{"id":240,"date":"2021-10-03T18:24:48","date_gmt":"2021-10-03T18:24:48","guid":{"rendered":"https:\/\/normoprot.h1n.ru\/?p=240"},"modified":"2022-03-03T10:19:33","modified_gmt":"2022-03-03T10:19:33","slug":"spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/","title":{"rendered":"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b"},"content":{"rendered":"
    \n
  1. \u0421. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0422. \u0418. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d\u0430, \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0421. \u041a\u0430\u0431\u0430\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0412. \u0410. \u041d\u0430\u0443\u043c\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0410. \u0420\u044b\u043b\u043e\u0432, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432, \u0410. \u0412. \u0424\u0430\u0434\u0435\u0435\u0432.<\/strong> \u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0443\u043f\u0435\u0440\u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0437\u0430\u043b\u0435\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 p-n \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444. \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 2001\u00bb, \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434, 2001, \u0442. 1, \u0441 \u041e1-5.<\/li>\n
  2. \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439.<\/strong> \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432: \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444. \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 2001\u00bb, \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434, 2001, \u0442. 1, \u0441 \u041e3-6.<\/li>\n
  3. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e.<\/strong> \u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 in situ \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438: \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b. \u0427\u0430\u0441\u0442\u044c I. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0442.30, \u2116 2, \u0441.85-105 (2001).<\/li>\n
  4. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a .\u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 in situ \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438: \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b. \u0427\u0430\u0441\u0442\u044c II. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0442.30, \u2116 3, \u0441. 163-182 (2001).<\/li>\n
  5. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e.<\/strong> \u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 in situ \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438: \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b. \u0427\u0430\u0441\u0442\u044c III. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0442.30, \u2116 5, \u0441.323-344 (2001).<\/li>\n
  6. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 in situ \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438: \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b. \u0427\u0430\u0441\u0442\u044c IV. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0442.30, \u2116 6 (2001).<\/li>\n
  7. \u0410. \u041f. \u0415\u0440\u0448\u043e\u0432, \u0412. \u0424. \u041b\u0443\u043a\u0438\u0447\u0435\u0432, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u0432\u0435\u0442\u0432\u044c \u0412\u0410\u0425 \u041b\u0435\u043d\u0433\u043c\u044e\u0440\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0430: \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u041c\u043e\u043d\u0442\u0435-\u041a\u0430\u0440\u043b\u043e. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444. \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 2001\u00bb, \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434, 2001, \u0442. 2, \u0441 \u04203-27.<\/li>\n
  8. \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432, \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a.<\/strong> \u041e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b VI \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u00ab\u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u00bb, \u0421\u0430\u043d\u043a\u0442 \u2013 \u041f\u0435\u0442\u0435\u0440\u0431\u0443\u0440\u0433, 2001\u0433., \u0441. 176 ?180;<\/li>\n
  9. \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432, \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a.<\/strong> \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e \u2013 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b IV \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0443\u043c\u0430 \u00ab\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u00bb, \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, 2001\u0433.;<\/li>\n
  10. \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432, \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a, \u0412. \u0410. \u041a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0432, \u041f. \u0410. \u0410\u0432\u0435\u0440\u0438\u0447\u043a\u0438\u043d.<\/strong> \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439. \u0422\u0435\u0437\u0438\u0441\u044b \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e \u2013 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e \u2013 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 \u2013 2001\u00bb, \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434, 2001\u0433., \u04201 \u2013 43.<\/li>\n
  11. \u0410. \u0413. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0418. \u0410. \u0425\u043e\u0440\u0438\u043d.<\/strong> \u041a\u0438\u043d\u0435\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0444\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a Ti-Co-Si-N \u043d\u0430 Si \u0438 SiO2, \u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f\u2019 2001, \u0421.-\u041f\u0435\u0442\u0435\u0440\u0431\u0443\u0440\u0433, 2001, 299-306<\/li>\n
  12. \u0410. \u0413. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0418. \u0410. \u0425\u043e\u0440\u0438\u043d.<\/strong> \u0420\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u043e\u0432 Ti-Co-Si-N \u0438 Ti-Co-N \u0441 Si \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043e\u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0442\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443\/\/ \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u041c\u041d\u042d-2001, \u0422.2, \u04201-19.<\/li>\n
