Лаборатория технологий электронной и оптической литографии » Бабушкин Артем Сергеевич, н.с.

Бабушкин Артем Сергеевич, н.с.artem.yfftian@mail.ru

Ярославль, Россия.

 

 

 

 

 

 

Образование

ЯрГУ им. П.Г. Демидова, физический факультет

Специальность: Микроэлектроника и полупроводниковые приборы.

Квалификация: физик-микроэлектронщик.

Область обучения: разработка и производство интегральных схем, исследование полупроводников и технологии микрообработки.

Диплом специалиста.

 

2009 – 2014

ЯрГУ им. П.Г. Демидова, физический факультет

Направление: Физика и астрономия; Физика конденсированного состояния.

Квалификация: исследователь; преподаватель-исследователь.

Область обучения: тонкие металлические пленки, внутренние механические напряжения, взаимодействие ионов с поверхностью, МЭМС (микроэлектромеханические системы).

Диплом об окончании аспирантуры.

2014 – 2018

Опыт работы

ФТИАН им. К.А. Валиева, Ярославский филиал

Электроник

Стажер-исследователь

Младший научный сотрудник

Научный сотрудник

 

ЯрГУ им. П.Г. Демидова, физический факультет

Старший преподаватель

 

2013 – 2014

2014 – 2017

2017 – 2020

2020 – 2022

 

 

2022 – 2022

Навыки

ПО:

MS Office, Mathcad, ComsolMultiphysics, LAMMPS.

Иностранные языки:

English – Pre-Intermediate.

 

Список научных произведений по разделам

(ГОСТ Р 55385-2012 Интеллектуальная собственность. Научные произведения.):

Публикации в рецензируемых журналах

Авторы, название, выходные данные.

Индексация

РИНЦ

Scopus*

WoS*

1.

Бабушкин А.С. (ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН), Куприянов А.В. Исследование формирования механических напряжений в ходе роста поликристаллической пленки Cr методом молекулярной динамики // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2022, № 11, с. 39–48.

Да

Да

Да

2.

Babushkin A. The effect of low-energy ion bombardment on residual stress in thin metal films due to the generation of surface defects and their migration to the grain boundary. Journal of Physics: Conference Series. 2020. V.1695, №1, P. 012194

Да

Да

 

3.

Babushkin A., Selyukov R., Amirov I. Effect of Ar ion-plasma treatment on residual stress in thin Cr films. Proc. of SPIE, 2019. V. 11022. P. 1102223-1.

Да

Да

Да

4.

Бабушкин А.С., Уваров И.В., Амиров И.И. Влияние низкоэнергетической ионно-плазменной обработки на остаточные напряжения в тонких пленках хрома. Журнал технической физики. 2018. Т. 88. №12. С. 1845.

Да

Да

Да

5.

Babushkin A.S., Uvarov I.V., Amirov I.I. Influence of ion-plasma treatment on residual stress in the microcantilever. Journal of Physics: Conference Series. 2016. V. 741. P. 012208.

Да

Да

 

6.

А.C. Бабушкин, И.В. Уваров, И.И. Амиров, Влияние электростатического метода возбуждения колебаний на резонансные свойства микрокантилеверов. Вестник ЯрГУ, Серия Естественные и технические науки, 2013, No4, 22–29.

Да

 

 

 

Итого:

6

5

3

 

 

 

 

* Статью, имеющую переводную версию, считать одной статьей. Русскоязычные статьи, индексируемые в РИНЦ, могут иметь переводную версию, индексируемую в Scopus и/или WoS. В этом случае в таблице нужно указывать и РИНЦ, и Scopus и/или WoS.

Монографии и главы в монографиях

1.

Бабушкин А.С., Селюков Р.В. Влияние ионно-плазменной обработки на остаточные механические напряжения в тонких пленках хрома. Труды ФТИАН, том 28, 2019, 152 с. ISBN 978-5-02-040185-3