{"id":631,"date":"2021-11-16T13:12:44","date_gmt":"2021-11-16T13:12:44","guid":{"rendered":"https:\/\/normoprot.h1n.ru\/?page_id=631"},"modified":"2022-03-31T14:05:09","modified_gmt":"2022-03-31T14:05:09","slug":"laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/","title":{"rendered":"Laboratory of ion-beam technologies"},"content":{"rendered":"

\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/a><\/p>\n

\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b<\/strong><\/a><\/p>\n

\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/a><\/p>\n

\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/a><\/p>\n

\u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/a><\/p>\n

\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 2020\u20142021 \u0433\u0433.<\/strong><\/a><\/p>\n

 <\/p>\n

\u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438\u00a0 – \u043a.\u0444.-\u043c.\u043d. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412\u043b\u0430\u0434\u0438\u043c\u0438\u0440 \u041f\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u0438\u0447<\/p>\n

+7 (499) 129-76-33<\/p>\n

kvp@ftian.ru<\/p>\n

<\/a>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/p>\n

\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440.<\/p>\n

\u0414\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446.<\/p>\n

\u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u043e\u0432 \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n

<\/a>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 <\/strong><\/p>\n

    \n
  1. \u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u041c\u043e\u043d\u0442\u0435-\u041a\u0430\u0440\u043b\u043e.<\/li>\n
  2. \u0412\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446.<\/li>\n
  3. \u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0430\u0434\u0438\u0430\u0431\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a\u0430.<\/li>\n
  4. \u0412\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430, \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a\u0430.<\/li>\n
  5. \u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u043e\u043c \u0432 BF3<\/sub>-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435.<\/li>\n
  6. \u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 345\u00a0\u043d\u043c \u0438\u043e\u043d\u0430 B+<\/sup> \u0432 \u0431\u043e\u0440\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430\u0445.<\/li>\n
  7. \u0412\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441 \u0431\u043e\u0440\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b BF3<\/sub>\/Ar.<\/li>\n<\/ol>\n

    <\/a>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/p>\n

    \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430 \u043a\u0440\u043e\u0432\u0438.<\/p>\n

    <\/a>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/p>\n

      \n
    1. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21162395133<\/li>\n<\/ol>\n

      “\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446”. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b: \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a \u0421.\u041b., \u0422\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u044c\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0423\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0420\u0410\u041d \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0420\u0410\u041d. \u041f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f 10 \u043c\u0430\u0440\u0442\u0430 2009 \u0433. \u0417\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0413\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0420\u0424 20 \u0438\u044e\u043b\u044f 2010 \u0433. \u0421\u0440\u043e\u043a \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438\u0441\u0442\u0435\u043a\u0430\u0435\u0442 10 \u043c\u0430\u0440\u0442\u0430 2029 \u0433.<\/p>\n

        \n
      1. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 RU \u21162433081 \u04211<\/li>\n<\/ol>\n

        “\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438”. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a \u0421.\u041b., \u0422\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u044c\u0435\u0432 \u042e.\u041f. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0423\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0420\u0410\u041d \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0420\u0410\u041d. \u041f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f 8 \u0438\u044e\u043b\u044f 2010 \u0433. \u0417\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0413\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0420\u0424 10 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f 2011 \u0433.<\/p>\n

          \n
        1. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 RU \u21162468465 C2<\/li>\n<\/ol>\n

          “\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446”. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b: \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a \u0421.\u041b., \u0422\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u044c\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0424\u0413\u0411\u0423\u041d \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a (\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d \u0420\u0410\u041d). \u041f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f 27 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f 2010 \u0433. \u0417\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0413\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0420\u0424 27 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f 2012 \u0433. \u0421\u0440\u043e\u043a \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438\u0441\u0442\u0435\u043a\u0430\u0435\u0442 27 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f 2030 \u0433.<\/p>\n

          <\/a>\u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/p>\n

          \u0413\u043e\u0441\u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 FFNN-2022-0019 \u00ab\u0424\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0435\u0435 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\u00bb.<\/p>\n

          <\/a>\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 2018\u20142022 \u0433\u0433. <\/strong><\/p>\n