  13. \u0410. \u0413. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0420. \u0410. \u0417\u0430\u0445\u0430\u0440\u043e\u0432, \u0412. \u0412. \u0420\u043e\u0434\u0430\u0442\u0438\u0441, \u0410. \u0412. \u041b\u043e\u0431\u0438\u043d\u0446\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0418. \u0410. \u0425\u043e\u0440\u0438\u043d.<\/strong> \u0424\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 Ti-Co-Si-N \u0438 Ti-Co-N \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 Si \u0438 SiO2\/\/ \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2001, \u0422.30, \u2116 5, \u0441. 345-352.<\/li>\n
  14. \u0410. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e.<\/strong> \u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043c\u0435\u043b\u043a\u0438\u0445 P+-N \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b 3-\u0433\u043e \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0443\u043c\u0430 \u043f\u043e \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0438. \u041f\u043b\u0435\u0441, 2002 \u0433., \u0442. 2, \u0441. 360 – 362.<\/li>\n
  15. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0412. \u0424\u0430\u0434\u0435\u0435\u0432.<\/strong> \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b BF3 \u0432 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435. \u0422\u0435\u0437\u0438\u0441\u044b \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430 (\u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u044b) \u043d\u0430 XXX \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0423\u0422\u0421 (24-28 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044f 2003 \u0433.).<\/li>\n
  16. \u0410. \u041f. \u0415\u0440\u0448\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b BF3 \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440\u0430. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b 3-\u0433\u043e \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0443\u043c\u0430 \u043f\u043e \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0438. \u041f\u043b\u0435\u0441, 2002 \u0433., \u0442. 2, \u0441. 426 – 427.<\/li>\n
  17. \u0421. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0410. \u041f. \u0415\u0440\u0448\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d.\u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0417\u043e\u043d\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0412\u0427- \u0438 \u0421\u0412\u0427- \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435. \u0422\u0435\u0437\u0438\u0441\u044b \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430 (\u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u044b) \u043d\u0430 XXX \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0423\u0422\u0421 (24-28 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044f 2003 \u0433.).<\/li>\n
  18. \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432, \u041d. \u0418. \u0411\u0430\u0437\u0430\u0435\u0432.<\/strong> \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 SiO2\/Si . \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2003 (\u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u0438).<\/li>\n
  19. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432, \u042e. \u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d.<\/strong> \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 SiO2\/Si \u0438 poly Si\/SiO2\/Si \u0441 \u043c\u0430\u043b\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c\u044e \u043e\u043a\u043e\u043d \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430\u044f\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0438 \u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f).<\/li>\n
  20. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439.<\/strong> \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u00ab\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439-2002\u00bb, \u041d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0438\u0431\u0438\u0440\u0441\u043a, 2002 (\u043f\u0440\u0438\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434).<\/li>\n
  21. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0414. \u041a\u0440\u0438\u0432\u043e\u0441\u043f\u0438\u0446\u043a\u0438\u0439, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u042e. \u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d.<\/strong> \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 \u21162192069.<\/li>\n
  22. V. V\u2019yurkov, A. Vetrov, and A. Orlikovsky.<\/strong> Measurement of a single electron spin in a solid state quantum computer. Abstracts of the International Scientific Symposium \u201cQuantum Informatics-2002\u201d, Zvenigorod, 1-4 October 2002,O7.<\/li>\n
  23. \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432, \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a, \u042e. \u0410. \u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u043e\u0432.<\/strong> \u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0425III \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0443\u043c\u0430 \u00ab\u0422\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435\u00bb, \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, 2002\u0433.<\/li>\n
  24. \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a.<\/strong> \u0414\u0438\u0441\u0441\u0435\u0440\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0441\u043e\u0438\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0447\u0435\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u043a.\u0442.\u043d. \u00ab\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a\u00bb, \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430, 2002\u0433.<\/li>\n
  25. \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a.<\/strong> \u0414\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434 \u00ab\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a\u00bb. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d\u0430\u0440 \u00ab\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u00bb, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430, 2002\u0433.<\/li>\n
  26. \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432.<\/strong> \u0414\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434 \u00ab\u0418\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430\u00bb. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d\u0430\u0440 \u00ab\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u00bb, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430, 2002\u0433.<\/li>\n
