.S. Vishnevskiy, D.S. Seregin, K.A. Vorotilov, K.V. Rudenko, M.R. Baklanov  // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-24. Р.34.
58. Rogozhin, A.Cobalt for advanced interconnects / Rogozhin A.,  A.Miakonkikh, E.Severov, K.Rudenko // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-27. Р.37
59. Romanova, A.V.Broadband biphoton source for quantum optical coherence tomography / Romanova A.V., Pashchenko A.V., Katamadze K.G., Kulik S.P. //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-34. Р.196
60. Romanova, A.V.Reconstructing linear-optical integrated circuits parameters through measurements of correlation functions of thermal fields / Romanova A.V., Avosopiants G.V., Katamadze K.G., Bogdanov Yu.I., Kulik S.P. // 4th International School on Quantum Technologies, Вороново, Москва, Россия, Россия, 9-12 ноября 2021.
61. Rubaev, V.Aharonov-Bohm effect as a hylic phenomenon./ V. Rubaev, L.Fedichkin. //   Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-05. Р. 122.
62. Rudenko, K.V.Carboxide insulating layers with implanted molecular CO+ ions in silicon and SOI structures / Rudenko, K.V. , S.G. Simakin, S.M. Tarkov, A.K. Gutakovsky, V.I. Vdovin, V.A. Antonov, F.V. Tikhonenko, V.P. Popov // XXV International Conference on Ion-Surface Interactions, 23–27 August 2021 Yaroslavl, Russia. ISSN 2308-6289. Т.2. С.47–50.
63. Rudenko, M.K.Numerical study of aperture shape effects in deep cryogenic etching of silicon / M.K.Rudenko, A.V.Miakonkikh, V.F.Lukichev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-28. Р.190
64. Rudy, A.S.Dynamics of trenches formation by moving ribbon ion beam / Rudy, A.S., A.N. Kulikov, V.I. Bacurin, E.A. Kozlov //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-26. P. 188.
65. Safronenkov, D.A.Measurement of the normalized second-order correlation function for by photon fields by analog detectors / Safronenkov D.A., Borshchevskaya N.A., Novikova T.I., Katamadze K.G., Kuznetsov K.A., Kitaeva G.Kh. // 4th International School on Quantum Technologies, Вороново, Москва, Россия, Россия, 9-12 ноября 2021.
66. Savelev, D.The scalable production of high-quality nanographite by organic radical-assisted electrochemical exfoliation / Savelev, D., Е.Grushevski, N.Savinski, M.Soloviev, V.Turov, V.Krenev // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 482-483.
67. Selyukov, R.Influence of low-energy Ar ion bombardment on the texture and resistivity of Ti films / Selyukov R., M. Izyumov, V. Naumov, L. Mazaletskiy // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-13. P. 175.
68. Semenikhin, I.Power enhancement of THz generation based on transit-time diodes with varying injection / Semenikhin, I. , N.Simonov, A.V.Borzdov, V.M. orzdov, V.Vyurkov, K.Rudenko, V.Lukichev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O2-12. Р.64.
69. Semenikhin, I.A.Improving the convergence of numerical methods for solving Maxwell’s equations by processing edge singularities of the electromagnetic field.// Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O2-09. Р.61.
70. Serov, D.A.Development of nanoantenna array technology for switching in 3-D integrated circuits / Serov, D.A., Khorin I.A., Pershina H.V., Aliev A.M. // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-26. Р.107.
71. Shlepakov, P.S.FEM simulation of AlN-based MEMS energy harvester / Shlepakov P.S., I.V.Uvarov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P1-22. P. 103.
72. Shlepakov, P.S.Design and simulation of the compact MEMS energy harvester based on aluminium nitride / Shlepakov, P.S., I.V.Uvarov //  Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 500-501.
73. Sidorov, F.Comprehensive simulation of thermally amplified e-beam lithography / Sidorov, F., A. Rogozhin, E. Zhikharev // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O1-06. Р.16.
74. Simonov, N.Design of a distributed compensation of a narrow gap capacitance for a THz transit-time generator / Simonov, N., V.Vyurkov, K.Rudenko, V.Lukichev //  Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O2-10. Р.62.
75. Smirnova, E.Development and characterization of processes for atomic layer deposition of ruthenium films / Smirnova, E., V. Kuzmenko, A. Miakonkikh, A. Rogozhin  // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021.
