{"id":620,"date":"2021-11-16T13:10:38","date_gmt":"2021-11-16T13:10:38","guid":{"rendered":"https:\/\/normoprot.h1n.ru\/?page_id=620"},"modified":"2022-03-04T10:32:42","modified_gmt":"2022-03-04T10:32:42","slug":"laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/","title":{"rendered":"Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices"},"content":{"rendered":"<p><a href=\"#a\"><strong>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/a><\/p>\n<p><a href=\"#b\"><strong>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b<\/strong><\/a><\/p>\n<p><a href=\"#c\"><strong>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/a><\/p>\n<p><a href=\"#d\"><strong>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/a><\/p>\n<p><a href=\"#e\"><strong>\u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/a><\/p>\n<p><a href=\"#f\"><strong>\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 2020\u20142021 \u0433\u0433.<\/strong><\/a><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\" wp-image-2020 alignleft\" src=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/rudenko8955848948.jpg\" alt=\"Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices\" width=\"127\" height=\"170\" \/> \u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 &#8211; \u0433.\u043d.\u0441., \u0434.\u0444-\u043c.-\u043d. \u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0438\u043d \u0412\u0430\u0441\u0438\u043b\u044c\u0435\u0432\u0438\u0447 \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e<\/p>\n<p>\u00a0+7(499)129-56-08<\/p>\n<p>rudenko@ftian.ru<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><strong><a id=\"a\"><\/a>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/p>\n<p>\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0418\u0421, \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e-\u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 THz \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438;<\/p>\n<p>\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c;<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u043c\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALD), \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALE), \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f (PIII, Plasma Doping);<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435;<\/p>\n<p>\u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 (<em>in situ<\/em>) \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 end-point \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435<\/p>\n<p><strong><a id=\"b\"><\/a>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b<\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>\u0412\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d \u0446\u0438\u043a\u043b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442 \u043f\u043e \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e <em>in situ<\/em> \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0420\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043b\u0435\u0433\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435: \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 \u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0437\u043e\u043d\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u044d\u043b\u043b\u0438\u043f\u0441\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 <em>in situ<\/em> \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043b\u0433\u043e\u0440\u0438\u0442\u043c\u044b \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0440\u0430\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0432.<\/li>\n<li>\u0412\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0434\u043e\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (PIII) \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0441\u0443\u0431-1 \u043a\u044d\u0412 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0439. \u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. \u0421\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044b \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430\/\u0438\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430, \u043f\u0440\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c, \u0441 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043b\u0435\u0433\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 4 \u0434\u043e 10 \u043d\u043c (\u0434\u043e\u0437\u0430 \u0434\u043e 2\u044510<sup>15<\/sup> \u0441\u043c<sup>-2<\/sup>); \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b 3D \u2013 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 PIII.