Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов
Лаборатория ионно-лучевых технологий
Лаборатория технологии микро и наносистем
Лаборатория физики поверхности микроэлектронных структур
Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники
Лаборатория физики квантовых компьютеров
Лаборатория архитектуры высокопроизводительных вычислительных систем
Лаборатория функциональных диэлектриков для микроэлектроники