Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники
15:00
Н. А. Орликовский (ФТИАН)
Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники
(По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)