76. Smirnova, E.A.Physical properties of ruthenium films grown by atomic layer deposition / E.A. Smirnova, A.V. Miakonkikh, A.E. Rogozhin, K.V. Rudenko // XXV International Conference on Ion-Surface Interactions, 23–27 August 2021 Yaroslavl, Russia. ISSN 2308-6289. Т.3. С.129–131.
77. Smirnova, E.A.Properties of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited Ruthenium Thin Films from Ru(EtCp)2 / Smirnova, E.A.,A.V. Miakonkikh, A.E. Rogozhin, K.V. Rudenko // 8 th International School and Conference on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures, May 25-28, 2021, Saint Petersburg, Russia (Diploma for best presentation).
78. Snegirev, N.Resonant properties and Debye temperature of canted antiferromagnet FеBO3. / Snegirev, N., I. Lyubutin, S. Starchikov, M. Chuev, E. Smirnova, S. Yagupov, M. Strugatsky, O. Alekseeva // IBCM 2021 — IV International Baltic Conference on Magnetism,  09 Aug-02 Sept, 2021. Russia.
79. Tikhonenko, F.Thermal Stability of Ferroelectricity in Hafnia Zirconia-Alumina Buried Oxide Stacks / Tikhonenko F., V.Antonov, V.Popov, A.Miakonkikh, K.Rudenko // EuroSOI-ULIS, Caen, France, 01-03 September, 2021. Р.110.
80. Trushin, O.S.Competing mechanisms of strain relaxation in Ge/Si(001) heteroepitaxy // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O2-15. P.67.
81. Trushin, O.S.Development of the four probes method for express diagnostics of unpatterned spin tunnel structures / Trushin O.S. , A.N.Pestova // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-19. P. 136.
82. Trushin, O.S.Nanostructuring at oblique angle deposition / Trushin, O.S., A.A.Popov, A.N.Pestova, L.A.Mazaletsky, A.A.Akulov, A.A.Lomov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021.2021. O3-18. P.135. ISBN 978-5-317-06675-8 , DOI: 10.29003/m2433
83. Tsukanov, A.V.Diamond photonic molecule with mechanical tuning of the spectrum by a mobile microdisk / Tsukanov A.V., Kateev I.Yu., Rogachev M.S. // Международная научная конференция «Quantum Informatics — 2021». 30 марта – 4 апреля 2021, Москва, МГУ им. М.В. Ломоносова.
84. Uvarov, I.V.A fast membrane actuator in the current stabilization regime / Uvarov I.V., A.E.Melenev, V.B.Svetovoy // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-24. P. 141.
85. Uvarov, I.V.A seesaw-type MEMS switch with enhanced contact force: the first results / Uvarov, I.V., N.V.Marukhin // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 498-499.
86. Uvarov, I.V.Reliability issues for electrostatically actuated MEMS switch / Uvarov I.V., M.O.Izyumov, I.I.Amirov // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. O3-23. P. 140.
87. Vasilev, S.V.Processing of electron diffraction data on a transmission electron microscope / Vasilev, S V., I.S.Fattakhov // Saint Petersburg OPEN 2021, 25-28 May 2021. Book of abstracts.  P. 591-592.
88. Zakharov, D.M.Structural and magnetic properties of nanostructured Co films fabricated by oblique angle deposition / Zakharov, D.M., A.A.Lomov, O.S.Trushin, L.A.Fomin // Book of Abstracts. ICMNE – 2021  with the Extended Session “Quantum Informatics”. October 4-8, Moscow-Zvenigorod, 2021. P2-17. P.179. ISBN 978-5-317-06675-8 , DOI: 10.29003/m2433.ICMNE-2021
89. Амиров, И.И.Влияние ионно-плазменной обработки на электроповодность пленок вольфрама нанометровой толщины / Амиров, И.И., Р.В. Селюков, В.В. Наумов // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289  Том 3. С. 52-55.
90. Амиров, И.И.Формирование металлических наносетчатых и нанопроволочных структур с использованием ионно-плазменных процессов / Амиров, И.И., Изюмов М.О., Шумилов А.С. // XIII Международная научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий». Казань, 02-04 ноября 2021г.
91. Амиров, И.И.Формирование микро- и наноструктур с использованием плазменных процессов травления, осаждения и модификации поверхности // II-я Международная конф. «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 01-04 декабря 2021г.
92. Амиров, И.И.Эффкты формирования высокоаспктных Si структур при травлении в хлорсодержащей плазме / Амиров И.И., Изюмов М.О., Мазалецкий Л.А. // Сб.трудов IX Международного Симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. 13-17 сентября 2021. Иваново. С.11.
