Установка электронной литографии Raith-150 Растровый электронный микроскоп SmartSEMSupra 55VP Установка химической подготовки кремниевых пластин WBS –1600 Sawatec (Германия) Установка нанесения, термообработки и проявления фоторезиста – WBS –1600 Sawatec (Германия) 2021-12-11
