{"id":1084,"date":"2021-12-15T00:01:35","date_gmt":"2021-12-15T00:01:35","guid":{"rendered":"https:\/\/normoprot.h1n.ru\/?p=1084"},"modified":"2022-01-26T17:05:02","modified_gmt":"2022-01-26T17:05:02","slug":"razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/","title":{"rendered":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c"},"content":{"rendered":"<ul>\n<li><a href=\"#1\">\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0418\u0421, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f\u0445 \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#2\">\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#3\">\u0420\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 BF<sub>3<\/sub><\/a><\/li>\n<li><a href=\"#4\">\u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0435 \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#5\">\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f (\u041f\u0418\u0418\u0418)<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#6\">\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (BF<sub>3<\/sub>)<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#7\">\u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0431-100 \u043d\u043c \u0440-n \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#8\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#9\">\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 SiO<sub>2<\/sub>&nbsp;\u0432 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0447\u0438 (0,5\u04452 \u043c\u043a\u043c) \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u043b\u044c\u0435\u0444\u0430<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#10\">\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432<\/a><\/li>\n<li><a href=\"\/#11\">\u041d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0430\u043a\u0443\u0441\u0442\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 (\u0412\u041d\u0418\u0418\u0424\u0422\u0420\u0418)<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#12\">\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0410\u041e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#13\">\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b Si<sub>3<\/sub>N<sub>4<\/sub>(0.15\u043c\u043a\u043c)\/SiO<sub>2<\/sub>(0.3\u043c\u043a\u043c)\/Si \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0410\u041e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#14\">\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#15\">\u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#16\">\u0422\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u041e\u042d\u0421 (2D-\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432)<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#17\">\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#18\">\u0420\u0435\u0437\u044e\u043c\u0435<\/a><\/li>\n<\/ul>\n<p><center><\/center><center><b>\u041d\u0410\u0423\u0427\u041d\u041e-\u0422\u0415\u0425\u041d\u0418\u0427\u0415\u0421\u041a\u0418\u0419 \u0417\u0410\u0414\u0415\u041b \u0412 \u041e\u0411\u041b\u0410\u0421\u0422\u0418 \u0418\u0421\u0422\u041e\u0427\u041d\u0418\u041a\u041e\u0412 \u041f\u041b\u041e\u0422\u041d\u041e\u0419 \u041f\u041b\u0410\u0417\u041c\u042b, \u0414\u0418\u0410\u0413\u041d\u041e\u0421\u0422\u0418\u041a\u0418 \u041f\u041b\u0410\u0417\u041c\u042b, \u041f\u041b\u0410\u0417\u041c\u041e\u0425\u0418\u041c\u0418\u0427\u0415\u0421\u041a\u0418\u0425 \u0423\u0421\u0422\u0410\u041d\u041e\u0412\u041e\u041a<\/b><\/p>\n<p>(\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432,<br \/>\n\u0417\u0430\u0432.\u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0435\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u043a \u0410.\u0410.\u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439)<\/center><center><\/p>\n<p><a name=\"1\"><\/a><strong>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0418\u0421, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f\u0445 \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d<\/strong><\/center><\/p>\n<ul>\n<li>\u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0442.\u0434.<\/li>\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432<\/li>\n<li>\u0421\u043d\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 (\u0441\u0442\u0440\u0438\u043f\u043f\u0438\u043d\u0433)<\/li>\n<li>\u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430<\/li>\n<li>\u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043e\u0442 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/li>\n<li>\u0427\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f<\/li>\n<li>\u0418\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n<p><center><a name=\"2\"><\/a><strong>\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/strong><br \/>\n\u0425\u0410\u0420\u0410\u041a\u0422\u0415\u0420\u0418\u0421\u0422\u0418\u041a\u0418:<\/center><\/p>\n<ul>\n<li>\u0422\u0438\u043f \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430: \u0412\u0427-\u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0443\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/li>\n<li>\u0413\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440:13,56 \u041c\u0413\u0446, \u0434\u043e 3 \u043a\u0412\u0442<\/li>\n<li>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439: 1&#215;10-4 \u2013 1&#215;10-2 \u0422\u043e\u0440\u0440<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b: H<sub>2<\/sub>, He, Ar, C<sub>x<\/sub>F<sub>y<\/sub>, SF<sub>6<\/sub>, O<sub>2<\/sub>, BF<sub>3<\/sub><\/li>\n<li>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434 \u0432 \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0435):3&#215;10<sup>12<\/sup>&nbsp;\u0441\u043c<sup>-3<\/sup>&nbsp;\u043f\u0440\u0438 3&#215;10<sup>-3<\/sup>&nbsp;\u0442\u043e\u0440\u0440<\/li>\n<li>\u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 4,25 \u044d\u0412<\/li>\n<li>\u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874531256.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-1085 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874531256-300x218.jpg\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" width=\"300\" height=\"218\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874531256-300x218.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874531256.jpg 312w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>\u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430, \u0444\u043e\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0412\u0427 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u00d8 150 \u043c\u043c. \u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0430\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0446\u0438\u043b\u0438\u043d\u0434\u0440 \u00d8 300 \u043c\u043c \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u043e\u0439 200 \u043c\u043c, \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0440\u0436\u0430\u0432\u0435\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0438. \u041c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0412\u0427 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0418\u0412\u041f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u0430 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043e\u0432, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0430 Nd-Fe-B.