  27. K. V. Rudenko, Ya. N. Sukhanov, N. I. Bazaev.<\/strong> Phase Detection Used in the Optical-Emission Monitoring. Russian Microelectronics, v. 32, no.4, p.214-218.<\/li>\n
  28. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042e. \u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0412\u0427- \u0438 \u0421\u0412\u0427- \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430\u044f\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 \u21162003104228 \u043e\u0442 12.02.2003.<\/li>\n
  29. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042e. \u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430\u044f\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 \u211620031142716 \u043e\u0442 06.05.2003.<\/li>\n
  30. K. V. Rudenko, A. V. Fadeev, A. A. Orlikovsky, K. A. Valiev.<\/strong> Tomographic reconstruction of space plasma inhomogeneities in wide aperture plasma technology equipment under strong restriction on the points of view. Proc. of International Conf. \u201cMicro- and nanoelectronics\u201d, Zvenigorod, p. P1-49 (2003).<\/li>\n
  31. \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0412. \u0424\u0430\u0434\u0435\u0435\u0432.<\/strong> \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b BF3 \u0432 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b XXX \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0423\u0422\u0421. \u041c., (2003), \u0441. 220.<\/li>\n
  32. \u0421. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0410. \u041f. \u0415\u0440\u0448\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0412\u0427 \u0438 \u0421\u0412\u0427 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2003, \u0442\u043e\u043c 32, \u21165, \u0441\u0442\u0440. 363-373.<\/li>\n
  33. Ya. N. Sukhanov, A. P. Ershov, K. V. Rudenko and A. A. Orlikovsky.<\/strong> Comparative study of inductively coupled and microwave BF3 plasmas for microelectronic technology applications, Proc. of Int. Conf. ICMNE-2003, Moscow-Zvenigorod, 2003, 02-48.<\/li>\n
  34. C. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0410. \u041f. \u0415\u0440\u0448\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0417\u043e\u043d\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0412\u0427- \u0438 \u0421\u0412\u0427- \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435, \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0425\u0425\u0425 \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0423\u0422\u0421, \u0417\u0432\u0435\u043d\u0438\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434, 2003.<\/li>\n
  35. Y. P. Maishev, S. L. Shevchuk.<\/strong> Reactive ion-beam synthesis of thin films. Proceedings of IV International Conference \u201cPlasma physics and plasma technology\u201d, V.2, Minsk, 2003, pp.483-486.<\/li>\n
  36. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432, \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a.<\/strong> \u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u0437 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0422.1, \u21161, 2003, \u0441.27-33.<\/li>\n
  37. \u0421. \u041b. \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a, \u042e. \u041f. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432.<\/strong> \u0410\u043b\u043c\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u043f\u043e\u0440 \u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u043e\u0432, \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u201c\u0422\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b\u201d, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430, 7-10 \u0441\u0435\u043d\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f, 2004, \u0441\u0442\u0440. 149-153.<\/li>\n
  38. S. V. Vassiliev, S. B. Kravtsov, T. T. Basiev, V. A. Sychugov, R. R. Gerke, T. G. Dubrovina, I. U. Usypov, S. L. Shevchuk, Y. P. Maishev.<\/strong> Efficient dielectric diffraction gratings: novel approaches to scaling-up the output of narrowband lasers, Laser Physics, Vol. 14, No.12, 2004, pp. 1-9.<\/li>\n
  39. M. A. Bruk, E. N. Zhikharev, E. I. Grigoriev, A. V. Spirin, V. A. Kalnov and I. E. Kardash.<\/strong> Electron Beam Induced Deposition of Iron Carbon Nanostructures from Iron Dodecacarbonyl Vapour. SPIE. 2004.V.5401. P.305 ? 310.<\/li>\n
  40. Y. P. Maishev, S. L. Shevchuk.<\/strong> Investigation of influence of low energy ion beam parameters on Reactive Ion Beam Synthesis (RIBS) of thin films.<\/li>\n
  41. \u041c. \u0410. \u0411\u0440\u0443\u043a, \u0418. \u0410. \u0412\u043e\u043b\u0435\u0433\u043e\u0432\u0430, \u0410. \u0418. \u0411\u0443\u0437\u0438\u043d, \u0415. \u041d. \u0416\u0438\u0445\u0430\u0440\u0435\u0432, \u0410. \u0412. \u0421\u043f\u0438\u0440\u0438\u043d, \u042e. \u041a. \u0413\u043e\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439.<\/strong> \u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u0444\u0442\u043e\u0440\u044d\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d\u0430. \u0422\u0440\u0435\u0442\u044c\u044f \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u041a\u0430\u0440\u0433\u0438\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u00ab\u041f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b-2004\u00bb. \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430. \u042f\u043d\u0432\u0430\u0440\u044c 2004. \u0422\u0435\u0437\u0438\u0441\u044b \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u0432. \u0422\u043e\u043c 1. \u0421\u0442\u0440. 219.<\/li>\n
  42. \u041c. \u0410. \u0411\u0440\u0443\u043a, \u0418. \u0410. \u0412\u043e\u043b\u0435\u0433\u043e\u0432\u0430, \u0410. \u0418. \u0411\u0443\u0437\u0438\u043d, \u0415. \u041d. \u0416\u0438\u0445\u0430\u0440\u0435\u0432, \u0410. \u0412. \u0421\u043f\u0438\u0440\u0438\u043d, \u042e. \u041a. \u0413\u043e\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439.<\/strong> \u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u0444\u0442\u043e\u0440\u044d\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d\u0430. \u0422\u0435\u0437\u0438\u0441\u044b \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u0432 XI \u0412\u0441\u0435\u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 “\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c”. \u041a\u0430\u0437\u0430\u043d\u044c-\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430-\u0419\u043e\u0448\u043a\u0430\u0440-\u041e\u043b\u0430-\u0423\u0444\u0430. \u0418\u044e\u043d\u044c-\u0438\u044e\u043b\u044c 2004 \u0433.<\/li>\n