93. Бабушкин, А.С.Исследование методом молекулярной динамики формирования механических напряжений в поликристаллических пленках Cr, а также влияния бомбардировки ионами Ar во время и после осаждения / Бабушкин, А.С., А.Н.Куприянов // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 2. С. 223-226.
94. Бачурин, В.И.Исследование развития топографии на поверхности кремния, облучаемой ионным пучком галлия / Бачурин В.И., Л.А. Мазалецкий, Д.Э. Пухов, М.А. Смирнова, А.Б. Чурилов, А.С. Рудый // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 1. С. 74-77.
95. Бачурин, В.И.Особенности формирования волнообразного рельефа на поверхности кремния при облучении ионным пучком галлия / Бачурин В.И., Л.А. Мазалецкий, Д.Э. Пухов, М.А. Смирнова, А.Б. Чурилов, А.С. Рудый //  Тез.докл. 50-й международной Тулиновской конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (25 мая по 27 мая 2021, МГУ им.М.В.Ломоносова) / Под ред. Проф. Н.Г. Чеченина. – М.: «КДУ», «Университетская книга», 2021. С. 77. ISBN 978-5-91304-958-2. Doi: 10.31453/kelu.ru91304.0147
96. Белов, Я.Д.Влияние ионно-плазменной обработки на морфологию поверхности эпитаксиальных пленок теллурида – свинца-олова / Белов Я.Д., С.П. Зимин, И.И. Амиров, В.В. Наумов //  II-я Международная конф. «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 01-04 декабря 2021г.
97. Бучин, Э.Ю.Ионный синтез КНИ структур со свинцово-силикатным изолятором / Бучин, Э.Ю., Ю.И. Денисенко // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 2. С. 77-80.
98. Гайдукасов, Р.А.Исследование нанопористых диэлектриков с помощью эллипсометрической порометрии / Гайдукасов Р.А., Мяконьких А.В. //  64-ая Всероссийская научная конференция МФТИ, 29 ноября – 3 декабря 2021.
99. Грушевский, Е.А.Формирование наноразмерных матриц анодированного алюминия оксида с использованием метода электролитно-плазменной обработки материалов / Грушевский, Е.А., Н.Г. Савинский, В.И. Бачурин, Л.А. Мазалецкий // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 3. С. 93-96.
100. Зимин, С.П.Влияние наноструктурирования поверхности кристаллов сульфида свинца в плазме на спектры оптического отражения / Зимин, С.П., Колесников Н.Н., Тиванов М.С., Трофимова А.В., Амиров И.И., Наумов В.В., Горлачев Е.С. // Физика конденсированных состояний: сб. тезисов II Международной конференции (31 мая – 4 июня 2021 года, Черноголовка) / под ред. Б.Б. Страумала. – Черноголовка, 2021. – C. 181
101. Зимин, С.П.Ионно-плазменная модификация поверхности пленок теллурида свинца-олова при малых энергиях ионов / Зимин С.П., И.И.Амиров, В.В.Наумов, Я.Д.Белов, E.Abramof, P.H.O. Rappl // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 3. С. 139-141.
102. Изюмов, М. О.Исследование теплообмена высокоплотной плазмы низкого давления с кремниевыми пластинами методом лазерной интерферометрии // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 3. С. 97-100.
103. Катеев, И.Ю.Исследование взаимодействующих оптических мод в микрорезонаторе на основе одномерного фотонного кристалла / Катеев И.Ю., Десятов А.Ю. // 64-ая Всероссийская научная конференция МФТИ, Москва-Долгопрудный-Жуковский, 29 ноября – 3 декабря 2021.
104. Кривелевич, С.А. Квазистационарные распределения компонентов в системах с диффузией и химическими реакциями при наличии подвижных границ раздела // Тез.докладов XXXIII Симпозиума «Современная химическая физика» (24 сентября – 4 октября 2021 г., Туапсе). – М.: «Парк – медиа», 2021. – С. 103.
105. Кузнецов, К.А.Абсолютная квантовая фотометрия / Кузнецов К.А., Сафроненков Д.А., Прудковский П.А., Леонтьев А.А., Корниенко В.В., Новикова Т.И., Катамадзе К.Г., Борщевская Н.А., Китаева Г.Х. // Российский форум «Микроэлектроника 2021», Алушта, Россия, 3-9 октября 2021.