<br \/>\n\u0412 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0442\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0438\u043b\u043b\u044e\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430\u0445, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0438\u0436\u0435.<\/p>\n<p><center><a name=\"3\"><\/a><b>\u0420\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 BF<sub>3<\/sub><\/b><\/center><center><\/p>\n<div id='gallery-1' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih85684656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"273\" height=\"224\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih85684656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih965634656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"288\" height=\"225\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih965634656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" aria-describedby=\"gallery-1-1087\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-1-1087'>\r\n\t\t\t\t\u0414\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435 2,5 \u043c\u0442\u043e\u0440\u0440, \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c 600\u0412\u0442\r\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><\/div>\n\n<p><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a name=\"4\"><\/a><b>\u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0435 \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/b><\/p>\n<div id='gallery-2' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-3 gallery-size-medium'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih98746354656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"252\" height=\"218\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih98746354656.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" aria-describedby=\"gallery-2-1091\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-1091'>\r\n\t\t\t\t\u0422\u0440\u0435\u043d\u0447\u0438 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 0,5 \u043c\u043a\u043c\r\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih12556.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"276\" height=\"240\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih12556.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" aria-describedby=\"gallery-2-1088\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-1088'>\r\n\t\t\t\t\u0429\u0435\u043b\u044c \u0432 \u0434\u0432\u0443\u043e\u043a\u0438\u0441\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 40 \u043d\u043c\r\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874556.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"223\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874556-300x223.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" aria-describedby=\"gallery-2-1089\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874556-300x223.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih874556.jpg 320w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div>\r\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-1089'>\r\n\t\t\t\t\u0429\u0435\u043b\u044c \u0432 \u0434\u0432\u0443\u043e\u043a\u0438\u0441\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f 82,6 \u043d\u043c\r\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><\/div>\n\n<p>&nbsp;<\/p>\n<figure id=\"attachment_1090\" style=\"width: 300px\"  class=\"wp-caption aligncenter\"><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih85645256.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-1090 size-full\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih85645256.jpg\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" width=\"300\" height=\"296\"><\/a><figcaption class=\"wp-caption-text\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/figcaption><\/figure>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><center><a name=\"5\"><\/a><b>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f (\u041f\u0418\u0418\u0418)<\/b><\/center><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\">\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u043c\u0430\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0436\u0435 5 \u043a\u044d\u0412, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043e \u0441 \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u0440\u043c\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u043c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e.<br \/>\n\u0410\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (\u041f\u0418<sub>3<\/sub>). \u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c \u0434\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043e\u0437\u044b \u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437 \u0441 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u0443\u0431-1\u043a\u044d\u0412 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435. \u0412 \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0441\u0435\u043f\u0430\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043f\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u041f\u0418\u0418\u0418 \u0441\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u043c:<\/p>\n<ul style=\"text-align: left;\">\n<li>\u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440-n \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0441 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043b\u0435\u0433\u0430\u043d\u0438\u044f 10-100 \u043d\u043c<\/li>\n<li>\u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437 \u043f\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440\u0430\u043c<\/li>\n<li>\u0421\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u041f\u0418\u0418\u0418 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440\u044b<\/li>\n<\/ul>\n<div id='gallery-3' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih985644656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"288\" height=\"269\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih985644656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6546144656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"276\" height=\"264\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6546144656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<p><center><\/center><center><b>\u0412\u043e \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0435\u0440<\/b><\/center><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\">&nbsp;&nbsp;&nbsp;\u0421\u043e \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438:<\/p>\n<ul>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d: 150-200 \u043c\u043c<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 (BF3): 5\u044510<sup>10<\/sup>-5\u044510<sup>11<\/sup>\u0441\u043c<sup>-3<\/sup><\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430: 1-5 \u043c\u0410\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041d\u0435\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 150 \u043c\u043c: <2%<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0420\u0435\u0436\u0438\u043c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438: \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043e\u0432 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f: \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c 1\u201320 \u043c\u043a\u0441, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 0.5\u20135 \u043a\u0413\u0446,<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0410\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u0430: -(0.2\u20135) \u043a\u0412<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0412\u0440\u0435\u043c\u044f \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043e\u0437\u044b: <1 \u043c\u0438\u043d.<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><center><a name=\"6\"><\/a><b>\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (BF<sub>3<\/sub>)<\/b><\/center><center><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<figure id=\"attachment_1096\" style=\"width: 300px\"  class=\"wp-caption aligncenter\"><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih987954656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-1096 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih987954656-300x177.jpg\" alt=\"\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (BF3)\" width=\"300\" height=\"177\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih987954656-300x177.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih987954656.jpg 374w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><figcaption class=\"wp-caption-text\">\u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u0440\u0430<\/figcaption><\/figure>\n<p style=\"text-align: left;\">\u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 BF<sub>2<\/sub><sup>+<\/sup>&nbsp;\u0432 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432: 50% &#8211; \u043a\u0440\u0430\u0441\u043d., 70% \u2013 \u0437\u0435\u043b\u0435\u043d., 90% &#8211; \u0441\u0438\u043d\u044f\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 (\u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442). \u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0443 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0435\u043b\u0435\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<figure id=\"attachment_1097\" style=\"width: 300px\"  class=\"wp-caption aligncenter\"><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih87354656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-1097 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih87354656-300x205.jpg\" alt=\"\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (BF3)\" width=\"300\" height=\"205\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih87354656-300x205.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih87354656.jpg 333w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><figcaption class=\"wp-caption-text\">\u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/figcaption><\/figure>\n<p style=\"text-align: left;\">\u041e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 BF<sub>3<\/sub>&nbsp;\u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044b \u0444\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u044f\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043e\u0437\u044b \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043d\u0430\u0441\u044b\u0449\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0434\u043e\u0437\u044b.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a name=\"7\"><\/a><strong>\u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0431-100 \u043d\u043c \u0440-n \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432<\/strong><\/p>\n<figure id=\"attachment_1098\" style=\"width: 300px\"  class=\"wp-caption aligncenter\"><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih876352354656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-1098 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih876352354656-300x245.jpg\" alt=\"\u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0431-100 \u043d\u043c \u0440-n \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432\" width=\"300\" height=\"245\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih876352354656-300x245.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih876352354656.jpg 400w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><figcaption class=\"wp-caption-text\">\u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438 (100)<br \/>\n(\u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430 \u0422=850\u00b0\u0421, t=15 \u043c\u0438\u043d)<br \/>\n\u041f\u0440\u0435\u0434\u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0425\u0435, \u0420=1,1*10-1 \u041f\u0430, W=1250 \u0412\u0442<br \/>\nU\u0441\u043c=-3,75\u043a\u0412, f=1 \u043a\u0413\u0446, I\u0441\u0440=0,3 \u0410, t=30 \u0441.<br \/>\n\u0418\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 BF3, \u0420=2,7*10-2 \u041f\u0430, W=1250 \u0412\u0442<br \/>\nU\u0441\u043c=-3,75\u043a\u0412, f=1 \u043a\u0413\u0446, I\u0441\u0440=0,14 \u0410, t=10 \u0441.<\/figcaption><\/figure>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>\u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0434\u043e\u0437\u044b D=55*10<sup>-6<\/sup>&nbsp;\u041a\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><\/p>\n<figure id=\"attachment_1099\" style=\"width: 300px\"  class=\"wp-caption aligncenter\"><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih352354656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-1099 size-full\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih352354656.jpg\" alt=\"\u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0431-100 \u043d\u043c \u0440-n \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432\" width=\"300\" height=\"291\"><\/a><figcaption class=\"wp-caption-text\">\u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u0430\u043b \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u2013 0,5% Rav<\/figcaption><\/figure>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><center><a name=\"8\"><\/a><b>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432<\/b><\/center><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\"><strong>\u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d:<\/strong><\/p>\n<ul