Темы Госзадания на 2022-2026 гг.:
- FFNN-2022-0019 «Фундаментальные и поисковые исследования в области создания перспективной элементной базы наноэлектроники и ее ключевых технологий». Руководитель Лукичев В.Ф.
- FFNN-2022-0018 «Фундаментальные и поисковые исследования в области создания приборных структур и активных сред для хранения информации на основе элементов спинтроники и мемристорного эффекта». Руководитель Рудый А.С
- FFNN-2022-0017 «Фундаментальные и прикладные исследования, направленные на создание перспективных элементов и устройств микро- и наносистемной техники». Руководитель Амиров И.И.
- FFNN-2022-0016 «Фундаментальные и прикладные исследования в области разработки методов высокоточного моделирования и контроля элементной базы квантовых компьютеров». Руководитель Богданов Ю.И.
НИР:
- «Исследование и разработка технологий криогенного ПХТ глубоких отверстий в кремнии и анизотропного травления окон в диэлектрике BCB для целей 3D-интеграции СБИС» Заказчик: Акционерное общество “НИИ молекулярной электроники” (АО “НИИМЭ”)
- «Нанесение двухслойных защитных покрытий HFO2/Al2O3 на приборные структуры СВЧ ИС на основе нитрида галлия» Заказчик: АО «НПП «Пульсар»
- «Разработка процесса нанесения алмазоподобной пленки (АПП) на детали сложной конфигурации для осевого насоса крови» Заказчик: Открытое акционерное общество «Зеленоградский инновационно-технологический центр» (ОАО «ЗИТЦ»)
- «Нанесение комбинированных стеков диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью на кремниевые подложки» Заказчик: ИФП СО РАН, г.Новосибирск
- «Исследование и разработка модифицированных Bosch-процессов и криогенного травления кремния для изготовления тестовых структур рентгеновской преломляющей оптики» Заказчик: ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
- «Исследование и оптимизация процессов электронно-лучевой литографии и плазмохимического травления пленок оксидов кремния и алюминия для изготовления жесткой маски с целью высокоточного формирования структур рентгеновской преломляющей оптики методами глубокого плазменноготравления» Заказчик: ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
- «Нанесение комбинированных стеков диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью на кремниевые подложки» Заказчик: ИФП СО РАН, г.Новосибирск
- Оказание услуг по нанесению диэлектрических покрытий методом атомно-слоевого осаждения. Заказчик: ИПФ РАН, г.Нижний Новгород
- СЧ НИОКР «Разработка экспериментального образца аппаратно-программного комплекса для технологии квантовых вычислений на основе ионов» Заказчик: ООО «МЦКТ» Общество с ограниченной ответственностью «Международный центр квантовой оптики и квантовых технологий» (ООО «МЦКТ»)
Гранты РФФИ:
- Особенности плазменно-иммерсионной ионной имплантации при формировании скрытых наноразмерных пористых кремниевых слоев и их фундаментальные свойства
- Развитие теории и моделирования магнитной динамики неферромагнитных наночастиц с целью их диагностики в живом организме методами гамма-резонансной спектроскопии и магнитометрии
- Теоретическое и экспериментальное исследование криогенного травления кремниевых микроструктур для создания элементов рентгеновской оптики
- Неунитарные отображения и селективные измерения в томографии квантовых состояний и процессов
- Бистабильный МЭМС-переключатель электростатического типа с низким напряжением срабатывания
- Исследование и разработка новых архитектурных концепций на основе развития проекта мультиархитектурной вычислительной суперсистемы
- Исследование криогенного плазмохимического травления пористых диэлектриков с низкой диэлектрической проницаемостью
- Создание источников и приемников терагерцового излучения на основе низкоразмерных пролетных диодов для контроля объектов
- Развитие методов моделирования квантовых элементов систем обработки и передачи информации
- Самоформирование наноструктур на поверхности пленок в процессах селективного ионно-плазменного травления
- Развитие теории и моделирования магнитной динамики, броуновского движения, вращательной диффузии и гаммарезонасных спектров поглощения магнитных наночастиц в живых клетках
- Теоретическое и экспериментальное исследование прецизионных технологий осаждения и травления наноразмерного масштаба для создания элементов НЭМС и дифракционной рентгеновской оптики
- Исследования поверхностных процессов при атомно-слоевом осаждении при помощи метода спектральной эллипсометрии
- Повышение латерального разрешения метода сухого электронного-лучевого травления при создании микро и наноструктур с помощью дополнительных слоев резистов
- Разработка протоколов зашумленных квантовых измерений
- Механизм дефектообразования и квантовые состояния в полученных2D системах на основе твердых растворов халькогенидов III группы, графена и сверхтонких слоев кремния для применения в наноэлектронике
- Проект организации международной конференции “Микро- и наноэлектроника-2018
- Исследование механизма формирования проводящих нитей в диэлектрических стеках на основе HfOx в мемристорах
- Оплата сублицензионного доступа во втором полугодии 2018 года к информационным ресурсам зарубежных издательств
- Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала
- Высоковольтные кремниевые микроструктуры для солнечных элементов: особенности формирования и их влияние на фундаментальные свойства
- Исследование возможностей атомно слоевого травления структур микро- и наноэлектроники”
- Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе меди и кобальта
Гранты Президента:
- Катамадзе Константин Григорьевич «Генерация и контроль неклассических состояний света для задач квантовой информации»
- Рогожин Александр Евгеньевич «Физические механизмы формирования микро- и наноструктур методом сухого электронно-лучевого травления резиста»
Стипендия Президента:
- Мельников Алексей Андреевич «Автоматизация средств квантовой обработки информации методами машинного обучения»
- Сидоров Федор Алексеевич «Термостимулированная электронно-лучевая литография для формирования 3-D структур»