<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 HkMG-\u0441\u0442\u0435\u043a\u043e\u0432 \u041c\u0414\u041f-\u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 c \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 28\u00a0\u043d\u043c \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432;<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043a\u0440\u0438\u043e\u0433\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0440\u0435\u043a\u043e\u0440\u0434\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u043b\u043e\u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 Low-k \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0423\u0411\u0418\u0421;<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 3D-\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u043c (FinFET) \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0418\u0421 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043e 7 \u043d\u043c.<\/li>\n<\/ol>\n<p><strong><a id=\"c\"><\/a>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/p>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u042d\u0426\u0420 (ECR) \u0438 \u0412\u0427\u0418 (ICP) \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (\u0434\u043e 200 \u043c\u043c) \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043b\u0430\u0442\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0437\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043e 98%, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e PC-\u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f) \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440;<\/li>\n<li>\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432;<\/li>\n<li>\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0417\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a, \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0435, \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d \u0437\u043e\u043b\u043e\u0442\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0430\u043b\u044c\u044e \u0412\u0412\u0426.<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u00ab\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435\u00bb \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 (smart end-point detectors). \u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u044b \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u044d\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 \u0438 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0430 \u041b\u0435\u043d\u0433\u043c\u044e\u0440\u0430.<\/p>\n<p><strong><a id=\"d\"><\/a>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 2248645. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410.\u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a.\u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042e.\u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d, \u042f.\u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0412\u0427- \u0438 \u0421\u0412\u0427 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f., \u041c\u041a\u0418 H01L 21\/66 \u043e\u0442 12.02.2003. \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0411\u044e\u043b\u043b. \u0424\u0418\u041f\u0421 \u21168 20.03.2005.<\/li>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 2248646. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432, \u0410.\u0410. \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439, \u041a.\u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u042e.\u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d, \u042f.\u041d. \u0421\u0443\u0445\u0430\u043d\u043e\u0432. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0411\u044e\u043b\u043b. \u0424\u0418\u041f\u0421 \u21168 20.03.2005.<\/li>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 2504861. \u0412\u044c\u044e\u0440\u043a\u043e\u0432 \u0412.\u0412., \u041a\u0440\u0438\u0432\u043e\u0441\u043f\u0438\u0446\u043a\u0438\u0439 \u0410.\u0414., \u041b\u0443\u043a\u0438\u0447\u0435\u0432 \u0412.\u0424., \u041e\u043a\u0448\u0438\u043d \u0410.\u0410., \u041e\u0440\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0410.\u0410., \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e \u041a.\u0412., \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d \u042e.\u0424. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438 \u0441 \u0443\u043a\u043e\u0440\u043e\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b. \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0411\u044e\u043b. \u2116 2 \u0424\u0418\u041f\u0421 20.01.2014<\/li>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 165023 \u0413\u0430\u0441\u0435\u043d\u043a\u043e\u0432\u0430 \u0418.\u0412., \u041b\u0443\u043a\u0438\u0447\u0435\u0432 \u0412.\u0424., \u041c\u0443\u0445\u0443\u0440\u043e\u0432 \u041d.\u0418., \u041c\u044f\u043a\u043e\u043d\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0410.\u0412., \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e \u041a.\u0412. \u0410\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440. \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0411\u044e\u043b. \u2116 27 \u0424\u0418\u041f\u0421 27.09.2016.