style=\"text-align: left;\">\n<li>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b;<\/li>\n<li>\u0414\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0441 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0435\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c;<\/li>\n<li>\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 (\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438);<\/li>\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430;<\/li>\n<li>\u0412\u0427 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u0441 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b;<\/li>\n<li>\u0412\u0427 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u0441 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b;<\/li>\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b;<\/li>\n<li>\u0428\u043b\u044e\u0437\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0443\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d;<\/li>\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0438\u043f\u0441\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438;<\/li>\n<li>\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b;<\/li>\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c\u0438 (\u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438-\u0432\u044b\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439, \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b; \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430);<\/li>\n<li>\u0421\u0442\u043e\u0439\u043a\u0430 \u0440\u0443\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n<p style=\"text-align: left;\">\n\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c:<br \/>\n<strong>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430:<\/strong>&nbsp;\u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 350 \u043c\u043c<br \/>\n<strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u0442\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430:<\/strong>&nbsp;\u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 300 \u043c\u043c<br \/>\n<strong>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b:<\/strong>&nbsp;100 \u043c\u043c<br \/>\n<strong>\u041d\u0435\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 100 \u043c\u043c:<\/strong>&nbsp;<\u00b11%<br \/>\n<strong>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435:<\/strong>&nbsp;0,1\u201320 \u043c\u0410\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><br \/>\n<strong>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong>10<sup>-4<\/sup>\u201310<sup>-2<\/sup>&nbsp;Topp<br \/>\n<strong>\u041e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong>2&#215;10<sup>-6<\/sup>&nbsp;Topp<br \/>\n<strong>\u0422\u0438\u043f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430, \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong>&nbsp;\u0422\u0443\u0440\u0431\u043e\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0439, \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 750 \u043b\/\u0441<br \/>\n<strong>\u0422\u0438\u043f \u0444\u043e\u0440\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430, \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong>&nbsp;\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439, \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435 14 \u043b\/\u043c\u0438\u043d<br \/>\n<strong>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b:<\/strong>&nbsp;SiH<sub>4<\/sub>, O<sub>2<\/sub>, \u041d\u0435, \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u043c\u0435\u0442\u0438\u043b\u0434\u0438\u0441\u0438\u043b\u043e\u0437\u0430\u043d \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u044d\u0442\u043e\u043a\u0441\u0438\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d, \u0410\u0433 \u0438 \u0434\u0440.<br \/>\n<strong>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432:<\/strong>&nbsp;\u0413\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u043e<br \/>\n<strong>\u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0438 \u0442\u0438\u043f \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0433\u0430\u0437\u0430:<\/strong>&nbsp;4, \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 (\u0420\u0420\u0413 &#8211; 6 \u0438\u043b\u0438 \u0420\u0420\u0413-3)<br \/>\n<strong>\u041c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430:<\/strong>&nbsp;\u041f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u044b \u0438\u0437 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0430 Nd-Fe-B<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><\/center><\/center><\/p>\n<p><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-1100 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656-300x257.jpg\" alt=\"\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432\" width=\"300\" height=\"257\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656-300x257.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg 360w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><center><center><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\"><strong>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b:<\/strong>&nbsp;\u0411\u0435\u0437\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434 \u0441 \u0412\u0427 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<br \/>\n<strong>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b:<\/strong>&nbsp;80-500\u00b0\u0421<br \/>\n<strong>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b:<\/strong>&nbsp;\u041d\u0435 \u0445\u0443\u0436\u0435 \u00b110\u00b0\u0421<br \/>\n<strong>\u0420\u0430\u0437\u0431\u0440\u043e\u0441 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 90 \u043c\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong>&nbsp;\u00b13%<br \/>\n<strong>\u041f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b:<\/strong>&nbsp;\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439<br \/>\n<strong>\u0412\u0440\u0435\u043c\u044f \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 (\u0432\u044b\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438) \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b:<\/strong>&nbsp;\u041d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 60 \u0441.<br \/>\n<strong>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438, \u0442\u0438\u043f \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0430\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435:<\/strong> \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0438\u043f\u0441\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f; \u0415\u041a-70, 0.1 \u043d\u043c<br \/>\n<strong>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430:<\/strong>&nbsp;300-800 \u043d\u043c<br \/>\n<strong>\u0421\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong>&nbsp;0,15-0,35 \u043d\u043c<br \/>\n<strong>\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0434\u0432\u0443\u043e\u043a\u0438\u0441\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f:<\/strong>&nbsp;\u041d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,2 \u043c\u043a\u043c\/\u043c\u0438\u043d.