2006

Конференции:

1. Орликовский, А.А. Суб-100 нм кремниевая микроэлектроника: перспективы и проблемы / А.А.Орликовский // Труды X Ежегодного Симпозиума “Нанофизика и наноэлектроника” (Нижний Новгород, 13-17 марта 2006г.). – Институт физики микроструктур РАН. – Нижний Новгород, 2006. – Ч. 1. – C.51-54.
2. Lukichev, V.F. Advanced plasma sources for microelectronic processing / V.F.Lukichev // 11-th EMEA Academic Forum. – Dublin, Ireland, May 30 – June 1, 2006.
3. Rudenko, K. Advanced diagnostics and real time monitoring of plasma processing for nanoelectronics / K.Rudenko, V.Lukichev, A.Orlikovsky // Workshop on Silicon dry processing for nanoelectronics and micromechanics: growth, deposition and etching. – Aachen, Germany, Sept. 2006.
4. Vyurkov, V.V. Quantum methods for modeling of nanotransistors / V.V.Vyurkov , V.F.Lukichev, A.A.Orlikovsky // NATO SOI Symposium. – Crymea, Ukrain, Oct. 2006.
5. Богданов, А.Ю. Методы исследования запутанности квантовых информационных систем / А.Ю.Богданов, Ю.И.Богданов, К.А.Валиев // Труды Х международной научно-технической конференции “Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники”. Часть 2. – Дивноморское. Россия. 24–29 сентября 2006. С.15-17.