<\/li>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 2626392. \u0412.\u0412. \u0412\u044c\u044e\u0440\u043a\u043e\u0432, \u0412.\u0424. \u041b\u0443\u043a\u0438\u0447\u0435\u0432, \u041a.\u0412. \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e, \u0414.\u0410. \u0421\u0432\u0438\u043d\u0446\u043e\u0432, \u042e.\u0424. \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d. \u0422\u0443\u043d\u043d\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0435\u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438. \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0411\u044e\u043b. \u2116 21 26.07.2017.<\/li>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 2691758. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d \u0421.\u041d., \u0410\u043d\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0410.\u041f., \u041b\u0443\u043a\u0438\u0447\u0435\u0432 \u0412.\u0424., \u041c\u044f\u043a\u043e\u043d\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0410.\u0412., \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e \u041a.\u0412., \u0420\u044b\u043b\u043e\u0432 \u0410.\u0410, \u0421\u0451\u043c\u0438\u043d \u042e.\u0424. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0434\u0432\u0443\u0445\u0448\u0430\u0433\u043e\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435-\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0411\u044e\u043b. \u2116 21 18.07.2019<\/li>\n<li>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 \u0420\u0424 RU 2717157. \u0410\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438\u043d \u0421.\u041d., \u0412\u044c\u044e\u0440\u043a\u043e\u0432 \u0412.\u0412., \u041a\u0440\u0438\u0432\u043e\u0441\u043f\u0438\u0446\u043a\u0438\u0439 \u0410.\u0414., \u041b\u0443\u043a\u0438\u0447\u0435\u0432 \u0412.\u0424., \u041c\u044f\u043a\u043e\u043d\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0410.\u0412., \u0420\u0443\u0434\u0435\u043d\u043a\u043e \u041a.\u0412., \u0421\u0432\u0438\u043d\u0446\u043e\u0432 \u0414.\u0410., \u0421\u0435\u043c\u0438\u043d \u042e.\u0424. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0443\u043d\u043d\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438. \/\/ \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b. \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0411\u044e\u043b. \u2116 11 18.03.2020.<\/li>\n<\/ol>\n<p><strong><a id=\"e\"><\/a>\u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b<\/strong><\/p>\n<p>\u00a0\u0413\u043e\u0441. \u0417\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 #FFNN-2022-0019 \u00ab\u0424\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0435\u0435 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\u00bb 2022-2026 \u0433\u0433.<\/p>\n<p>\u0413\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b \u0420\u0424\u0424\u0424\u0418:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0430 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0438\u0442\u0435\u0439 \u0432 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043a\u0430\u0445 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 HfOx \u0432 \u043c\u0435\u043c\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445<\/li>\n<li>\u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f low-k \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/li>\n<li>\u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438<\/li>\n<li>\u0410\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0423\u0411\u0418\u0421 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0413\u0440\u0430\u043d\u0442 \u041f\u0440\u0435\u0437\u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0420\u0424 \u00ab\u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430\u00bb<\/p>\n<p><strong><a id=\"f\"><\/a>\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 2020\u20142021 \u0433\u0433.<\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>O.Permyakova, A.V.Miakonkikh, K.V.Rudenko\u044f, A.E.Rogozhin. The effect of plasma immersion ion implantation of Ne+ or Ar+ or Kr+ on the forming voltage of the resistive switching in the structure Ni\/Pt\/HfO<sub>2<\/sub>(10nm)\/TaN(5nm)\/TiN \/\/ 2020 J. Phys.: Conf. Ser. 1695 012009. DOI: 10.1088\/1742-6596\/1695\/1\/012009<\/li>\n<li>Y.Polyakov, In-Hwan Lee, A.Miakonkikh, A.V.Chernykh, N.B.Smirnov, I.V.Shchemerov, A.I.Kochkova, A.A.Vasilev, S.J.Pearton. Anisotropy of hydrogen plasma effects in bulk n-type ?-Ga<sub>2<\/sub>O<sub>3 <\/sub>\/\/ Journal of Applied Physics. 2020. 127, 175702 DOI: 10.1063\/1.5145277<\/li>\n<li>S. Ponomarev, D.V.Lavrukhin, A.E.Yachmenev, R.A.Khabibullin, I.Semenikhin, V Vyurkov, K.Marem&#8217;yanin, V.I.Gavrilenko, M.Ryzhii, M.Shur, T.Otsuji and V.Ryzhii. Sub-terahertz FET detector with self-assembled Sn-nanothreads \/ \/\/ Journal of Physics D: Applied Physics, 2020. V. 53, N.7. &#8211; DOI: 10.1088\/1361-6463\/ab588f<\/li>\n<li>Popov V.P., Antonov V.A., Tyschenko I.E., Vdovin V.I., Gutakovskii A.K., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V. Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator structures. \/\/ Sol. State Electron. 2020. V.168. N107734. DOI:10.1016\/j.sse.2019.107734<\/li>\n<li>Rezvanov, A.A., Miakonkikh, A.V., Seregin, D.S., Vishnevskiy, A.S., Vorotilov, K.A., Rudenko, K.V., Baklanov, M.R. Effect of terminal methyl group concentration on critical properties and plasma resistance of organosilicate low-k dielectrics \/\/ Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 2020, 38 (3), art. no. 033005. DOI: 10.1116\/1.5143417<\/li>\n<li>Rogozhin, A.E., Sidorov, F.A. E-Beam Lithography Simulation Techniques \/ \/\/ (2020) Russian Microelectronics, 49 (2), pp. 108-122. DOI: 10.1134\/S1063739720010096<\/li>\n<li>Sidorov, F.; Rogozhin, A.; Bruk, M.; Zhikharev, E. Direct Monte-Carlo simulation of dry e-beam etching of resist \/\/ Microelectronic Engineering 2020 V.227. 111313. DOI: 10.1016\/j.mee.2020.111313<\/li>\n<li>A.Sidorov, A.E.Rogozhin. Microscopic simulation of e-beam induced PMMA chain scissions with temperature effect \/\/ J. Phys.: Conf. Ser. 2020. V.1695. 012202.<\/li>\n<li>A.Smirnova, A.V.Miakonkikh, A.E.Rogozhin, K.V.Rudenko. Atomic layer deposition of Ruthenium on different interfaces for an advanced metallization system of ICs \/\/ J. Phys.: Conf. Ser. 2020. V.1695.<\/li>\n<li>Tatarintsev, A.A., Shishlyannikov, A.V., Rudenko, K.V., Rogozhin, A.E., Ieshkin, A.E. The Effect of Temperature on the Development of a Contrast HSQ Electronic Resist. \/\/ (2020) Russian Microelectronics, 49 (3), pp. 151-156. DOI: 10.1134\/S1063739720030063<\/li>\n<li>Tolstoguzov A.B., Drozdov M.N., Ieshkin, A.E., Tatarintsev A.A., Myakon\u2019kikh A.V., Belykh S.F., Korobeishchikov N.G., Pelenovich V.O., Fu D.J. Influence of the Finite-Size Effect on the Cluster Ion Emission of Silicon Nanostructures. \/\/ JETP Letters, 2020, 111 (8), pp. 467-471. DOI: 10.1134\/S0021364020080123.<\/li>\n<li>Vakulov, E. Zamburg, D. Khakhulin, A. Geldash, D.A. Golosov, S.M. Zavadski, A.V. Miakonkikh, K.V. Rudenko, A.P. Dostanko, Zhubing He, and O.A. Ageev. Oxygen Pressure Influence on Properties of Nanocrystalline LiNbO3 Films Grown by Laser Ablation. \/\/ Nanomaterials, 10(7), 1371 (2020). DOI: 10.3390\/nano10071371<\/li>\n<\/ol>\n<p><strong><em>202<\/em><\/strong><strong><em>1<\/em><\/strong><strong><em>:<\/em><\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>P. Popov, V.A. Antonov, F.V. Tikhonenko, S.M. Tarkov, A.K. Gutakovskii, I.E. Tyschenko, A.V. Miakonkikh, A.A. Lomov, A.E. Rogozhin, and K.V. Rudenko. Robust Semiconductor-on-Ferroelectric Structures with Hafnia-Zirconia-Alumina UTBOX Stacks Compatible with the CMOS Technology. \/\/ J. Phys. D: Appl. Phys. 54, no. 22, 225101 (2021). DOI: 10.1088\/1361-6463\/abe6cb<\/li>\n<li>P. Popov, F.V. Tikhonenko, V.A. Antonov, S.G. Simakin, K.V. Rudenko. Blister suppression in the CO+ molecule implanted SOI substrates with ultrathin buried oxides. \/\/ Mater. Today Commun. (2021), v.28, p.102498. DOI: 10.1016\/j.mtcomm.2021.102498<\/li>\n<li>Vladimir P. Popov, Fedor V. Tikhonenko, Valentin A. Antonov, Ida E. Tyschenko, Andrey V. Miakonkikh, Sergey G. Simakin and Konstantin V. Rudenko. Diode-like current leakage and ferroelectric switching in silicon SIS structures with hafnia-alumina nanolaminates. \/\/ Nanomaterials, 11, 291 (2021). DOI: 10.3390\/nano11020291.<\/li>\n<li>Alexander Rogozhin, Andrey Miakonkikh, Elizaveta Smirnova, Andrey Lomov, Sergey Simakin and Konstantin Rudenko. Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films Using Ru(EtCp)2 Precursor. \/\/Coatings, 2021, 11, 117. DOI: 10.3390\/coatings11020117<\/li>\n<li>Vitaly O. Kuzmenko, Andrey Miakonkikh, Konstantin V. Rudenko. Application of Langmuir probe and optical emission spectroscopy for bromofluorocarbon plasma diagnostics. \/\/ Journal of Physics Conference Series 1870(1):012006 (2021). DOI: 10.1088\/1742-6596\/1870\/1\/012006<\/li>\n<li>P. Popov, S.M. Tarkov, F.V. Tikhonenko, V.A. Antonov, I.E. Tyschenko, S.G. Simakin, K.V. Rudenko. Thermally Robust High-Resistance Layers on Low-Resistance Silicon Synthesized by Molecular CO+ Ion Implantation. \/\/ Phys. Stat. Sol. A, (2021) 202100109. DOI: 10.1002\/pssa.202100109.<\/li>\n<li>V. Fadeev and K.V. Rudenko To the Issue of the Memristor\u2019s HRS and LRS States Degradation and Data Retention Time. \/\/ Russ. Microelectron., 2021, v. 50, no. 5, pp. 311 \u2013 325. DOI: 10.1134\/S1063739721050024<\/li>\n<li>V. Myakonkikh, A.V. Shishlyannikov, A.A. Tatarintsev, V.O. Kuzmenko, K.V. Rudenko, and E.S. Gornev. A Study of the Plasma Resistance of a High-Resolution HSQ Electronic Resist for Prototyping Nanoelectronic Devices.