<br \/>\n<strong>\u0421\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d:<\/strong> \u0412\u0427-13,56 \u041c\u0413\u0446, 0-500 \u0412\u0442, \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u043b\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 +20 + &#8211; 400 \u0412<br \/>\n<strong>\u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0430:<\/strong>&nbsp;\u041d\u0435\u0440\u0436\u0430\u0432\u0435\u044e\u0449\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u044c, \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430, \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446, \u0432\u0438\u0442\u043e\u043d, \u043c\u0435\u0434\u044c<br \/>\n<strong>\u041c\u0430\u0441\u0441\u0430:<\/strong>&nbsp;\u041d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 800 \u043a\u0433<\/p>\n<p><center><a name=\"9\"><\/a><strong>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 SiO<sub>2<\/sub>&nbsp;\u0432 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0447\u0438 (0,5\u04452 \u043c\u043a\u043c) \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u043b\u044c\u0435\u0444\u0430<\/strong><br \/>\n\u041e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 SiO<sub>2<\/sub>&nbsp;\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (CH3)<sub>6<\/sub>Si<sub>2<\/sub>O<br \/>\nW=1,5 \u043a\u0412\u0442, \u0420=2\u044510<sup>-3<\/sup>&nbsp;\u0422\u043e\u0440\u0440, Ts=300K; O\/Si=1,95-1,99;<br \/>\nE\u043f\u043e\u0440=10<sup>6<\/sup>&nbsp;\u0412\/\u0441\u043c;<br \/>\nI\u0443\u0442<10-10 A\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup>; n=1,45\u00b10,01<br \/>\n\u041d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 200 \u043c\u043c < 2%<\/center><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\">\n\u0422\u0440\u0435\u043d\u0447\u0438 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 0,5 \u043c\u043a\u043c \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 1,5 \u043c\u043a\u043c \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u043c\u0435\u0442\u0438\u043b\u0434\u0438\u0441\u0438\u043b\u043e\u043a\u0441\u0430\u043d\u0430 (\u0413\u041c\u0414\u0421) \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<div id='gallery-4' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-medium'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih731354656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"211\" height=\"119\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih731354656.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih54656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"209\" height=\"118\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih54656.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<p style=\"text-align: left;\">\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u043b\u0430 0,1\u043c\u043a\u043c\/\u043c\u0438\u043d. \u041f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0441\u0433\u043b\u0430\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u043b\u044c\u0435\u0444\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u043d\u0447\u0435\u0439 \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u043d\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n<p><center><a name=\"10\"><\/a><strong>\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432<\/strong><\/center><\/p>\n<ul>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0421\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b.<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041c\u0430\u0441\u0441-\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f in situ.<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0417\u043e\u043d\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0421\u0412\u0427-\u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 end-point \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430.<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u044d\u043b\u043b\u0438\u043f\u0441\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b.<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n<p><center><a name=\"11\"><\/a><strong>\u041d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0430\u043a\u0443\u0441\u0442\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 (\u0412\u041d\u0418\u0418\u0424\u0422\u0420\u0418)<\/strong><\/center><\/p>\n<ul>\n<li style=\"text-align: left;\"><strong>\u0421\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d:<\/strong>&nbsp;400-800 (300-855) \u043d\u043c<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\"><strong>\u0427\u0438\u0441\u043b\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432:<\/strong>&nbsp;1-4<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\"><strong>\u0421\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong>&nbsp;0,15 \u2013 0,3 \u043d\u043c<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0427\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435, \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0410\u041e\u0421<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\"><strong>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b:<\/strong>&nbsp;Cl*,Cl+, F*, Br*,Br+, O*, O<sub>2<\/sub>+, CF, CCl, H-\u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438:SiF*, CN*, CO, Al, Si, \u0421<sub>2<\/sub>&#8211; \u0433\u0430\u0437\u044b-\u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b: N<sub>2<\/sub>, He, Ne, Ar, Kr, Xe<\/li>\n<\/ul>\n<div id='gallery-5' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih75854.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"372\" height=\"242\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih75854.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih75854.jpg 372w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih75854-300x195.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 372px) 100vw, 372px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih965356.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"361\" height=\"212\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih965356.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih965356.jpg 361w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih965356-300x176.