106. Кузьменко, В.Анизотропное травление кремния в циклическом процессе с кислородной пассивацией: оптимизация селективности / В.О. Кузьменко, А.В. Мяконьких, С.Н. Аверкин, К.В. Руденко // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Т.3. С.105 –107.
107. Кузьменко, В.О.Атомно-слоевое травление оксида алюминия с использованием осаждения полимерной пленки и бомбардировки ионами аргона из плазмы / Кузьменко, В.О., А. В. Мяконьких // II Международная конференция “”Газоразрядная плазма и синтез наноструктур”” Россия, Казань, КНИТУ-КАИ 01 – 04 декабря 2021.
108. Кузьменко, В.О.Диагностика индуктивно-связанной плазмы фторбромуглеродных газов / Кузьменко В.О., Мяконьких А.В., Руденко К.В. // Сб.трудов IX Международного Симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. 13-17 сентября 2021. Иваново, Россия. С.82. ISBN 978-5-904580-91-9
109. Курбатов, С.В.Изготовление микроструктурированной кремниевой подложки для 3D твердотельных литий ионных аккумуляторов / Курбатов, С.В., А.С. Рудый, О.В. Морозов // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 3. С. 29-32.
110. Ломов, А.А.Особенности диагностики термомиграционных p-каналов Si(Al) методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии в геометрии Брэгга / Ломов, А.А., Б.М. Середин, В.И. Пунегов, A.Ю. Белов, С.Ю. Мартюшов, И.В. Гаврус // Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике. КЭЛТ-2021 : тез. докл. объединен. конф., г. Черноголовка, 13-17 сент. 2021 г. / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН – Москва : ФУТУРИС ПРИНТ, 2021. – С. 261-263 / ISBN 978-5-6044546-4-0
111. Маковийчук, М.И.Адсорбционно-десорбционная фликкер-шумовая спектроскопия // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.72 – 74.
112. Маковийчук, М.И.Диссипативные структуры пористого кремния / Маковийчук, М.И., Бучин Э.Ю. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.64 – 65.
113. Маковийчук, М.И.Информативность метода низкочастотно-шумовой спектроскопии. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.66 – 68.
114. Маковийчук, М.И.Использование процессов термомиграции в технологии МЭМС / Маковийчук, М.И.,  Бучин Э.Ю. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.65 – 66.
115. Маковийчук, М.И.Облучение и адсорбционная способность поверхности: исследование методом фликкер-шумовой спектроскопии. // Тезисы докладов XXXIII Симпозиума «Современная химическая физика» (24 сентября – 4 октября 2021 г., Туапсе). – М.: «Парк – медиа», 2021. – С. 113.
116. Маковийчук, М.И.Фликкер-шумовая спектроскопия термодефектов в кремнии. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.69 – 71.
117. Маковийчук, М.И.Эффект магнитомиграции в металлических пленках / Маковийчук, М.И., Бучин Э.Ю.  // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.63 – 64.
118. Мелесов, Н.С.Исследование эволюции профилей дефектов в процессе термического отжига кремния, аморфизованного имплантацией ионов германия / Мелесов, Н.С., Е.О. Паршин // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 2. С. 133-136.
119. Мелесов, Н.С.Определение профиля концентрации кислорода в тонкоплёночных Si?O?Al-структурах методом ядерного обратного рассеяния (ЯОР) / Мелесов, Н.С., Е.О. Паршин // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 2. С. 115-118.
120. Мяконьких, А.В.Плазменное травление пористых диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью / Мяконьких А.В., Кузьменко В.О., Руденко К.В. // Сб.трудов IX Международного Симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. 13-17 сентября 2021. Иваново, Россия. С. 47. ISBN 978-5-904580-91-9
121. Мяконьких, А.В.Получение микроструктурированного “черного кремния” методами плазменного травления / А.В.Мяконьких, В.О.Кузьменко, Е.А.Смирнова, К.В.Руденко // II Международная конференция “Газоразрядная плазма и синтез наноструктур” КНИТУ-КАИ, 01 – 04 декабря 2021, Россия, Казань.