  43. \u041c. \u0410. \u0411\u0440\u0443\u043a, \u0415. \u041d. \u0416\u0438\u0445\u0430\u0440\u0435\u0432, \u0415. \u0418. \u0413\u0440\u0438\u0433\u043e\u0440\u044c\u0435\u0432, \u0410. \u0412. \u0421\u043f\u0438\u0440\u0438\u043d, \u0412. \u0410. \u041a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0432, \u0418. \u0415. \u041a\u0430\u0440\u0434\u0430\u0448.<\/strong> \u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u043e \u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434, \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u0434\u0435\u043a\u0430\u043a\u0430\u0440\u0431\u043e\u043d\u0438\u043b\u0430 \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b, \u0438\u043d\u0438\u0446\u0438\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043b\u0443\u0447\u043e\u043c. \u0425\u0438\u043c\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0439. 2004. (\u0412 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u0438).<\/li>\n
  44. \u041c. \u0410. \u0411\u0440\u0443\u043a, \u0415. \u041d. \u0416\u0438\u0445\u0430\u0440\u0435\u0432, \u0410. \u0412.\u0421\u043f\u0438\u0440\u0438\u043d, \u0412. \u0410.\u041a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0432, \u0410. \u0418.\u0411\u0443\u0437\u0438\u043d, \u0418. \u0415.\u041a\u0430\u0440\u0434\u0430\u0448.<\/strong> \u00ab\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043b \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a\u00bb. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424. \u0420\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e \u0432\u044b\u0434\u0430\u0447\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 3 \u0430\u0432\u0433\u0443\u0441\u0442\u0430 2004 \u0433.<\/li>\n
  45. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042e. \u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0412\u0427- \u0438 \u0421\u0412\u0427- \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430\u044f\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 \u21162003104228 \u043e\u0442 12.02.2003. \u041f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421.<\/li>\n
  46. \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042e. \u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d, \u042f. \u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432.<\/strong> \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430\u044f\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 \u211620031142716 \u043e\u0442 06.05.2003. \u041f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421.<\/li>\n
  47. K. V. Rudenko, A. V. Fadeev, A. A. Orlikovsky, K. A. Valiev.<\/strong> Tomographic reconstruction of space plasma inhomogeneities in wide aperture plasma technology equipment under strong restriction on the points of view. Proc. of SPIE, v. 5401, p.79-85 (2004).<\/li>\n
  48. I. A. Horin, A. A. Orlikovsky, A. G. Vasiliev, A. L. Vasiliev.<\/strong> Phases transaormation in Ti(Ta) \u2013 Ni(Co) \u2013 Si \u2013 N systems\/ Micro- and Nanoelectronics 2003, edited by Kamil A. Valiev, Alexander A. Orlikovsky, Proceeding of SPIE Vol. 5401 (SPIE, Bellinghan, WA, 2004), P. 110-118.<\/li>\n
  49. \u0410. \u0413. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0410. \u041b. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0420. \u0410. \u0417\u0430\u0445\u0430\u0440\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0418. \u0410. \u0425\u043e\u0440\u0438\u043d, M. \u042d\u0438\u043d\u0434\u043e\u0443.<\/strong> \u042d\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0421\u043e-N\/Ti\/Si(100) \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0442\u0443\u044e Ti\/Si(100) \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443\/\/ \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0422. 33 (2004), \u2116 1, \u0421. 1-6.<\/li>\n
  50. \u0410. \u0413. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0410. \u041b. \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432, \u0420. \u0410. \u0417\u0430\u0445\u0430\u0440\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0418. \u0410. \u0425\u043e\u0440\u0438\u043d, M. \u042d\u0438\u043d\u0434\u043e\u0443.<\/strong> \u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043b\u043e\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 Ti-Co-N\/CoSix\/Si(100) \u0438 Ti-Co-Si-N\/CoSix\/Si(100)\/\/ \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0422. 33 (2004), \u2116 3, \u0421. 147-151.<\/li>\n<\/ol>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    \u0421. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0422. \u0418. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d\u0430, \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0421. \u041a\u0430\u0431\u0430\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0412. \u0410. \u041d\u0430\u0443\u043c\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0410. \u0420\u044b\u043b\u043e\u0432, \u042f.\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435<\/a><\/span><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"categories":[6],"tags":[],"class_list":["entry","author-admin-ftian","post-240","post","type-post","status-publish","format-standard","category-izdanija-i-publikacii"],"yoast_head":"\n\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b<\/title>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"en_US\" \/>\n<meta property=\"og:locale:alternate\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"\u0421. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0422. \u0418. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d\u0430, \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0421. \u041a\u0430\u0431\u0430\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0412. \u0410. \u041d\u0430\u0443\u043c\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0410. \u0420\u044b\u043b\u043e\u0432, \u042f.