Авторы: И.И. Амиров, В.В. Наумов
Разработана технология и изготовлен чувствительный элемент микродатчика направления звуковой волны (МДНЗВ), предназначенный для определения направления источника звука. Он применяется в промышленности, военных разработках, системах безопасности и других приложениях. Датчик изготовлен с использованием технологии микросистемной техники на основе процесса глубокого травления кремния. Основой чувствительного элемента микродатчика являются вывешенные платиновые нити толщиной менее 100 нм.
Разработаны конструкции чувствительного элемента МДНЗВ с двумя и тремя Pt нитями c расстояниями между ними 50, 100 и 150 мкм, длина нитей 1000 и 1400 мкм, в том числе совмещенных датчиков для определения направления звука по двум ортогональным направлениям. Изготовлены протипы датчиков МДНЗВ и измерены их статические характеристики.
Разработка проводилась в рамках договора с АО «НИИ «Вектор» (С-Петербург).
