Патент на изобретение RU 2796239 C9
«Способ анизотропного плазменного травления кремниевых микроструктур в циклическом процессе нитридизация-травление»
Аверкин С.Н., Кузьменко В.О., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Семин Ю.Ф.
Приоритет от 17 ноября 2022 г.
Зарегистрировано в Госреестре РФ 18.05.2023