            \n
          1. Kudrya V.P. “Beam power absolute measurements using the calorimetric method”. Proceedings of SPIE, 2022 (January 31), Vol. 12157 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021”, 12157-1P [DOI: 10.1117\/12.2624099]<\/li>\n
          2. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. “\u041c\u0430\u0442\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0430\u0434\u0438\u0430\u0431\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0432 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435”. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2022, \u0442. 51, \u2116 2, \u0441. 140\u2011147. [https:\/\/doi.org\/10.31857\/S0544126922010070]<\/li>\n
          3. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. “\u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0437\u0438\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432”. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d, 2021, \u0442. 30 “\u041a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430: \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435”. \u041c.: \u041d\u0430\u0443\u043a\u0430, 2021, 111 \u0441. (\u0441.\u00a0102\u2011110) ISBN 978-5-02-040925-5<\/li>\n
          4. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f., \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f. “\u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0430\u0434\u0438\u0430\u0431\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043b\u043e\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432”. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d, 2020, \u0442. 29 “\u041a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430: \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435”. \u041c.: \u041d\u0430\u0443\u043a\u0430, 2020, 103 \u0441. (\u0441. 91\u2011102) ISSN 0868-7129<\/li>\n
          5. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. “\u0418\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441 \u0431\u043e\u0440\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 BF3<\/sub>\/Ar-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b”. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2019, \u0442. 48, \u2116 1, \u0441. 56\u201162, DOI:\u00a010.1134\/S0544126919010058 [Kudrya V.P. “Identification and Excitation Mechanisms of the Lines and Bands of Boron-Containing Components in the Optical Emission Spectra of Low-Temperature BF3<\/sub>\/Ar Plasmas”. Russian Microelectronics, 2018, Vol. 48, No. 1, pp. 55\u201160; DOI: 10.1134\/S1063739719010050]<\/li>\n
          6. Kudrya<\/a> V. “Optical emission spectra of BF3<\/sub>\/Ar-plasma: detection of the boron 563.3 nm spectral line and identification of BF band spectra”, Proceedings of SPIE, 2019, Vol. 11022 “International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018”, 1102227; doi: 10.1117\/12.2522166.<\/li>\n
          7. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f. “\u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439”. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2019, \u0442. 48, \u2116 6, \u0441.\u00a0403\u2011420, DOI: 10.1134\/S0544126919050065 [Maishev Yu.P. “Creation and Development of the Ion Beam Technology”. Russian Microelectronics, 2019, Vol. 48, No. 6, pp. 347\u2011363. DOI: https:\/\/doi.org\/10.1134\/S1063739719050068]<\/li>\n
          8. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f. “\u0420\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0432 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0435 \u0420\u0410\u041d”. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438, 2018, \u2116 8, \u0441. 37\u201146. 10.25791\/intstg.08.2018.104<\/li>\n
          9. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a \u0421.\u041b., \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. “\u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043b\u043e\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438”. \u041f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u044f \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430, 2018, \u2116 4, \u0441.\u00a079\u201183.<\/li>\n
          10. \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f., \u0428\u0435\u0432\u0447\u0443\u043a \u0421.\u041b., \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f. “\u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0432\u0437\u0432\u0435\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f”. \u041f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u044f \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430, 2018, \u2116 2, \u0441.\u00a086\u201189.<\/li>\n
          11. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f., \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f. “\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435”. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, 2018, \u0442. 47, \u2116 5, \u0441. 51\u201163 DOI:\u00a010.31857\/S054412690001738-8 (Kudrya V.P., Maishev Yu.P. “Applications of the Technology of Fast Neutral Particle Beams in Micro- and Nanoelectronics”. Russian Microelectronics, 2018, Vol. 47, No. 5, pp. 334\u2011345; DOI: 10.1134\/S1063739718050049).<\/li>\n
          12. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f \u0412.\u041f., \u041c\u0430\u0438\u0448\u0435\u0432 \u042e.\u041f. “\u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u044b \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446. II. \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0432 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0435”. \u0422\u0440\u0443\u0434\u044b \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d, 2018, \u0442. 27 “\u041a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 (\u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435)”. \u041c.: \u041d\u0430\u0443\u043a\u0430, 2018, 138 \u0441. (\u0441. 89\u201198) ISBN 978-5-02-040089-4<\/li>\n
          13. Kudrya V.P. “Optical emission spectrum of BF3<\/sub> plasma: Identification of lines and bands belonging to boron-contained species”. Proceedings of the International Conference “Micro- and Nanoelectronics \u2011 2018”, Moscow: MAKS Press, 2018, 218 p. (p. 142) (ISBN 978-5-317-05917-0)<\/li>\n<\/ol>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

            \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b \u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 2020\u20142021 \u0433\u0433.   \u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438\u00a0 – \u043a.\u0444.-\u043c.\u043d. \u041a\u0443\u0434\u0440\u044f\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435<\/a><\/span><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":565,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"class_list":["entry","author-admin-ftian","post-631","page","type-page","status-publish"],"yoast_head":"\nLaboratory of ion-beam technologies<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"en_US\" \/>\n<meta property=\"og:locale:alternate\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Laboratory of ion-beam technologies\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2022-03-31T14:05:09+00:00\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Est. reading time\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"5 minutes\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\\\/\",\"name\":\"Laboratory of ion-beam technologies\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\"},\"datePublished\":\"2021-11-16T13:12:44+00:00\",\"dateModified\":\"2022-03-31T14:05:09+00:00\",\"description\":\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"en-US\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\\\/\"]}]},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"Institute\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/institut\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":3,\"name\":\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":4,\"name\":\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"name\":\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\",\"description\":\"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"en-US\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\",\"name\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"contentUrl\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"width\":500,\"height\":402,\"caption\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"Laboratory of ion-beam technologies","description":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/","og_locale":"en_US","og_type":"article","og_title":"[:ru]\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439[:en]Laboratory of ion-beam technologies[:] - \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","og_description":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439","og_url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/","og_site_name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","article_modified_time":"2022-03-31T14:05:09+00:00","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Est. reading time":"5 minutes"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/","url":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/","name":"Laboratory of ion-beam technologies","isPartOf":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website"},"datePublished":"2021-11-16T13:12:44+00:00","dateModified":"2022-03-31T14:05:09+00:00","description":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/#breadcrumb"},"inLanguage":"en-US","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/"]}]},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-ionno-luchevyh-tehnologij\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430","item":"https:\/\/ftian.ru\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"Institute","item":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/"},{"@type":"ListItem","position":3,"name":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438","item":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/"},{"@type":"ListItem","position":4,"name":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website","url":"https:\/\/ftian.ru\/","name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","description":"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430","publisher":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/ftian.ru\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"en-US"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization","name":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.","url":"https:\/\/ftian.ru\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","contentUrl":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","width":500,"height":402,"caption":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a."},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/631","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=631"}],"version-history":[{"count":15,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/631\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2678,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/631\/revisions\/2678"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/565"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=631"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}