Патент на изобретение RU 2691758 C1
«Способ анизотропного плазменного травления кремниевых микроструктур в циклическом двухшаговом процессе окисление-травление»
Авторы: Аверкин С.Н., Антипов А.П., Лукичев В.Ф., Мяконьких А.В., Руденко К.В., Рылов А.А., Семин Ю.Ф.
Приоритет от 17 августа 2018 г.
Зарегистрировано в Госреестре РФ 18.06.2019