Лаборатория технологий электронной и оптической литографии » Татаринцев Андрей Андреевич, к.ф.-м.н., с.н.с.

Татаринцев Андрей Андреевич, к.ф.-м.н., с.н.с.

Татаринцев Андрей Андреевич, 18.01.1987

tatarintsev@ftian.ru 

ResearcherID: I-6045-2014

Scopus Author ID: 36519864100

ORCID: 0000-0002-4978-2280

в РИНЦ SPIN-код: 3768-0561, AuthorID: 755628

 

Образование, ученые степени и карьера:

В 2010 окончил Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова;

2010 г м.н.с. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН);

2013 г. Кандидат физико-математических наук;

С 2014 года н.с. Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (ФТИАН им. К.А. Валиева);

С 2016 года по н.в. с.н.с. Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова;

С 2018 года по н.в. по совместительству с.н.с. Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (ФТИАН им. К.А. Валиева).

 

Научные интересы:

сканирующая электронная микроскопия, электронно-лучевая литография, зарядка диэлектриков под действием пучков электронов, многослойные наноструктуры, неразрушающие бесконтактные методы и дополнительные устройства диагностики в СЭМ, полупроводниковая электроника, микро- и наносистемы и технология их изготовления.

 

Публикации:

Автор более 141 публикаций: из них 83 статей и 58 тезисов.