\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2021-10-03T18:24:48+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2022-03-03T10:19:33+00:00\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"admin-ftian\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Written by\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"admin-ftian\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Est. reading time\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"8 minutes\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"admin-ftian\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197\"},\"headline\":\"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b\",\"datePublished\":\"2021-10-03T18:24:48+00:00\",\"dateModified\":\"2022-03-03T10:19:33+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/\"},\"wordCount\":1680,\"commentCount\":0,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\"},\"articleSection\":[\"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438\"],\"inLanguage\":\"en-US\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"CommentAction\",\"name\":\"Comment\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/#respond\"]}]},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/\",\"name\":\"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\"},\"datePublished\":\"2021-10-03T18:24:48+00:00\",\"dateModified\":\"2022-03-03T10:19:33+00:00\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"en-US\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/\"]}]},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"name\":\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\",\"description\":\"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"en-US\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\",\"name\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"contentUrl\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"width\":500,\"height\":402,\"caption\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197\",\"name\":\"admin-ftian\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"admin-ftian\"},\"sameAs\":[\"http:\\\/\\\/ftian.ru\"],\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/author\\\/admin-ftian\\\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/","og_locale":"en_US","og_type":"article","og_title":"[:ru]\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b[:] - \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","og_description":"\u0421. \u041d. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d, \u0422. \u0418. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d\u0430, \u041a. \u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410. \u0421. \u041a\u0430\u0431\u0430\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0412. \u0410. \u041d\u0430\u0443\u043c\u043e\u0432, \u0410. \u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a. \u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0410. \u0410. \u0420\u044b\u043b\u043e\u0432, \u042f.\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435","og_url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/","og_site_name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","article_published_time":"2021-10-03T18:24:48+00:00","article_modified_time":"2022-03-03T10:19:33+00:00","author":"admin-ftian","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Written by":"admin-ftian","Est. reading time":"8 minutes"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/"},"author":{"name":"admin-ftian","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/person\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197"},"headline":"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b","datePublished":"2021-10-03T18:24:48+00:00","dateModified":"2022-03-03T10:19:33+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/"},"wordCount":1680,"commentCount":0,"publisher":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization"},"articleSection":["\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438"],"inLanguage":"en-US","potentialAction":[{"@type":"CommentAction","name":"Comment","target":["https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/#respond"]}]},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/","url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/","name":"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b","isPartOf":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website"},"datePublished":"2021-10-03T18:24:48+00:00","dateModified":"2022-03-03T10:19:33+00:00","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/#breadcrumb"},"inLanguage":"en-US","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/"]}]},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/spisok-publikacij-po-plazmennym-processam-za-2001-2004-gody\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430","item":"https:\/\/ftian.ru\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"\u0421\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u0437\u0430 2001-2004 \u0433\u043e\u0434\u044b"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website","url":"https:\/\/ftian.ru\/","name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","description":"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430","publisher":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/ftian.ru\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"en-US"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization","name":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.","url":"https:\/\/ftian.ru\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","contentUrl":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","width":500,"height":402,"caption":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a."},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/person\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197","name":"admin-ftian","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g","caption":"admin-ftian"},"sameAs":["http:\/\/ftian.ru"],"url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/author\/admin-ftian\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/240","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=240"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/240\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1964,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/240\/revisions\/1964"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=240"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=240"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=240"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}