122. Поляков, С.Н.CVD монокристаллы алмаза высокого структурного совершенства для рентгеновской оптики / Поляков, С.Н., А.А.Ломов, И.Л.Шульпина, С.Ю.Мартюшов, В.Н.Денисов, В.Д.Бланк // Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике. КЭЛТ-2021 : тез. докл. объединен. конф., г. Черноголовка, 13-17 сент. 2021 г. / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН – Москва: ФУТУРИС ПРИНТ, 2021. – С. 268-270 / ISBN 978-5-6044546-4-0
123. Проказников, А.В.Особенности магнитооптического отклика наноструктур различной формы и размеров / Проказников А.В., Папорков В.А., Чириков В.А. // XXIV Межд.науч.конф. “Новое в Магнетизме и Магнитных Материалах”, НМММ-XXIV, 1 – 8 Июл 2021,  Москва. С.11-66 –11-69.
124. Проказников, А.В.Особенности магнитооптического отклика наноструктур, сформированных в различных режимах ионной обработки поверхности / Проказников, А.В., В.А. Папорков, В.А. Чириков // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 2. С. 263-266.
125. Руденко, К.В.Применение плазмы для изготовления приборов наноэлектроники: текущие достижения и технологии будущего / Руденко, К.В., А.В. Мяконьких // Сб.трудов IX Международного Симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. 13-17 сентября 2021. Иваново, Россия. С.7. ISBN 978-5-904580-91-9
126. Савельев, Д.Н.Электрофоретическое осаждение графено – подобных пленок и исследование их методами структурного анализа / Савельев, Д.Н., Грушевский Е.А., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Савинский Н.Г., Бачурин В.И., Чурилов А.Б. // Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 3. С. 115-118.
127. Селюков, Р.В.Изменения текстуры пленок Ti при ионно-плазменной обработке / Селюков, Р.В., М.О. Изюмов, В.В. Наумов, Л.А. Мазалецкий //Труды XXV международной конференции ВИП-2021. Москва. (23-27 августа 2021 г., Ярославль, Россия). ISSN 2308-6289. Том 2. С. 267-270.
128. Середин, Б.М.Электрические свойства кремниевых высоковольтных фотопреобразователей на основе сквозных термомиграционных каналов / Середин, Б.М., А.А.Ломов, А.Н.Заиченко, И.В.Гаврус, А.С.Пащенко, А.В.Малибашев, Л.В.Рубан // Физика.СПб : тез. докл. Междунар. конф., г. Санкт-Петербург, 18-22 окт. 2021 г. / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе. – Санкт-Петербург : Политех-Пресс, 2021. – С. 456-458. ISBN 978-5-7422-7745-2.
129. Симонов Н.А.Сравнение модели пятен с другими моделями качественных данных и размытых объектов // Сборник научных трудов X-й Международной научно-технической конференции Интегрированные модели и мягкие вычисления в искусственном интеллекте (ИММВ-2021). Коломна, 17-20 мая 2021 г. В 2-х томах. Т1. – Смоленск: Универсум, 2021, С. 337 – 347. ISBN: 978-5-91412-469-1
130. Симонов, Н.А.Компенсация емкости щели для создания генератора ТГц диапазона на пролетных каналах с переменной инжекцией / Симонов Н.А., Вьюрков В.В., Руденко К.В., Лукичев В.Ф. // 31-я Межд.конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» CriMiCo’2021.  5-11 сентября, 2021., Севастополь, Россия. Вып. 3. С. 259 . ISSN 2619-1628 . РИНЦ: 47234912
131. Симонов, Н.А.Модель пятен как основа для качественных рассуждений и гранулярных вычислений // XIX Национальная конференция по искусственному интеллекту с международным участием (КИИ-2021), 11-16 октября 2021 г., Таганрог. С. 267-284. ISBN: 978-5-9275-3884-3
132. Смирнова Е.A.Плазмо-стимулированное атомно-слоевое осаждение рутения и оксида рутения / Смирнова Е.A., Мяконьких А.В., Рогожин А.Е., Руденко К.В. //Сб.трудов IX Международного Симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. 13-17 сентября 2021. Иваново, Россия. С. 55.  ISBN 978-5-904580-91-9
133. Снегирёв, Н.И.Магнитные свойства наноразмерных частиц FeBO3, полученных методом механического помола / Снегирёв, Н.И., И.С.Любутин, С.В.Ягупов, С.С.Старчиков, М.А.Чуев, Р.Д.Светогоров, О.М.Жигалина, Д.Н.Хмеленин, М.Б.Стругацкий // XXIV Межд.науч.конф. “Новое в Магнетизме и Магнитных Материалах”, НМММ-XXIV, 1 – 8 Июл 2021,  Москва.