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 361px) 100vw, 361px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a name=\"12\"><\/a><strong>\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0410\u041e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438<\/strong><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8743544656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-1105 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8743544656-300x138.jpg\" alt=\"\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432\" width=\"300\" height=\"138\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8743544656-300x138.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8743544656-465x214.jpg 465w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8743544656.jpg 536w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a name=\"13\"><\/a><strong>\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b Si<sub>3<\/sub>N<sub>4<\/sub>(0.15\u043c\u043a\u043c)\/SiO<sub>2<\/sub>(0.3\u043c\u043a\u043c)\/Si \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0410\u041e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438<\/strong><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih98654656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-1106 size-medium\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih98654656-300x239.jpg\" alt=\"\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b Si3N4(0.15\u043c\u043a\u043c)\/SiO2(0.3\u043c\u043a\u043c)\/Si \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0410\u041e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438\" width=\"300\" height=\"239\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih98654656-300x239.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih98654656.jpg 437w\" sizes=\"auto, (max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><a name=\"14\"><\/a><strong>\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/strong><\/p>\n<div id='gallery-6' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih85453244656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"283\" height=\"146\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih85453244656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6453124656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"288\" height=\"165\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6453124656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<div id='gallery-7' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8645656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"289\" height=\"163\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8645656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih86452656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"312\" height=\"160\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih86452656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih86452656.jpg 312w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih86452656-300x154.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 312px) 100vw, 312px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p style=\"text-align: left;\">\u0420\u0430\u0437\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0433\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u042d\u0426\u0420 \u2013\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f ICP\/TCP \u2013 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<br \/>\n\u0412 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043b\u0435\u0436\u0438\u0442 \u0442\u043e\u0442 \u0444\u0430\u043a\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0425\u0410\u0427 \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430\u043c\u0438, \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0432 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b. \u0412 \u041d\u0427-\u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 100 %. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043a\u0430\u043a \u043e\u043f\u043e\u0440\u043d\u0443\u044e \u0434\u043b\u044f \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430, \u0432\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438, \u043f\u0440\u0438\u0448\u0435\u0434\u0448\u0438\u0439 \u0432 \u0444\u0430\u0437\u0435 \u0441 \u043e\u043f\u043e\u0440\u043d\u044b\u043c, \u0434\u0435\u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435. \u0412\u0441\u0435 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b \u043d\u0435\u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043e\u043f\u043e\u0440\u043d\u044b\u043c, \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e \u043e\u0441\u043b\u0430\u0431\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u0433\u0438\u043f\u043e\u0442\u0435\u0437\u044b \u043e \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u043d\u0430 \u041d\u0427-\u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0435\u043c \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430. \u0411\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0441 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u043c \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435. \u041e\u043d\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0443 \u041f\u0425\u0422.<br \/>\n\u0421\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043b\u0441\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0430\u043a\u0443\u0441\u0442\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c &#8220;\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446-4\u041c&#8221;, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430, \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043e\u043c. \u0414\u043b\u044f \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0448\u0443\u043c\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 \u201cUnipan 232B\u201d \u0441 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u0432\u044b\u043c \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u043e\u043c \u201cUnipan 233\u201d. \u041f\u043e\u0434\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043a \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443, \u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043b\u043e\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e, \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u043b\u043e\u0441\u044c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<br \/>\n\u0414\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0412\u0427- (13,56 \u041c\u0413\u0446) \u0438 \u0421\u0412\u0427- (2.45 \u0413\u0413\u0446) \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0438 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u043f\u043e\u0440\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><center><a name=\"15\"><\/a><strong>\u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445<\/strong><\/center><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\"><strong>\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441:<\/strong><\/p>\n<ul>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/li>\n<\/ul>\n<p style=\"text-align: left;\">&nbsp;<\/p>\n<p><a href=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih68452656.