Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН)
Главная | Дисс. совет | Конкурсы | Разработки | Издания и публикации | Семинары | Контакты

Установка глубокого анизотропного
плазмохимического травления
для создания элементов МЭМС и НЭМС

Установка плазмохимического травления

  • Тип источника плазмы: плоский ICP
  • Генератор: 13,56 МГц, 1 кВт
  • Источник смещения: до 400 Вт (13,56 МГц)
  • Диаметр пластины: 150, 200 мм
  • Рабочие давления: 0,5-50 мТор
  • Система подачи газов: 4 канала, 0-200 Sccm
  • Газы: F-, Cl- содержащие, O2, H2, Ar
  • Плотность плазмы: до 3*1012 см-3
  • Температура электронов: < 4 эВ (Ar)
  • Неравномерность плазмы: < 2% на ø 200 мм
  • Скорость травления: до 6 мкм/мин (Si) и до 0,8 мкм/мин (SiO2)
  • Полная автоматизация процесса с управлением от персонального компьютера

Плазменное анизотропное травление кремния для изделий микромеханики

Фрагмент микромеханического устройства в сечении и плане кристала  
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника»
Международная конференция
«Микро- и наноэлектроника»


Симпозиум «Квантовая информатика»
Симпозиум «Квантовая информатика»

Библиотека ФТИАН
Библиотека ФТИАН


 24.01.2019 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

И. А. Семенихин
(ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)

Квантовомеханическое моделирование нанотранзистора

 13.12.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Н. А. Борщевская
(МГУ)

Многофотонные неклассические состояния света
(по материалам научно-квалификационной работы)

 06.12.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Р. С. Щуцкий
(Сколтех)

Классическая симуляция квантовых программ

 29.11.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Б. И. Бантыш
(ФТИАН им. К.А. Валиева РАН, НИУ МИЭТ)

Разработка методов анализа влияния декогерентизации на качество квантовых преобразований, алгоритмов и измерений
(по материалам кандидатской диссертации)

 27.11.2018 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

А.В. Цуканов
(ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)

Одноэлектронный транзистор на линейной структуре из трех туннельно-связанных КТ с электрическим и оптическим управлением

 24.10.2018 - 15:00Диссертационный совет
Защита диссертаций
(конференц-зал ФТИАН)

О.А. Рубан
(ИСВЧПЭ РАН)

Влияние процесса структурной релаксации в HEMT на основе нитрид-галлиевых гетероструктур на их частотные характеристики
(защита диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук)

 23.10.2018 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

Г. В. Баранов
(АО «НИИМЭ» и МФТИ (ГУ))

Эффекты пространственного распределения дефектов и примесных атомов в слоистых структурах на основе Si при ионной имплантации
(По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)

 28.06.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А. Б. Квасный
(МИФИ, ФТИАН)

Адаптивная высокоточная томография зашумленных квантовых состояний
(по материалам магистерской работы)

 19.06.2018 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

Ю. Д. Сибирмовский
(НИЯУ МИФИ)

Механизмы формирования, оптические и электронные транспортные свойства ансамблей квантовых колец GaAs/AlGaAs
(По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)


И. В. Черноусов
(МФТИ (ГУ))

Особенности кинетики носителей заряда в кристаллах со структурой алмаза
(По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук)

 14.06.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

К. Г. Катамадзе
(ФТИАН, МГУ)

Томография линейно-оптических интегральных схем (литературный обзор)

 31.05.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А. И. Зенчук
(ИПХФ РАН)

Перенос и создание удаленных квантовых состояний в системе частиц со спином 1/2

 24.05.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

В. В. Погосов
(ВНИИА)

Алгоритмическая симуляция квантовых систем на квантовом компьютере

 17.05.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Н. В. Кленов
(МТУСИ)

Принципы построения устройств для приема и обработки сигнала на основе макроскопических квантовых эффектов в сверхпроводниках
(по материалам докторской диссертации)

 12.04.2018 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Г. И. Стручалин
(МГУ)

Адаптивная квантовая томография двухкомпонентных систем высокой размерности


Архив семинаров
На главную страницу
Написать письмо
Мобильная версия Мобильная версия  

© 2001-2019 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)
www.ftian.ru

  Яндекс цитирования