- С. Н. Аверкин, Т. И. Аверкина, К. А. Валиев, А. С. Кабановский, В. А. Наумов, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, А. А. Рылов, Я. Н. Суханов, А. В. Фадеев. Плазменно-иммерсионный имплантер для формирования супермелкозалегающих p-n переходов. Труды Всероссийской конф. «Микро- и нано- электроника 2001», Звенигород, 2001, т. 1, с О1-5.
- К. В. Руденко, А. А. Орликовский. Проблемы мониторинга плазменных технологических процессов: диагностика плазмы и поверхности. Труды Всероссийской конф. «Микро- и нано- электроника 2001», Звенигород, 2001, т. 1, с О3-6.
- А. А. Орликовский, К. В. Руденко. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: современное состояние и ближайшие перспективы. Часть I. Микроэлектроника, т.30, № 2, с.85-105 (2001).
- А. А. Орликовский, К .В. Руденко, Я. Н. Суханов. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II. Микроэлектроника, т.30, № 3, с. 163-182 (2001).
- А. А. Орликовский, К. В. Руденко. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III. Микроэлектроника, т.30, № 5, с.323-344 (2001).
- А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV. Микроэлектроника, т.30, № 6 (2001).
- А. П. Ершов, В. Ф. Лукичев, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов. Влияние электрического поля в плазме на электронную ветвь ВАХ Ленгмюровского зонда: моделирование методом Монте-Карло. Труды Всероссийской конф. «Микро- и нано- электроника 2001», Звенигород, 2001, т. 2, с Р3-27.
- Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук. Осаждение алмазоподобных пленок из пучков ионов углеродсодержащих веществ. Труды VI Международной конференции «Пленки и покрытия», Санкт – Петербург, 2001г., с. 176 ?180;
- Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук. Применение многопучкового источника ионов в ионно – лучевой технологии осаждения и травления тонких пленок. Труды IV Международного симпозиума «Вакуумные технологии и оборудование», Харьков, 2001г.;
- Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, В. А. Кальнов, П. А. Аверичкин. Синтез тонких пленок из пучка ионов кремнийорганических соединений. Тезисы Всероссийской научно – технической конференции «Микро – и наноэлектроника – 2001», Звенигород, 2001г., Р1 – 43.
- А. Г. Васильев, А. А. Орликовский, И. А. Хорин. Кинетика фазообразования тонких пленок Ti-Co-Si-N на Si и SiO2, Пленки и покрытия’ 2001, С.-Петербург, 2001, 299-306
- А. Г. Васильев, А. А. Орликовский, И. А. Хорин. Реакционно-диффузионные процессы взаимодействия сплавов Ti-Co-Si-N и Ti-Co-N с Si при магнетронном сораспылении металлов и кремния на нагретую подложку// Всероссийская научно-техническая конференция МНЭ-2001, Т.2, Р1-19.
- А. Г. Васильев, Р. А. Захаров, В. В. Родатис, А. В. Лобинцов, А. А. Орликовский, И. А. Хорин. Фазообразование в многокомпонентных системах Ti-Co-Si-N и Ti-Co-N при поверхностно-диффузионном механизме формирования тонких пленок на Si и SiO2// Микроэлектроника, 2001, Т.30, № 5, с. 345-352.
- А. Н. Аверкин, А. А. Орликовский, К. В. Руденко. Плазменно-иммерсионная ионная имплантация бора для создания ультрамелких P+-N переходов в кремнии. Труды 3-го Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. Плес, 2002 г., т. 2, с. 360 – 362.
- А. А. Орликовский, К. В. Руденко, А. В. Фадеев. Особенности имплантации бора в кремний из плазмы BF3 в иммерсионном режиме. Тезисы доклада (приняты) на XXX Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС (24-28 февраля 2003 г.).
- А. П. Ершов, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов. Параметры плазмы BF3 в установке плазменно-иммерсионного имплантера. Труды 3-го Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. Плес, 2002 г., т. 2, с. 426 – 427.
- С. Н. Аверкин, А. П. Ершов, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н.Суханов. Зондовая диагностика плазмы ВЧ- и СВЧ- источников в иммерсионном ионном имплантере. Тезисы доклада (приняты) на XXX Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС (24-28 февраля 2003 г.).
- К. В. Руденко, Я. Н. Суханов, Н. И. Базаев. Возможности синхронного детектирования эмиссионного сигнала плазмы при мониторинге травления структур SiO2/Si . Микроэлектроника, 2003 (в печати).