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-1111\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih68452656-300x270.jpg\" alt=\"\u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445\" width=\"338\" height=\"304\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih68452656-300x270.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih68452656.jpg 464w\" sizes=\"auto, (max-width: 338px) 100vw, 338px\" \/><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><center><a name=\"16\"><\/a><strong>\u0422\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u041e\u042d\u0421 (2D-\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432)<\/strong><\/center><\/p>\n<ul>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0421\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432\u043e F-, Cl-\u0438 Br-\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u043f\u043e \u0434\u0432\u0443\u043c \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u044b\u043c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c,<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0434\u0432\u0443\u043c \u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430\u043c,<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u043c,<\/li>\n<li style=\"text-align: left;\">\u041f\u0430\u043a\u0435\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<div id='gallery-8' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-2 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih864532656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"449\" height=\"193\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih864532656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih864532656.jpg 449w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih864532656-300x129.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 449px) 100vw, 449px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8452656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"462\" height=\"200\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8452656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8452656.jpg 462w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8452656-300x130.jpg 300w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih8452656-460x200.jpg 460w\" sizes=\"auto, (max-width: 462px) 100vw, 462px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0432\u0434\u043e\u043b\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c, \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0438.<\/p>\n<p><\/center><\/center><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><center><a name=\"17\"><\/a><strong>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445<\/strong><\/center><center><\/p>\n<div id='gallery-9' class='gallery galleryid-1084 gallery-columns-3 gallery-size-full'><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854326.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"348\" height=\"195\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854326.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854326.jpg 348w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854326-300x168.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 348px) 100vw, 348px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854156.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"322\" height=\"201\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854156.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854156.jpg 322w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih6854156-300x187.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 322px) 100vw, 322px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><figure class='gallery-item'>\r\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\r\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih5841254656.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"355\" height=\"279\" src=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih5841254656.jpg\" class=\"attachment-full size-full\" alt=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" srcset=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih5841254656.jpg 355w, https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih5841254656-300x236.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 355px) 100vw, 355px\" title=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/><\/a>\r\n\t\t\t<\/div><\/figure><\/div>\n\n<p><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><\/center><center><a name=\"18\"><\/a><strong>\u0420\u0435\u0437\u044e\u043c\u0435<\/strong><\/center><\/p>\n<p><strong>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b<\/strong>&nbsp;\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430, \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0434\u0440.<br \/>\n<strong>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b<\/strong>&nbsp;\u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438 \u0430\u0442\u0442\u0435\u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432: \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 (\u0412\u041d\u0418\u0418\u0424\u0422\u0420\u0418) \u0438 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043b\u043b\u0438\u043f\u0441\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 (\u0418\u0420\u042d \u0420\u0410\u041d)<br \/>\n<strong>\u041d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a<\/strong> \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u043a\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0418\u0421, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f\u0445 \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0420\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435<span class=\"more-link\"><a href=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/\">\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435<\/a><\/span><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":1100,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"categories":[23],"tags":[],"class_list":["entry","author-admin-ftian","post-1084","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","category-innovacii"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v27.9 - https:\/\/yoast.com\/product\/yoast-seo-wordpress\/ -->\n<title>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"en_US\" \/>\n<meta property=\"og:locale:alternate\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2021-12-15T00:01:35+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2022-01-26T17:05:02+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"360\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"308\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"admin-ftian\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Written