\/\/ Russ. Microelectron., 2021, V.50, No.5, pp. 297\u2013302. DOI: 10.1134\/S1063739721050048<\/li>\n<li>Miakonkikh, A.V., Smirnova, E.A., Clemente, I.E. Application of the Spectral Ellipsometry Method to Study the Processes of Atomic Layer Deposition (2021) Russian Microelectronics, 50 (4), pp. 230-238. DOI: 10.1134\/S1063739721040089<\/li>\n<li>Ivanov, Y.D., Malsagova, K.A., Popov, V.P., Kupriyanov, I.N., Pleshakova, T.O., Galiullin, R.A., Ziborov, V.S., Dolgoborodov, A.Yu., Petrov, O.F., Miakonkikh, A.V., Rudenko, K.V., Glukhov, A.V., Smirnov, A.Yu., Usachev, D.Yu., Gadzhieva, O.A., Bashiryan, B.A., Shimansky, V.N., Enikeev, D.V., Potoldykova, N.V., Archakov, A.I. Micro-raman characterization of structural features of high-k stack layer of soi nanowire chip, designed to detect circular rna associated with the development of glioma (2021) Molecules, 26 (12), art. no. 3715.\u00a0 DOI: 10.3390\/molecules26123715<\/li>\n<li>Kaydashev, V., Khlebtsov, B., Miakonkikh, A., Zhukova, E., Zhukov, S., Mylnikov, D., Domaratskiy, I., Svintsov, D. Excitation of localized graphene plasmons by aperiodic self-assembled arrays of metallic antennas (2021) Nanotechnology, 32 (3), art. no. 035201. DOI: 10.1088\/1361-6528\/aba785<\/li>\n<li>Kuzmenko, V.O., Miakonkikh, A.V. Low-Pressure Inductively Coupled CF3Br Plasma Studied by the Langmuir Probe and Optical Emission Spectroscopy Techniques (2021) Technical Physics Letters, 47 (1), pp. 99-102. DOI: 10.1134\/S1063785021010247<\/li>\n<li>Rudenko, M.K., Myakon\u2019kikh, A.V., Lukichev, V.F. Numerical Simulation of Cryogenic Etching: Model with Delayed Desorption (2021) Russian Microelectronics, 50 (1), pp. 54-62. DOI: 10.1134\/S106373972101008X<\/li>\n<li>Isaev, A.G., Sidorov, F.A., Rogozhin, A.E. Influence of Resist Spreading during Its Dry Electron-Beam Etching on a Lateral Resolution, Russian Microelectronics, 2021, 50(1), pp 19\u201323 <a href=\"https:\/\/doi.org\/10.1134\/S1063739721010066\">https:\/\/doi.org\/10.1134\/S1063739721010066<\/a><\/li>\n<li>O O Permyakova, A E Rogozhin (\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d), Modelling electroforming process under constant bias voltage conditions, J. Phys.: Conf. Ser. 2086 012030 (2021) <a href=\"https:\/\/doi.org\/10.1088\/1742-6596\/2086\/1\/012030\">https:\/\/doi.org\/10.1088\/1742-6596\/2086\/1\/012030<\/a><\/li>\n<li>E A Smirnova, A V Miakonkikh, A E Rogozhin, K V Rudenko, Properties of plasma enhanced atomic layer deposited ruthenium thin films from Ru(EtCp)2, J. Phys.: Conf. Ser. 2086 012209 (2021) <a href=\"https:\/\/doi.org\/10.1088\/1742-6596\/2086\/1\/012209\">https:\/\/doi.org\/10.1088\/1742-6596\/2086\/1\/012209<\/a><\/li>\n<li>A. Melnikov, A.P. Alodjants, L.E. Fedichkin. Tunneling in Double-Layer Optical Waveguides as Quantum Walks on Graphs. Proceedings of the Steklov Institute of Mathematics 313 (1), 142-148, 2021 DOI: 10.1134\/S0081543821020140<\/li>\n<li>Fedichkin L.E., Meshchaninov F.P. ANALYSIS AND APPLICATIONS OF QUANTUM WALKS. Journal of Mathematical Sciences. 2021. \u0422. 252. \u2116 1. \u0421. 104-115. DOI 10.1007\/s10958-020-05145-w.<\/li>\n<li>A. Luchnikov, M. E. Krechetov, S. N. Filippov. Riemannian geometry and automatic differentiation for optimization problems of quantum physics and quantum technologies \/\/ New Journal of Physics. \u2013 2021. \u2013 V. 23. \u2013 P. 073006. DOI: <a href=\"https:\/\/doi.org\/10.1088\/1367-2630\/ac0b02\">https:\/\/doi.org\/10.1088\/1367-2630\/ac0b02<\/a><\/li>\n<\/ol>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b \u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 2020\u20142021 \u0433\u0433. &nbsp; \u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 &#8211; \u0433.\u043d.\u0441., \u0434.\u0444-\u043c.-\u043d.<span class=\"more-link\"><a href=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/\">\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435<\/a><\/span><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":565,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"class_list":["entry","author-admin-ftian","post-620","page","type-page","status-publish"],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v27.9 - https:\/\/yoast.com\/product\/yoast-seo-wordpress\/ -->\n<title>Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"en_US\" \/>\n<meta property=\"og:locale:alternate\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2022-03-04T10:32:42+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/rudenko8955848948.jpg\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Est. reading time\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"11 