Татаринцев Андрей Андреевич, 18.01.1987
ResearcherID: I-6045-2014
Scopus Author ID: 36519864100
ORCID: 0000-0002-4978-2280
в РИНЦ SPIN-код: 3768-0561, AuthorID: 755628
Образование, ученые степени и карьера:
В 2010 окончил Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова;
2010 г м.н.с. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН);
2013 г. Кандидат физико-математических наук;
С 2014 года н.с. Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (ФТИАН им. К.А. Валиева);
С 2016 года по н.в. с.н.с. Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова;
С 2018 года по н.в. по совместительству с.н.с. Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН (ФТИАН им. К.А. Валиева).
Научные интересы:
сканирующая электронная микроскопия, электронно-лучевая литография, зарядка диэлектриков под действием пучков электронов, многослойные наноструктуры, неразрушающие бесконтактные методы и дополнительные устройства диагностики в СЭМ, полупроводниковая электроника, микро- и наносистемы и технология их изготовления.
Публикации:
Автор более 141 публикаций: из них 83 статей и 58 тезисов.