by\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"admin-ftian\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Est. reading time\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"12 minutes\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"admin-ftian\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197\"},\"headline\":\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\",\"datePublished\":\"2021-12-15T00:01:35+00:00\",\"dateModified\":\"2022-01-26T17:05:02+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/\"},\"wordCount\":1780,\"commentCount\":0,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2021\\\/12\\\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg\",\"articleSection\":[\"\u0418\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438\"],\"inLanguage\":\"en-US\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"CommentAction\",\"name\":\"Comment\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#respond\"]}]},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/\",\"name\":\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2021\\\/12\\\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg\",\"datePublished\":\"2021-12-15T00:01:35+00:00\",\"dateModified\":\"2022-01-26T17:05:02+00:00\",\"description\":\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"en-US\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2021\\\/12\\\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2021\\\/12\\\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg\",\"width\":360,\"height\":308},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"name\":\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\",\"description\":\"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"en-US\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\",\"name\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"contentUrl\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"width\":500,\"height\":402,\"caption\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197\",\"name\":\"admin-ftian\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"admin-ftian\"},\"sameAs\":[\"http:\\\/\\\/ftian.ru\"],\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/author\\\/admin-ftian\\\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c","description":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/","og_locale":"en_US","og_type":"article","og_title":"[:ru]\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c[:] - \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","og_description":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c","og_url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/","og_site_name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","article_published_time":"2021-12-15T00:01:35+00:00","article_modified_time":"2022-01-26T17:05:02+00:00","og_image":[{"width":360,"height":308,"url":"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"admin-ftian","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Written by":"admin-ftian","Est. reading time":"12 minutes"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/"},"author":{"name":"admin-ftian","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/person\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197"},"headline":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c","datePublished":"2021-12-15T00:01:35+00:00","dateModified":"2022-01-26T17:05:02+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/"},"wordCount":1780,"commentCount":0,"publisher":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg","articleSection":["\u0418\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438"],"inLanguage":"en-US","potentialAction":[{"@type":"CommentAction","name":"Comment","target":["https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#respond"]}]},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/","url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/","name":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c","isPartOf":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg","datePublished":"2021-12-15T00:01:35+00:00","dateModified":"2022-01-26T17:05:02+00:00","description":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#breadcrumb"},"inLanguage":"en-US","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#primaryimage","url":"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg","contentUrl":"https:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/razrabotka_serii_pilotnih16754656.jpg","width":360,"height":308},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/ftian.ru\/en\/razrabotka-serii-pilotnyh-plazmohimicheskih-ustanovok-dlja-submikronnyh-tehnologicheskih-processov-proizvodstva-is-i-proektnymi-normami-0-13-0-5-mkm-2\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430","item":"https:\/\/ftian.ru\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0418\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 0,13-0,5 \u043c\u043a\u043c"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website","url":"https:\/\/ftian.ru\/","name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","description":"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430","publisher":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/ftian.ru\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"en-US"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization","name":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.","url":"https:\/\/ftian.ru\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","contentUrl":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","width":500,"height":402,"caption":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a."},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/person\/62b39e1f941fb2283011015b9a6e0197","name":"admin-ftian","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/e9aa9be2b8019bc6b608a1ff0c4d27ea4d8465157f3b98e94954efff7e6febbe?s=96&d=mm&r=g","caption":"admin-ftian"},"sameAs":["http:\/\/ftian.ru"],"url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/author\/admin-ftian\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1084","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1084"}],"version-history":[{"count":16,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1084\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1119,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1084\/revisions\/1119"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1100"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1084"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1084"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1084"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}