minutes\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/\",\"name\":\"Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/rudenko8955848948.jpg\",\"datePublished\":\"2021-11-16T13:10:38+00:00\",\"dateModified\":\"2022-03-04T10:32:42+00:00\",\"description\":\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"en-US\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/#primaryimage\",\"url\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/rudenko8955848948.jpg\",\"contentUrl\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/rudenko8955848948.jpg\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"Institute\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/en\\\/institut\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":3,\"name\":\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438\",\"item\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/institut\\\/laboratorii\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":4,\"name\":\"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"name\":\"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d\",\"description\":\"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"en-US\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#organization\",\"name\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\",\"url\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"en-US\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"contentUrl\":\"http:\\\/\\\/ftian.ru\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2022\\\/01\\\/logo-20-1.png\",\"width\":500,\"height\":402,\"caption\":\"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/ftian.ru\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices","description":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/","og_locale":"en_US","og_type":"article","og_title":"[:ru]\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432[:en]Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices[:] - \u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","og_description":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432","og_url":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/","og_site_name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","article_modified_time":"2022-03-04T10:32:42+00:00","og_image":[{"url":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/rudenko8955848948.jpg","type":"","width":"","height":""}],"twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Est. reading time":"11 minutes"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/","url":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/","name":"Laboratory for Microstructuring and Submicron Devices","isPartOf":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/rudenko8955848948.jpg","datePublished":"2021-11-16T13:10:38+00:00","dateModified":"2022-03-04T10:32:42+00:00","description":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/#breadcrumb"},"inLanguage":"en-US","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/#primaryimage","url":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/rudenko8955848948.jpg","contentUrl":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/rudenko8955848948.jpg"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/laboratorija-mikrostrukturirovanija-i-submikronnyh-priborov\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430","item":"https:\/\/ftian.ru\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"Institute","item":"https:\/\/ftian.ru\/en\/institut\/"},{"@type":"ListItem","position":3,"name":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438","item":"https:\/\/ftian.ru\/institut\/laboratorii\/"},{"@type":"ListItem","position":4,"name":"\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#website","url":"https:\/\/ftian.ru\/","name":"\u0424\u0422\u0418\u0410\u041d","description":"\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430","publisher":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/ftian.ru\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"en-US"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#organization","name":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a.","url":"https:\/\/ftian.ru\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"en-US","@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","contentUrl":"http:\/\/ftian.ru\/wp-content\/uploads\/2022\/01\/logo-20-1.png","width":500,"height":402,"caption":"\u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a.\u0410. \u0412\u0430\u043b\u0438\u0435\u0432\u0430 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a."},"image":{"@id":"https:\/\/ftian.ru\/#\/schema\/logo\/image\/"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/620","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=620"}],"version-history":[{"count":9,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/620\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2481,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/620\/revisions\/2481"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/565"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ftian.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=620"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}