- К. А. Валиев, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов, Ю. Ф. Семин. Способ определения момента окончания плазмохимического травления структур SiO2/Si и poly Si/SiO2/Si с малой площадью окон травления. Заявка на изобретение (находится в стадии оформления).
- А. А. Орликовский. Технологические проблемы создания кремниевых нанотранзисторов. Материалы Всероссийской конференции «Кремний-2002», Новосибирск, 2002 (приглашенный доклад).
- К. А. Валиев, А. Д. Кривоспицкий, А. А. Орликовский, Ю. Ф. Семин. Патент РФ №2192069.
- V. V’yurkov, A. Vetrov, and A. Orlikovsky. Measurement of a single electron spin in a solid state quantum computer. Abstracts of the International Scientific Symposium “Quantum Informatics-2002”, Zvenigorod, 1-4 October 2002,O7.
- Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук, Ю. А. Максимов. Кремнийсодержащие углеродные пленки, полученные методом реактивного ионно-лучевого синтеза. Труды ХIII Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике», Харьков, 2002г.
- С. Л. Шевчук. Диссертация на соискание ученой степени к.т.н. «Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок», ФТИАН, Москва, 2002г.
- С. Л. Шевчук. Доклад «Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок». Семинар «Электровакуумная техника и технология», Москва, 2002г.
- Ю. П. Маишев. Доклад «Ионные источники и ионно-лучевая обработка». Семинар «Электровакуумная техника и технология», Москва, 2002г.
- K. V. Rudenko, Ya. N. Sukhanov, N. I. Bazaev. Phase Detection Used in the Optical-Emission Monitoring. Russian Microelectronics, v. 32, no.4, p.214-218.
- К. А. Валиев, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Ю. Ф. Семин, Я. Н. Суханов. Способ контроля момента окончания травления в плазме ВЧ- и СВЧ- разряда в технологии изготовления полупроводниковых приборов и устройство для его осуществления. Заявка на патент РФ №2003104228 от 12.02.2003.
- К. А. Валиев, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Ю. Ф. Семин, Я. Н. Суханов. Способ контроля плазмохимических процессов травления дифференциальной оптической актинометрией и устройство для его осуществления. Заявка на патент РФ №20031142716 от 06.05.2003.
- K. V. Rudenko, A. V. Fadeev, A. A. Orlikovsky, K. A. Valiev. Tomographic reconstruction of space plasma inhomogeneities in wide aperture plasma technology equipment under strong restriction on the points of view. Proc. of International Conf. “Micro- and nanoelectronics”, Zvenigorod, p. P1-49 (2003).
- А. А. Орликовский, К. В. Руденко, А. В. Фадеев. Особенности имплантации бора в кремний из плазмы BF3 в иммерсионном режиме. Труды XXX Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС. М., (2003), с. 220.
- С. Н. Аверкин, А. П. Ершов, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов. Сравнительные характеристики плотной плазмы ВЧ и СВЧ разряда в установке плазменно-иммерсионной ионной имплантации, Микроэлектроника, 2003, том 32, №5, стр. 363-373.
- Ya. N. Sukhanov, A. P. Ershov, K. V. Rudenko and A. A. Orlikovsky. Comparative study of inductively coupled and microwave BF3 plasmas for microelectronic technology applications, Proc. of Int. Conf. ICMNE-2003, Moscow-Zvenigorod, 2003, 02-48.
- C. Н. Аверкин, А. П. Ершов, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов. Зондовая диагностика плазмы ВЧ- и СВЧ- источников в иммерсионном ионном имплантере, Труды ХХХ Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, Звенигород, 2003.
- Y. P. Maishev, S. L. Shevchuk. Reactive ion-beam synthesis of thin films. Proceedings of IV International Conference “Plasma physics and plasma technology”, V.2, Minsk, 2003, pp.483-486.
- К. А. Валиев, Ю. П. Маишев, С. Л. Шевчук. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок непосредственно из пучков ионов. Физическая инженерия поверхности, Т.1, №1, 2003, с.27-33.
- С. Л. Шевчук, Ю. П. Маишев. Алмазоподобные покрытия сферических опор гироскопов, Труды Международной научной конференции “Тонкие пленки и наноструктуры”, Москва, 7-10 сентября, 2004, стр. 149-153.