134. Цуканов, А.В.Оценка влияния мощности континуума электронных состояний на точность выполнения однокубитных операций / Цуканов А.В., Покхарел П.К. // 64-ая Всероссийская научная конференция МФТИ с международным участием, Москва-Долгопрудный-Жуковский, 29 ноября – 3 декабря 2021.
135. Цуканов, А.В.Прохождение фотонов через квантовую оптическую структуру, состоящую из четырех связанных микрорезонаторов / Цуканов А.В., Катеев И.Ю., Рогачев М.С. // Международная научно‐техническая конференция «Современная элементная база радиоэлектроники и её применение» 5-я конференция им.О.В. Лосева. 21-22 октября 2021 г., Нижний Новгород.
136. Шлепаков, П.С.Расчет рабочих характеристик вибрационного преобразователя энергии на основе нитрида алюминия / Шлепаков П.С., И.В.Уваров, С.П.Зимин // 74я всероссийская научно-техническая конференция студентов, магистрантов и аспирантов высших учебных заведений с международным участием. 21 апреля 2021г., Ярославль. Сб.мат.конф. С. 323-326.
137. Filippov, S.N.Generalized quantum erasure channel and superadditivity of coherent information.//  41th International Conference on Quantum Probability and Related Topics», March 28 – April 1, 2021, Dubai, UAE (online).
138. Filippov, S.N.Information properties of trace decreasing quantum operations // Int.conf. “Mathematical Physics, Dynamical Systems and Infinite-Dimensional Analysis – 2021″», June 30 – July 9, 2021, Dolgoprudny, Russia (online). –  Сайт: http://www.mathnet.ru/eng/conf1918
139. Filippov, S.N.Trace decreasing dynamical maps: Entanglement dynamics and quantum communication rate // Two-Day Workshop to celebrate the 60th anniversary of the paper on dynamical maps by E. C. G. Sudarshan, P. M. Mathews and J. Rau», October 14-15, 2021, National Institute for Theoretical and Computational Sciences (South Africa) and Institute of Theoretical Physics at Jagiellonian University in Krakow (Poland), online. –  Приглашенный доклад  Сайт: https://nithecs.ac.za/workshop-sudarshan/
140. Katamadze, K.G.Linear Optical Circuits Characterization with Thermal States of Light / Katamadze K.G., Avosopiants, G.V., Romanova A.V., Bogdanov Yu.I., Kulik S.P. // The 29th annual International Laser Physics Workshop (LPHYS’21), online, 19-23 июля 2021.
141. Seredin, B.Gallium doped silicon through channels processed by thermomigration / Seredin, B., А. Lomov, S. Martjushov, A. Malibashev, V. Popov // 22nd American Conference on Crystal Growth and Epitaxy (ACCGE-22) and 20th US Workshop on Organometallic Vapor Phase Epitaxy (OMVPE-20), august 2-4 2021: Abstract Book Virtual Conference. P.51 (2021). (https://3ccecee3-6d4f-408f-b113-287d093ef663.filesusr.com/ugd/35f934_7884fdbd30c54e508372ff668d1b7392.pdf).
142. Мakhviladze,T.M.Unstable interfaces in nano- and microelectronics (non-equilibrium statistical methods of description) //  International web-Conference «16TH GRANADA SEMINAR: NEW FRONTIERS IN NONEQUILIBRIUM STATISTICAL PHYSICS (From fundamentals, fluctuations and hydrodynamics to biology and quantum nonequilibrium). June 7-17, 2021»; oral presentation.
143. Филиппов, С.Н.Ядро уравнения Накажимы–Цванцига для открытой квантовой системы, взаимодействующей с коррелированным окружением в модели столкновений  // Межд.конф.”Теория функций, теория операторов и квантовая теория информации”, 4-7 октября 2021 г., г. Уфа, Россия.
144. Чириков, В.А.Управление положением магнитного вихря в наноразмерных элементах магнитной памяти / Чириков, В.А., Проказников А.В., Папорков В.А. //  Материалы XII конференции “Нанотехнологического общества России”, Москва, 9-10 декабря 2021 г. ISBN 2020: 978_5_9500377_7_1

Патенты:

1. Заявка на патент РФ №2021115624, приоритет от 01.06.2021 – Способ и устройство для повышения латеральной однородности и плотности низкотемпературной  плазмы в широкоапертурных технологических реакторах микроэлектроники. Авт.: Аверкин С.Н., Антипов А.П., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Рылов А.А., Семин Ю.Ф.