- S. V. Vassiliev, S. B. Kravtsov, T. T. Basiev, V. A. Sychugov, R. R. Gerke, T. G. Dubrovina, I. U. Usypov, S. L. Shevchuk, Y. P. Maishev. Efficient dielectric diffraction gratings: novel approaches to scaling-up the output of narrowband lasers, Laser Physics, Vol. 14, No.12, 2004, pp. 1-9.
- M. A. Bruk, E. N. Zhikharev, E. I. Grigoriev, A. V. Spirin, V. A. Kalnov and I. E. Kardash. Electron Beam Induced Deposition of Iron Carbon Nanostructures from Iron Dodecacarbonyl Vapour. SPIE. 2004.V.5401. P.305 ? 310.
- Y. P. Maishev, S. L. Shevchuk. Investigation of influence of low energy ion beam parameters on Reactive Ion Beam Synthesis (RIBS) of thin films.
- М. А. Брук, И. А. Волегова, А. И. Бузин, Е. Н. Жихарев, А. В. Спирин, Ю. К. Годовский. Влияние плотности тока на структуру и свойства тонких полимерных пленок, наносимых путем электроннолучевого осаждения из паров тетрафторэтилена. Третья Всероссийская Каргинская конференция «Полимеры-2004». Москва. Январь 2004. Тезисы докладов. Том 1. Стр. 219.
- М. А. Брук, И. А. Волегова, А. И. Бузин, Е. Н. Жихарев, А. В. Спирин, Ю. К. Годовский. Влияние плотности тока на структуру и свойства тонких полимерных пленок, наносимых путем электроннолучевого осаждения из паров тетрафторэтилена. Тезисы докладов XI Всероссийской конференции “Структура и динамика молекулярных систем”. Казань-Москва-Йошкар-Ола-Уфа. Июнь-июль 2004 г.
- М. А. Брук, Е. Н. Жихарев, Е. И. Григорьев, А. В. Спирин, В. А. Кальнов, И. Е. Кардаш. Нанесение наноструктур, содержащих железо и углерод, путем осаждения додекакарбонила железа из паровой фазы, инициированного сфокусированным электронным лучом. Химия высоких энергий. 2004. (В печати).
- М. А. Брук, Е. Н. Жихарев, А. В.Спирин, В. А.Кальнов, А. И.Бузин, И. Е.Кардаш. «Способ нанесения на поверхность твердых тел высокоразрешающего изображения функциональных слоев на основе тонких полимерных пленок». Патент РФ. Решение о выдаче патента на изобретение от 3 августа 2004 г.
- К. А. Валиев, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Ю. Ф. Семин, Я. Н. Суханов. Способ контроля момента окончания травления в плазме ВЧ- и СВЧ- разряда в технологии изготовления полупроводниковых приборов и устройство для его осуществления. Заявка на патент РФ №2003104228 от 12.02.2003. Положительное решение ФИПС.
- К. А. Валиев, А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Ю. Ф. Семин, Я. Н. Суханов. Способ контроля плазмохимических процессов травления дифференциальной оптической актинометрией и устройство для его осуществления. Заявка на патент РФ №20031142716 от 06.05.2003. Положительное решение ФИПС.
- K. V. Rudenko, A. V. Fadeev, A. A. Orlikovsky, K. A. Valiev. Tomographic reconstruction of space plasma inhomogeneities in wide aperture plasma technology equipment under strong restriction on the points of view. Proc. of SPIE, v. 5401, p.79-85 (2004).
- I. A. Horin, A. A. Orlikovsky, A. G. Vasiliev, A. L. Vasiliev. Phases transaormation in Ti(Ta) – Ni(Co) – Si – N systems/ Micro- and Nanoelectronics 2003, edited by Kamil A. Valiev, Alexander A. Orlikovsky, Proceeding of SPIE Vol. 5401 (SPIE, Bellinghan, WA, 2004), P. 110-118.
- А. Г. Васильев, А. Л. Васильев, Р. А. Захаров, А. А. Орликовский, И. А. Хорин, M. Эиндоу. Эволюция структуры Со-N/Ti/Si(100) в процессе реактивного магнетронного распыления кобальта на нагретую Ti/Si(100) подложку// Микроэлектроника, Т. 33 (2004), № 1, С. 1-6.
- А. Г. Васильев, А. Л. Васильев, Р. А. Захаров, А. А. Орликовский, И. А. Хорин, M. Эиндоу. Влияние азота на процессы фазового расслоения в системах Ti-Co-N/CoSix/Si(100) и Ti-Co-Si-N/CoSix/Si(100)// Микроэлектроника, Т. 33 (2004), № 3, С. 147-151.
2021-10-03